晶圓生產(chǎn)常用名詞介紹.

1、- 0 -Index半導(dǎo)體工廠基礎(chǔ)生產(chǎn)名詞半導(dǎo)體工廠基礎(chǔ)生產(chǎn)名詞生產(chǎn)流通名次生產(chǎn)流通名次產(chǎn)能相關(guān)的名詞產(chǎn)能相關(guān)的名詞Capacity計(jì)算原理計(jì)算原理產(chǎn)能的影響因素產(chǎn)能的影響因素生產(chǎn)與生產(chǎn)管理系統(tǒng)生產(chǎn)與生產(chǎn)管理系統(tǒng)生產(chǎn)指標(biāo)的定義及管控生產(chǎn)指標(biāo)的定義及管控生產(chǎn)的概念生產(chǎn)的概念生產(chǎn)管理系統(tǒng)及生產(chǎn)指標(biāo)生產(chǎn)管理系統(tǒng)及生產(chǎn)指標(biāo)CVP/OTD& CT的定義的定義CVP/CT的管控的管控CT、output與與WIP、Capacity的關(guān)系的關(guān)系OEE優(yōu)先級(jí)優(yōu)先級(jí)yield- 1 -第一章 半導(dǎo)體廠基礎(chǔ)生產(chǎn)類名詞 - 2 -1.1生產(chǎn)流通名詞生產(chǎn)流通名詞WIP：在制品，wafer in process的

2、縮寫Effective WIP: 在線(不含customer hold)圓片中產(chǎn)出標(biāo)記不為P和FILLER的圓片BUFFER: 某設(shè)備大類前等待加工產(chǎn)品的數(shù)量,不含RUN的產(chǎn)品(不含HOLD) MOVE：圓片的制程步驟移動(dòng)數(shù)量，一個(gè)圓片在PROMIS流程中每移動(dòng)一步為一個(gè)MOVE有效有效MOVE：在線(不含customer hold)圓片中產(chǎn)出標(biāo)記不為P和FILLER的圓片產(chǎn)生的MOVE Stage：同一制程目的的step合起來稱為一個(gè)stage; Turn ratio：周轉(zhuǎn)率，Move與WIP的比值，衡量流通速度的指標(biāo)。 =Move / WIPREPSTAGE ：基本按光刻層次劃分，一層光刻

3、表示一個(gè) REPSTAGE，部分特殊。WAIT TIME:指當(dāng)前步驟前等待時(shí)間,不含HOLDHOLD TIME:最近一次發(fā)生HOLD后的時(shí)間FAB OUT：入B-ship的外部訂單數(shù)量。流程單：流程單：也稱RUN CARD。 記錄圓片的加工步驟和要求，在流片過程中要嚴(yán)格遵循流程單上的工藝步驟和要求- 3 -1.2產(chǎn)能相關(guān)名詞產(chǎn)能相關(guān)名詞SOP：Standard Operation Procedure-標(biāo)準(zhǔn)操作程序SPT：standard process time，在適宜的操作條件下，采用標(biāo)準(zhǔn)操作方法，以普通熟練工人的正常速度完成標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)所需的時(shí)間。一般指作業(yè)一個(gè)Batch需要的時(shí)間。BATCH

4、:一次生產(chǎn)量，一次操作所生產(chǎn)的數(shù)量，設(shè)備每個(gè)RUN的圓片數(shù)量。WPH： wafer per hour,機(jī)臺(tái)每小時(shí)之圓片產(chǎn)出量。機(jī)臺(tái)每小時(shí)之圓片產(chǎn)出量。用來衡量設(shè)備的產(chǎn)出速率 WPH=BATCH/SPTCapacity:產(chǎn)能，設(shè)備目標(biāo)OEE條件下按照SPT計(jì)算單位時(shí)間內(nèi)的理論產(chǎn)出數(shù)量 Capacity/day =WPH*24*OEE target- 4 -設(shè)備組設(shè)備組Loading =Q1+Q2+Qn設(shè)備組設(shè)備組Capacity設(shè)備組設(shè)備組Capacity =加權(quán)平均加權(quán)平均WPH*24*OEE*設(shè)備臺(tái)數(shù)設(shè)備臺(tái)數(shù)*天數(shù)天數(shù)1.3 Capacity_計(jì)算原理計(jì)算原理加權(quán)平均加權(quán)平均SPT =Q1*

5、 SPT1+Q2*SPT2+Qn*SPTnQ1+Q2+QnQn：某一時(shí)期內(nèi)菜單：某一時(shí)期內(nèi)菜單n的數(shù)量的數(shù)量 SPTn:菜單菜單n的的SPT 加權(quán)平均加權(quán)平均WPH=Batch加權(quán)平均加權(quán)平均SPTLoading最高的設(shè)備組為工廠的瓶頸設(shè)備組。最高的設(shè)備組為工廠的瓶頸設(shè)備組。FAB Capacity一般用光刻層數(shù)（一般用光刻層數(shù)（layer數(shù)）表示。數(shù)）表示。FAB Capacity=總光總光刻層數(shù)刻層數(shù)瓶頸設(shè)備組瓶頸設(shè)備組Loading- 5 -1.4 Capacity_影響產(chǎn)能的因素影響產(chǎn)能的因素F(x)Equipment. Uptime. Available. Set. Efficien

6、cyProcess Type. Recipe; (SPT,WPH). FrequencyProduct mix.Total FrequencyCapacityYield.FAB Yield 97%.Photo Rework rate 95%- 6 -第二章 生產(chǎn)與生產(chǎn)管理系統(tǒng) 生產(chǎn)指標(biāo)定義及管控- 7 -indexindex生產(chǎn)的概念生產(chǎn)的概念生產(chǎn)管理系統(tǒng)與生產(chǎn)指標(biāo)生產(chǎn)管理系統(tǒng)與生產(chǎn)指標(biāo)CVP /OTD& CT 定義定義CVP/CT管控管控CT、output與與WIP、Capacity的關(guān)系及管控的關(guān)系及管控OEE 優(yōu)先級(jí)系統(tǒng)優(yōu)先級(jí)系統(tǒng)Yield- 8 -1.1生產(chǎn)的概念生產(chǎn)的概念生產(chǎn)

7、定義：狹義：投入一定的資源，經(jīng)過一系列、多種形式的變換，使其價(jià)值增值，最后產(chǎn)出消費(fèi)產(chǎn)品的過程廣義：系統(tǒng)論的發(fā)展使人們能夠 從更抽象、更高的角度來認(rèn)識(shí)和把握各種現(xiàn)象的共性，把有形產(chǎn)品的生產(chǎn)過程和無形產(chǎn)品服務(wù)的提供過程都看作一種“投入變換產(chǎn)出”的過程，作為一種具有共性的問題來研究投入投入人力物料設(shè)備技術(shù)信息知識(shí)能源土地廠房增值變換增值變換（工藝過程或執(zhí)行步驟）產(chǎn)出產(chǎn)出產(chǎn)品服務(wù)信息收集與反饋顧客或用戶參與- 9 -2.1生產(chǎn)管理系統(tǒng)生產(chǎn)管理系統(tǒng)生產(chǎn)管理：生產(chǎn)管理：對(duì)生產(chǎn)運(yùn)作過程進(jìn)行計(jì)劃、組織、指揮、協(xié)調(diào)、控制和考核的一系列管理活動(dòng)。生產(chǎn)管理 現(xiàn)場(chǎng)管理 工程技術(shù)管理 任務(wù)任務(wù)對(duì)生產(chǎn)管理活動(dòng)按職能分類：

8、對(duì)生產(chǎn)管理活動(dòng)按職能分類：現(xiàn)場(chǎng)管理：現(xiàn)場(chǎng)管理：最大限度地激活人、物、設(shè)備的作用，在每道工序保證完美最大限度地激活人、物、設(shè)備的作用，在每道工序保證完美質(zhì)量質(zhì)量的前提的前提下追求下追求高效率化高效率化狹義生產(chǎn)管理：狹義生產(chǎn)管理：為了達(dá)到按用戶要求，采用合適、不浪費(fèi)、經(jīng)濟(jì)的方式，生產(chǎn)已開發(fā)、為了達(dá)到按用戶要求，采用合適、不浪費(fèi)、經(jīng)濟(jì)的方式，生產(chǎn)已開發(fā)、設(shè)計(jì)的產(chǎn)品并提供給用戶這一目的所做的設(shè)計(jì)的產(chǎn)品并提供給用戶這一目的所做的各項(xiàng)計(jì)劃、管理工作。各項(xiàng)計(jì)劃、管理工作。 工程技術(shù)管理：工程技術(shù)管理： 為了完成效率良好的為了完成效率良好的Q、D、C而進(jìn)行的而進(jìn)行的產(chǎn)品設(shè)計(jì)產(chǎn)品設(shè)計(jì)、工程設(shè)計(jì)工程設(shè)計(jì) 和生產(chǎn)和

9、生產(chǎn)設(shè)備管理設(shè)備管理生產(chǎn)管理的任務(wù)與目標(biāo)：生產(chǎn)管理的任務(wù)與目標(biāo)：實(shí)現(xiàn)企業(yè)的總體經(jīng)營(yíng)目標(biāo)實(shí)現(xiàn)企業(yè)的總體經(jīng)營(yíng)目標(biāo)QQuality（質(zhì)量），DDelivery（進(jìn)度），進(jìn)度），CCost（成本）保證與提高質(zhì)量；適時(shí)適量將產(chǎn)品投放市場(chǎng)；降低產(chǎn)品成本。DDelivery（進(jìn)度）：包含產(chǎn)量、速度兩層含義。進(jìn)度）：包含產(chǎn)量、速度兩層含義。生產(chǎn)運(yùn)作管理的作用與意義：生產(chǎn)運(yùn)作管理的作用與意義：生產(chǎn)運(yùn)作過程是企業(yè)創(chuàng)造價(jià)值與利潤(rùn)的主要環(huán)節(jié)；生產(chǎn)運(yùn)作管理是企業(yè)經(jīng)營(yíng)的基本職能；生產(chǎn)運(yùn)作管理是企業(yè)增強(qiáng)竟?fàn)幜Φ脑慈? 10 -2.2生產(chǎn)管理系統(tǒng)與生產(chǎn)指標(biāo)生產(chǎn)管理系統(tǒng)與生產(chǎn)指標(biāo)生產(chǎn)管理系統(tǒng)生產(chǎn)管理現(xiàn)場(chǎng)管理工程技術(shù)管理指標(biāo)：

10、OTD/CVPCTOUTPUTYield生產(chǎn)計(jì)劃生產(chǎn)計(jì)劃生產(chǎn)控制生產(chǎn)控制成本物料管理成本物料管理產(chǎn)能管理產(chǎn)能管理工作標(biāo)準(zhǔn)化PDCA循環(huán)管理模式 OEE實(shí)踐活動(dòng)優(yōu)先級(jí)系統(tǒng)- 11 -3.1 OTD/CVP&CT 定義定義 OTD：準(zhǔn)時(shí)交貨率(On Time Deliver ) CVP：定單數(shù)量的準(zhǔn)時(shí)交付（入庫）率(Confirm Volume Performance) CVP=實(shí)際準(zhǔn)時(shí)入庫數(shù)量/定單要求入庫數(shù)量*100% CT：流通周期（Cycle Time），即自投料到入庫的時(shí)間 CT=入庫時(shí)間-Customer Hold時(shí)間-投料時(shí)間 CT/layer：自投料到入庫的實(shí)際流通時(shí)間/l

11、ayer數(shù)- 12 -3.2 OTD/ CVP/CT管控管控OTD運(yùn)作控制工具：運(yùn)作控制工具：$Daily reviewWAFER INWAFER START POLICYWAFER OUT交期控制WAFER OUT1）Capacity Improve2）優(yōu)先級(jí)系統(tǒng)）優(yōu)先級(jí)系統(tǒng)1、WIP數(shù)量及WIP分布的管控2、產(chǎn)能大小及穩(wěn)定性管控- 13 -3.3 CT、output與與WIP、Capacity的關(guān)系及管控的關(guān)系及管控Output（layer/day) =WIP/(CT/layer)當(dāng)WIP大于某個(gè)值時(shí)：Output（layer/day)=Capacity（layer/day)此時(shí) CT/l

12、ayer =WIP/ Capacity（layer/day)CT、output 改善：改善：1.控制WIP在合理水平2.努力提升靜態(tài)瓶頸設(shè)備產(chǎn)能3.保證設(shè)備穩(wěn)定性，減少工藝限制，以減少動(dòng)態(tài)瓶頸- 14 - OEE(Overall Equipment Effectiveness),即總體即總體設(shè)備效率。設(shè)備效率。OEE是一個(gè)全面衡量半導(dǎo)體設(shè)備性能和產(chǎn)能的指是一個(gè)全面衡量半導(dǎo)體設(shè)備性能和產(chǎn)能的指標(biāo)。標(biāo)。4.1 OEE_定義定義- 15 - Unworried days(holidays) Installation,rebuild or upgrade Process experiments Rep

13、air PM Change of consumable Regular production No product Rework No operator (02 state) Engineering Lots Total Time Non-Scheduled TimeWorking Time UptimeDowntime Engineering Time Available Time Productive Time Idle Time Unscheduled Downtime (DOWN) Scheduled Downtime(PM) QC Time 4.2 基本概念基本概念-OEE_時(shí)間組成

14、時(shí)間組成- 16 -4.3 基本概念基本概念-OEE_計(jì)算公式計(jì)算公式責(zé)任部門責(zé)任部門計(jì)算公式計(jì)算公式Equipmentuptime%=(total time - 05-03down-04PM)/(total time-05) =(01prod+02idle+06QC+07eng)/(total time-05)*100%ProcessAvailable%=(total time - 05-03down-04PM-06QC-07eng)/(total time-05) =(uptime- 06QC-07eng)/(total time-05) =(01prod+02idle)/(total t

15、ime-05)*100%MFGEfficiency%=實(shí)際出片數(shù)目/按SPT計(jì)算出的理論出片數(shù)目MFG & MarketUsed of available%01prod/available time 01prod/(01prod+02idle) OEE=Available% * Efficiency% * Used of available%注： 1）按照TOC（約束理論），提高瓶頸設(shè)備的Used of available%，就是提高生產(chǎn)率； 2）由于每個(gè)時(shí)期過片需求不同，導(dǎo)致Used of available%數(shù)值不同，因此，我們也會(huì)把Used of available%當(dāng)100%的

16、OEE數(shù)值，定為設(shè)備的目標(biāo)OEE； 3）Used of available%相當(dāng)于機(jī)臺(tái)Loading(即機(jī)臺(tái)負(fù)載），因此計(jì)算設(shè)備產(chǎn)能時(shí),會(huì)將設(shè)備OEE中的Used of available%=100%，來反推機(jī)臺(tái)的Loading；- 17 - 確定當(dāng)前的瓶頸設(shè)備 要搜集足夠的數(shù)據(jù)，尤其需要實(shí)時(shí)的、精確的數(shù)據(jù) 成立一個(gè)跨部門的OEE專案小組 分析數(shù)據(jù)，找出根本原因，提出改進(jìn)措施，達(dá)成效果分析，推動(dòng)Action執(zhí)行。 鼓勵(lì)設(shè)備供應(yīng)商的參加4.4 OEE實(shí)施實(shí)施- 18 -5.1優(yōu)先級(jí)系統(tǒng)優(yōu)先級(jí)系統(tǒng)優(yōu)先等級(jí)：按理論剩余流通周期（加調(diào)整天數(shù)）與剩余交貨時(shí)間差數(shù)大小，或者市場(chǎng)定單需求緊急程度，對(duì)園片加工先后順序給予的等級(jí) 優(yōu)先等級(jí)：資源有限的前提下，為更有效的完成生產(chǎn)目標(biāo)（OTD、output、 line balance、key customer 等），對(duì)圓片的加工順序給予的等級(jí)，是一個(gè)資源合理分配的過程。- 19 -6.1成品率類定義標(biāo)準(zhǔn)成品率類定義標(biāo)準(zhǔn)描述計(jì)算公式1)Line yield(線成品率)Line yield=當(dāng)月在線產(chǎn)出 的圓片數(shù)/（當(dāng)月在線產(chǎn)出片數(shù)+當(dāng)月在線報(bào)廢片數(shù)）*100%2)PCM yield(PCM成品率)當(dāng)月PCM產(chǎn)出片數(shù)/（當(dāng)月PCM產(chǎn)出片數(shù)+當(dāng)月P