透明薄膜厚度的測量課件_第1頁
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文檔簡介

1、透明薄膜厚度的一種測量方法,一、測量原理,二、測量裝置,本方法提供的透明薄膜厚度的測量裝置包括寬帶光源、干涉組件、頻域探測裝置和數(shù)據(jù)處理器，如圖1所示,圖1 中9為寬帶光源；10為干涉組件，可以采用邁克爾遜干涉裝置；11為頻域探測裝置，可以采用光譜儀；12為數(shù)據(jù)處理器。,干涉組件采用邁克爾遜干涉裝置，裝置如圖2,由于寬帶光源是發(fā)散光源，所以根據(jù)需要會(huì)在干涉儀前加匯聚透鏡來調(diào)整光路，這也作為干涉組件的一部分。,圖2 邁克爾遜干涉裝置,測量具體裝置圖如圖3所示：,圖3 測量裝置,三、方法和步驟說明,圖4 放置薄膜前得到的光程差信息,圖5 放置薄膜后得到的光程差信息,圖6 薄膜傾斜后得到的光程差信息

2、,圖7 光通過薄膜時(shí)的光路圖,四、總結(jié),本方法是透明薄膜厚度的一種光學(xué)測量方法，采用投射式的測量方法，該方法精度高，測量范圍大，同時(shí)結(jié)構(gòu)靈活、處理方法簡單，不要求嚴(yán)格放置樣品，是透明薄膜厚度測量的一種良好方法，同時(shí)它還能測量薄膜的折射率，這是一般方法所不能比擬的優(yōu)勢。,五、拓展,上述方法中也可以把頻率探測裝置換成測微目鏡，測量步驟如下：,1、調(diào)節(jié)邁克爾遜干涉裝置的兩塊反射鏡使在測微目鏡中觀察到的是均勻的一片，即看不到干涉條紋，此時(shí)干涉的兩束光光程差相等。 2、將透明薄膜垂直放入其中一條光路中，這時(shí)在測微目鏡中會(huì)出現(xiàn)干涉條紋，調(diào)節(jié)其中一塊反射鏡直到測微目鏡視野中干涉條紋消失重新變成均勻一片，記錄此時(shí)反射鏡移動(dòng)的距離L. 3、若薄膜折射率為n，則2(n-1)d=L，可得d=L/(2n-2)。 這種方法原理簡單，但是要求對反射鏡移動(dòng)距離能有較高精度的測量，而且在觀察測微目鏡視野

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