二次配系統(tǒng)簡介

1、上海盛劍環(huán)境系統(tǒng)科技有限公司上海盛劍環(huán)境系統(tǒng)科技有限公司制程二次配排氣系統(tǒng)簡介劉慶磊2014年8月27日上海盛劍環(huán)境系統(tǒng)科技有限公司上海盛劍環(huán)境系統(tǒng)科技有限公司制程排氣供應(yīng)系統(tǒng)1.系統(tǒng)介紹2.技術(shù)說明3.施工準備4.施工技術(shù)要求目錄：上海盛劍環(huán)境系統(tǒng)科技有限公司上海盛劍環(huán)境系統(tǒng)科技有限公司制程排氣系統(tǒng)系統(tǒng)介紹：由制程機臺至主管支管之間連接風管，統(tǒng)稱二次配排氣風管（Exhaust Hook-up Ducting）工程；其主要是將制程機臺所產(chǎn)生之各種廢氣（例如酸堿性廢氣、揮發(fā)性有機廢氣、一般性廢氣等等）經(jīng)由二次配排氣風管排至排氣支管、主風管等再導入廢氣處理設(shè)備處理，處理后廢氣再排放至大氣中的整個排

2、氣系統(tǒng)過程。上海盛劍環(huán)境系統(tǒng)科技有限公司上海盛劍環(huán)境系統(tǒng)科技有限公司制程排氣系統(tǒng)技術(shù)說明： 制程排氣的目的：在產(chǎn)品制造過程中，無可避免地必須使用不同種類的化學物質(zhì)，為了提高產(chǎn)品的良率，必須精密控制產(chǎn)品所接觸環(huán)境的空氣質(zhì)量。而制程排氣系統(tǒng)（Exhaust System），雖非制程生產(chǎn)所需設(shè)備，但卻是為生產(chǎn)區(qū)域營造一個可供生產(chǎn)人員在安全情況下的工作環(huán)境，因此制程排氣系統(tǒng)，從廢氣物質(zhì)兼容性至排放氣體輸送，以至于各種污染處理設(shè)備，皆需經(jīng)嚴格且縝密選擇，這些均是環(huán)環(huán)相扣缺一不可。上海盛劍環(huán)境系統(tǒng)科技有限公司上海盛劍環(huán)境系統(tǒng)科技有限公司制程排氣系統(tǒng)技術(shù)說明：排氣系統(tǒng)分類： 制程流程中，使用機臺種類相當煩多

3、，各種排放物質(zhì)種類更是不勝枚舉，若要針對單一種類設(shè)置單獨排放處理設(shè)施，不僅有其設(shè)置上的因難，而且施工上及日后維修保養(yǎng)更屬不易，因而，依據(jù)排放之特性大致上區(qū)分為酸、毒性（Acid Exhaust）、堿性（Alkali Exhaust）、有機溶劑（Solvent Exhaust）及一般排氣（General Exhaust）四個系統(tǒng)： (1) 酸、堿性廢氣：其主要來源為化學清洗工作站，清洗芯片時所產(chǎn)生之揮發(fā)性氣體，此氣體部分含有濃煙，部分則對呼吸系統(tǒng)有刺激性作用有害人體，故必須經(jīng)過Central Scrubber做水洗中和處理后，再排入大氣。 (2) 毒 性 廢 氣：其主要來源為化學氣體沉積，（CV

4、D）干蝕刻機、擴散、離子植入機及磊晶等制程時所產(chǎn)生，由于以上之制程均使用大量的毒性氣體，因此在其機臺本身即設(shè)置有Local Scrubber 作先行處理，再送至Central Scrubber 做水洗中和處理后，再排入大氣。 (3) 有機溶劑廢氣：目前所見到大多以活性碳吸附塔或采用沸石濃縮轉(zhuǎn)輪+燃氣式焚化爐，去除率可達90以上，為目前較佳之空氣污染控制技術(shù)。 (4) 一 般 廢 氣：其來源為機器運轉(zhuǎn)發(fā)熱產(chǎn)生不含有害物質(zhì)，故可經(jīng)由排氣設(shè)備直接排入大氣。 上海盛劍環(huán)境系統(tǒng)科技有限公司上海盛劍環(huán)境系統(tǒng)科技有限公司制程排氣系統(tǒng)施工說明： 潔凈室培訓： 在二次配施工階段所有廠房基本都已經(jīng)進入無塵室三級管

5、制階段，因此首先應(yīng)對施工作業(yè)人員一定要進行無塵室施工培訓，并考核合格后方能進入無塵室施工。進入無塵室施工必須要進行申請。所以人員必須按照規(guī)定的人員動線行進，從單一的管制口登記后進出，并接受管制人員檢查，服從管制。禁止攜入非必須用品，如香煙、打火機。非潔凈紙張等物品。潔凈室內(nèi)禁止吸煙，食用任何物品，禁止隨意丟棄物品。人員進入無塵室流程1.在脫鞋區(qū)將鞋整齊放在鞋架上，赤腳（必須穿襪子）進入一次風淋室、接受工安檢查，填寫登記表格。2.口罩、網(wǎng)帽、無塵服、鞋、手套、安全帽依次按規(guī)定穿戴整齊，二次洗手烘干，進入二次風淋室。3.嚴禁穿潔凈服出入室外，從其他物料口出入。物料進入無塵室流程1、攜入無塵室之前，

6、工具、物料、附件必須要在無塵室外擦拭干凈，不能有油、銹、灰塵等。2.不可將紙箱、木質(zhì)類發(fā)塵源帶入潔凈室。3.腳手架、手推車輪子要用斑馬膠帶包裹。A字梯要用無塵布包裹上海盛劍環(huán)境系統(tǒng)科技有限公司上海盛劍環(huán)境系統(tǒng)科技有限公司制程排氣系統(tǒng)施工說明： 物料進入無塵室流程1、攜入無塵室之前，工具、物料、附件必須要在無塵室外擦拭干凈，不能有油、銹、灰塵等。2.不可將紙箱、木質(zhì)類發(fā)塵源帶入潔凈室。3.腳手架、手推車輪子要用斑馬膠帶包裹。A字梯要用無塵布包裹上海盛劍環(huán)境系統(tǒng)科技有限公司上海盛劍環(huán)境系統(tǒng)科技有限公司制程排氣系統(tǒng)施工步驟及方法：1、風管的安裝標高，對于矩形風管是從管底算起，而圓形風管是從風管中心計

7、算，在安裝吊架時應(yīng)引起注意。圓形風管的管徑由大變小時，為保持風管中心線的水平，托架的標高應(yīng)按變徑的尺寸相應(yīng)地提高。 2、為保證法蘭接口的嚴密性，法蘭之間應(yīng)有耐高溫、防腐蝕PTFE密封墊。在無特殊要求情況下，法蘭墊料按標準選用。 3、 風管安裝：根據(jù)施工現(xiàn)場情況，可以在地面連成一定的長度，然后采用吊裝的方法就位；也可以把風管一節(jié)一節(jié)地放在支架上逐節(jié)連接。一般安裝順序是先干管后支管。應(yīng)及時固定和調(diào)整支架，支架位置應(yīng)準確，安裝應(yīng)平整牢固，與管子接觸應(yīng)緊密。4、對于暫時不安裝的孔洞不要提前打開；暫停施工時，應(yīng)加蓋板，以防墜人墜物事故發(fā)生。 5、 防火閥安裝，方向位置應(yīng)正確，易熔件應(yīng)迎氣流方向。排煙閥手

8、動裝置（預埋導管）不得出現(xiàn)死彎及癟管現(xiàn)象，手動密閉閥安裝時閥門上標志的箭頭方向應(yīng)與受沖擊波方向一致。 6、安裝必須牢固，位置、標高和走向符合設(shè)計要求，部件方向正確，操作方便。防火閥檢查孔的位置必須設(shè)在便于操作的部位。 9、潔凈系統(tǒng)風管連接必須嚴密不漏；法蘭墊料及接頭方法必須符合設(shè)計要求和施工規(guī)范規(guī)定。 上海盛劍環(huán)境系統(tǒng)科技有限公司上海盛劍環(huán)境系統(tǒng)科技有限公司制程排氣系統(tǒng)施工步驟及方法：10、潔凈系統(tǒng)柔性短管所采用的材料，必須不產(chǎn)塵、不透氣，內(nèi)壁光滑；柔性短管與風管，設(shè)備的連接必須嚴密不漏，并做好各項預檢工程檢查記錄表及技術(shù)交底。 11、二次配風管安裝要了解機臺所排介質(zhì)，所排介質(zhì)中有液體的接點，

9、不允許有存水彎出現(xiàn)，如果因其他原因造成存水彎的出現(xiàn)，一定要在存水彎的底部開排水口，并接入廢水管。12、二次配：Local Scrubber設(shè)備在安裝風管時應(yīng)要注意（Local Scrubber設(shè)備通常會放在下夾層，TAKE OFF點都會高過Local Scrubber設(shè)備的接口，設(shè)備在處理過程中會有水蒸汽帶進風管中，水會越積越多，設(shè)備出口自帶止回閥，液體回不到設(shè)備中，風管就會被堵死），安裝方法見圖：13、二次配：對于放在二樓的設(shè)備，主系統(tǒng)風管在下夾層，要穿過RC孔去接設(shè)備，會堪時了解所排介質(zhì)中是否有液體，沒有液體的設(shè)備下夾層風管可以水平安裝，有液體的設(shè)備風管安裝要有坡度，通常有液體的機臺風管安裝坡度3-5，且中間沒有存水彎出現(xiàn)。風管躲其他系統(tǒng)的管路，風管只可以往上彎，不可以往下彎。14、二次配風管在現(xiàn)場切割：特氟龍風管絕對不準使用角磨機切割片切割，可以使用曲線鋸及手提盤鋸切割，切口要平整度一致，操作時要一人切割，一人拿吸塵器對準切割口吸塵。上海盛劍環(huán)境系統(tǒng)科技有限公司上海盛劍環(huán)境系統(tǒng)科技有限公司制程排氣系統(tǒng)施工步驟及方法：17、二次配安裝風管安裝方法及固定支架安裝見下圖。上海盛劍環(huán)境系統(tǒng)科技有限公司上海盛劍環(huán)境系統(tǒng)科技有限公司制程排氣系統(tǒng)施工步驟及方法：15、二次配風管翻遍：翻遍前檢查機械是否運轉(zhuǎn)正常，翻遍磨具是否有異物、毛刺。