生物安全柜超凈工作臺不確定度評定

第1版第0次修改第1頁共9頁不確定度評定生物安全柜/超凈工作臺測量不確定度評定一、潔凈度測量不確定度評定1.概述1.1測量依據(jù)：QTD-EA01-2011生物安全柜/超凈工作臺校準(zhǔn)方法（參照J(rèn)G/T19-1999層流潔凈工作臺檢驗標(biāo)準(zhǔn)）。1.2環(huán)境條件：。1.3測量標(biāo)準(zhǔn)：ZHJ-E型塵埃粒子計數(shù)器、準(zhǔn)確度：±35%；1.4測量對象：HR-1500

型超凈工作臺。1.5測量過程：用ZHJ-E型塵埃粒子計數(shù)器、準(zhǔn)確度：±35%測試潔凈度。當(dāng)吸風(fēng)口處的氣溶膠濃度達(dá)到穩(wěn)定條件下,在距主過濾器或整流格柵出口250mm的平行斷面的中心處（垂直層流潔凈工作臺距操作臺面250mm的中心處）連續(xù)測試5次，求其平均值。并測量吸風(fēng)口處氣溶膠濃度連續(xù)測試5次，求其平均值。2.輸入量的標(biāo)準(zhǔn)不確定度評定潔凈度測量的不確定度主要包括測量重復(fù)性和塵埃粒子計數(shù)器的準(zhǔn)確度引起的不確定度。2.1被檢儀器測量重復(fù)性引起的不確定度分量用ZHJ-E型塵埃粒子計數(shù)器對HR-1500

型超凈工作臺的垂直層流潔凈工作臺距操作臺面250mm的中心處測試潔凈度，在相同條件下重復(fù)測量10次（超凈工作臺潔凈度的不穩(wěn)定性已表現(xiàn)在重復(fù)性測量的數(shù)據(jù)中，不另作分析），得到≥0.5μm粒子測量數(shù)據(jù)如下（單位：粒/L）：2、2、2、2、2、2、2、1、2、2=1.9粒/L根據(jù)貝塞爾公式s()==0.32粒/L則=s()=0.32粒/L，相對不確定度為==16.8%2.2由ZHJ-E型塵埃粒子計數(shù)器準(zhǔn)確度引起的不確定度分量QZHJ-E型塵埃粒子計數(shù)器準(zhǔn)確度相對誤差≤±35%，為均勻分布，則=35%/＝20.21%2.3由ZHJ-E型塵埃粒子計數(shù)器分辨率引起的不確定度分量ZHJ-E型塵埃粒子計數(shù)器分辨率為1粒/L，為均勻分布，其不確定度分量=/=0.29粒/L相對不確定度為==15.26%3.合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度==30.39%4.擴(kuò)展標(biāo)準(zhǔn)不確定度取包含因子k=2，則擴(kuò)展不確定度=k×=2×30.39%=60.78%≈60.8%5.測量不確定度報告超凈工作臺操作區(qū)≥0.5μm粒子為1.9粒/L時潔凈度測量結(jié)果相對的擴(kuò)展不確定度為：=60.8%（k=2）二、風(fēng)速測量不確定度評定1.概述1.1測量依據(jù)：1.1測量依據(jù)：QTD-EA01-2011生物安全柜/超凈工作臺校準(zhǔn)方法（參照J(rèn)G/T19-1999層流潔凈工作臺檢驗標(biāo)準(zhǔn)）。1.2環(huán)境條件：。1.3測量標(biāo)準(zhǔn)：QDF-3型熱球式風(fēng)速計、準(zhǔn)確度：±4%；1.4測量對象：HR-1500

型超凈工作臺。1.5測量過程：用QDF-3型熱球式風(fēng)速計測試風(fēng)速。把在主過濾器或擴(kuò)散板下游10cm處的平面的面積分成不得少于十二等分的面積，各面積中心點即為風(fēng)速測試點。但各測點間距不應(yīng)大于25cm。2.輸入量的標(biāo)準(zhǔn)不確定度評定風(fēng)速測量的不確定度主要包括測量重復(fù)性和熱球式風(fēng)速計的準(zhǔn)確度及分辨力引起的不確定度。2.1被檢儀器測量重復(fù)性引起的不確定度分量用QDF-3型熱球式風(fēng)速計對HR-1500

型超凈工作臺的操作臺的中點測試風(fēng)速，在相同條件下重復(fù)測量10次（超凈工作臺風(fēng)速的不穩(wěn)定性已表現(xiàn)在重復(fù)性測量的數(shù)據(jù)中，不另作分析），得到測量數(shù)據(jù)如下（單位：m/s）：0.45、0.49、0.52、0.55、0.51、0.49、0.48、0.46、0.45、0.48=0.488m/s根據(jù)貝塞爾公式s()==0.032m/s則=s()=0.032m/s。2.2由QDF-3型熱球式風(fēng)速計準(zhǔn)確度引起的不確定度分量QDF-3型熱球式風(fēng)速計準(zhǔn)確度為±4%，為均勻分布，則=4%/＝2.3%對這次測量=2.3%×0.488m/s=0.011m/s2.3由QDF-3型熱球式風(fēng)速計分辨率引起的不確定度分量風(fēng)速≤0.6m/s時儀器分辨率為0.01m/s，為均勻分布，其不確定度分量=/=0.003m/s3.合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度==0.034（m/s）4.擴(kuò)展標(biāo)準(zhǔn)不確定度取包含因子k=2，則擴(kuò)展不確定度=k×()=2×0.034m/s=0.068m/s≈0.07m/s5.測量不確定度報告超凈工作臺風(fēng)速為0.49m/s時風(fēng)速測量結(jié)果的擴(kuò)展不確定度為：=0.07m/s（k=2）三、噪聲測量不確定度評定1.概述1.1測量依據(jù)：1.1測量依據(jù)：QTD-EA01-2011生物安全柜/超凈工作臺校準(zhǔn)方法（參照J(rèn)G/T19-1999層流潔凈工作臺檢驗標(biāo)準(zhǔn)）。1.2環(huán)境條件：。1.3測量標(biāo)準(zhǔn)：TES52A型聲級計、不確定度：U=0.4dB（k=2）；1.4測量對象：HR-1500

型超凈工作臺。1.5測量過程：用TES52A型聲級計測試噪聲。潔凈工作臺的噪聲測點應(yīng)布置在工作臺中心，距臺面前沿20cm處，高度為110cm。宜四面各測定一次，取四點算術(shù)平均值。2.輸入量的標(biāo)準(zhǔn)不確定度評定噪聲測量的不確定度主要包括測量重復(fù)性和聲級計的準(zhǔn)確度及分辨力引起的不確定度。2.1被檢儀器測量重復(fù)性引起的不確定度分量用TES52A型聲級計對HR-1500

型超凈工作臺的操作臺的正面測試點測試噪聲，在相同條件下重復(fù)測量10次（超凈工作臺噪聲的不穩(wěn)定性已表現(xiàn)在重復(fù)性測量的數(shù)據(jù)中，不另作分析），得到測量數(shù)據(jù)如下（單位：dB）：45.1、45.4、45.3、45.5、45.4、45.2、45.3、45.4、45.2、45.0=45.28dB根據(jù)貝塞爾公式s()==0.155dB則=s()=0.155dB。2.2由TES52A型聲級計準(zhǔn)確度引起的不確定度分量TES52A型聲級計檢定結(jié)果擴(kuò)展不確定度為U=0.4dB（k=2），則=0.4dB/2＝0.2dB2.3由TES52A型聲級計分辨率引起的不確定度分量TES52A型聲級計分辨率為0.1dB，為均勻分布，其不確定度分量=/=0.029dB3.合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度==0.255（dB）4.擴(kuò)展標(biāo)準(zhǔn)不確定度取包含因子k=2，則擴(kuò)展不確定度=k×=2×0.255dB=0.510dB≈0.5dB5.測量不確定度報告超凈工作臺噪聲為45.3dB時噪聲測量結(jié)果的擴(kuò)展不確定度為：=0.5dB（k=2）四、照度測量不確定度評定1.概述1.1測量依據(jù)：1.1測量依據(jù)：QTD-EA01-2011生物安全柜/超凈工作臺校準(zhǔn)方法（參照J(rèn)G/T19-1999層流潔凈工作臺檢驗標(biāo)準(zhǔn)）。1.2環(huán)境條件：。1.3測量標(biāo)準(zhǔn)：540型照度計、準(zhǔn)確度：±3%；1.4測量對象：HR-1500

型超凈工作臺。1.5測量過程：用540型照度計測試照度。測點布置在潔凈工作臺橫向的中心線上，均勻布置三點，取算術(shù)平均值作為工作臺的照度。2.輸入量的標(biāo)準(zhǔn)不確定度評定照度測量的不確定度主要包括測量重復(fù)性和540型照度計的準(zhǔn)確度及分辨力引起的不確定度。2.1被檢儀器測量重復(fù)性引起的不確定度分量用540型照度計對HR-1500

型超凈工作臺的操作臺橫向的中心點測試照度，在相同條件下重復(fù)測量10次（超凈工作臺照度的不穩(wěn)定性已表現(xiàn)在重復(fù)性測量的數(shù)據(jù)中，不另作分析），得到測量數(shù)據(jù)如下（單位：lx）：450、452、451、450、455、453、452、452、453、454=452.2lx根據(jù)貝塞爾公式s()==1.619lx則=s()=1.619lx。2.2由540型照度計準(zhǔn)確度引起的不確定度分量540型照度計準(zhǔn)確度為±3%，為均勻分布，則=3%/＝1.732%對這次測量=1.732%×452.2lx=7.832lx2.3由540型照度計分辨率引起的不確定度分量540型照度計分辨率為1lx，為均勻分布，其不確定度分量