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JEM-2100操作說(shuō)明一、合軸操作照明系統(tǒng)合軸找亮:當(dāng)翻開燈絲,并且燈絲電流放射之后,應(yīng)當(dāng)在熒光屏上找到電子束,假設(shè)打球,撤除全部光闌,根本上以上操作可以解決大多數(shù)沒亮的狀況a球,撤除全部光闌,根本上以上操作可以解決大多數(shù)沒亮的狀況a00
10K左右,移動(dòng)軌跡固然,也可以在用戶模式下直接對(duì)子束了。
GUNNTRL!正常狀況下就能找到電燈絲像調(diào)整:放大倍數(shù)為X40K,將光斑用beamshift移動(dòng)到屏幕中心,漸漸降低燈絲電流,并且用BRIGHTNESS旋鈕將光斑聚到最小, 隨著燈絲電流下降,可以觀看到燈絲像消滅。如以下圖標(biāo)準(zhǔn)的六硼化闌燈絲像是均勻?qū)ΨQ的四瓣花型的, 假設(shè)覺察花瓣不對(duì)稱,說(shuō)GUNTILT調(diào)整到對(duì)稱即可。調(diào)整完畢后將燈絲電流上升到正常數(shù)值,即稍能看到一點(diǎn)燈絲像陰影。1、5合軸:將束斑調(diào)到SPOTSIZE5beamshift將束斑移動(dòng)至屏幕中間,切SPOTSIZE1gunshift將偏移的束斑移動(dòng)至屏幕中間,重復(fù)此過(guò)程直到當(dāng)切換SPOTSIZE15時(shí)束斑根本上不發(fā)生偏移即可。CONDSTIG鍵將束斑調(diào)圓即可。加聚光鏡光闌:聚光鏡光闌紅點(diǎn)位置表示退出,其余的點(diǎn)的大小表示當(dāng)前所參與的光闌孔大小,順時(shí)針參與光闌至適宜的孔徑, 般用1號(hào)或2號(hào)光闌孔,加完后用beamshift將光斑移動(dòng)至屏幕中心,這時(shí)順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng) BRIGHTNESS將光斑放大到與屏幕同大,假設(shè)光闌沒有加正,則光斑不是均勻掩蓋屏幕,即光斑補(bǔ)隨BRIGHTNESS同心放大,此時(shí)調(diào)整光闌前端和右側(cè)的兩個(gè)旋鈕使光斑圓心與屏幕同心即可。(6IMAGEWOBBLEX或丫Z鍵直至將圖像震驚幅度最小即可成像系統(tǒng)合軸(1) 電壓中心調(diào)整:找一樣品尖端處,將尖端移動(dòng)到屏幕中間黑點(diǎn)處。按下HTWOBBLE讓樣品振顫,用BRIGHTTILT調(diào)整樣品尖端在振顫時(shí)不偏離屏幕中間黑點(diǎn),即樣品同心收縮即可。細(xì)聚焦:調(diào)整OBJFOCUS按鈕,使要觀看的樣品調(diào)至正交處,可通過(guò)欠交,正交,過(guò)交現(xiàn)象來(lái)確認(rèn)正交。找一處孔的邊界,在欠交下,孔邊緣會(huì)消滅亮邊,而在過(guò)交下,孔的邊緣會(huì)消滅黑邊,介于欠、過(guò)交之間,無(wú)黑、亮邊時(shí)就是正交處。物鏡消象散:物鏡象散的消法是在X300K以上找一處微柵,邊緣有非晶顆粒,不斷變化欠交和過(guò)交位置,觀看非晶顆粒外形有無(wú)方向性拉伸,假設(shè)有拉伸則說(shuō)明有物鏡象散,用OLSTIG調(diào)整至無(wú)方向拉伸即可。二、插拔樣品桿黑*插入樣品桿時(shí),先將桿插入樣品室,手微微向里頂住,將開關(guān)撥至
PUMP狀態(tài),然后等待樣品室皮拉尼軌抽到30以下〔綠燈亮了就可以了〕,然后順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)樣品桿一個(gè)小角度,此時(shí)樣品桿會(huì)到第一個(gè)轉(zhuǎn)換點(diǎn), 并被負(fù)壓吸入樣品室一小截, 然后再次轉(zhuǎn)動(dòng)樣品桿至轉(zhuǎn)不動(dòng)為止,再漸漸將樣品桿完全送入樣品室。拔樣品桿前留意先將樣品室位置歸零, 至拔不動(dòng)為止,
逆時(shí)針轉(zhuǎn)至轉(zhuǎn)不動(dòng),再拔一小段距離,再轉(zhuǎn)回起始位置,將開關(guān)撥至以上,即可將桿拔出。
AIR處放氣,至皮拉尼值為220三、加高壓[——一……wr~ihlhifiR 訓(xùn)1-[——一……wr~ihlhifiR 訓(xùn)1-TS—一~…一—二j—lw點(diǎn)自動(dòng)上升壓AUTOHT設(shè)步長(zhǎng)STEP為0.5左右,時(shí)間為lOsec目標(biāo)電壓200K
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