標(biāo)準(zhǔn)解讀

《GB/T 34213-2017 藍寶石襯底用高純氧化鋁》是一項國家標(biāo)準(zhǔn)，旨在規(guī)定用于藍寶石襯底制造的高純度氧化鋁的技術(shù)要求、測試方法、檢驗規(guī)則以及包裝、標(biāo)志、運輸和貯存的要求。該標(biāo)準(zhǔn)適用于以工業(yè)氧化鋁或其它含鋁原料為起始材料，通過化學(xué)提純等工藝制備的，主要應(yīng)用于生產(chǎn)藍寶石單晶襯底的高純氧化鋁產(chǎn)品。

根據(jù)這項標(biāo)準(zhǔn)，對于高純氧化鋁產(chǎn)品的技術(shù)要求包括但不限于其外觀質(zhì)量（如顏色）、物理性質(zhì)（如粒度分布）、化學(xué)成分（特別是雜質(zhì)元素含量限制）等方面的具體指標(biāo)。例如，在化學(xué)成分方面，除了對Al?O?主成分含量有明確要求外，還嚴格限定了Na?O、SiO?、Fe?O?等多種可能影響最終產(chǎn)品質(zhì)量的雜質(zhì)元素的最大允許含量。

此外，《GB/T 34213-2017》也詳細列出了測定這些性能參數(shù)所采用的標(biāo)準(zhǔn)試驗方法，并且指定了抽樣方案及合格判定準(zhǔn)則。同時，它還提供了關(guān)于如何正確地包裝、標(biāo)識、運輸和儲存此類材料的信息，確保在整個供應(yīng)鏈過程中保持產(chǎn)品的質(zhì)量和安全。

此標(biāo)準(zhǔn)的制定與實施有助于提高我國藍寶石襯底用高純氧化鋁的質(zhì)量水平，促進相關(guān)產(chǎn)業(yè)健康發(fā)展。


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  • 2017-09-07 頒布
  • 2018-06-01 實施
?正版授權(quán)
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文檔簡介

ICS7712010

H61..

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T34213—2017

藍寶石襯底用高純氧化鋁

Highpurityaluminaforsapphiresubstrate

2017-09-07發(fā)布2018-06-01實施

中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局發(fā)布

中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會

中華人民共和國

國家標(biāo)準(zhǔn)

藍寶石襯底用高純氧化鋁

GB/T34213—2017

*

中國標(biāo)準(zhǔn)出版社出版發(fā)行

北京市朝陽區(qū)和平里西街甲號

2(100029)

北京市西城區(qū)三里河北街號

16(100045)

網(wǎng)址

:

服務(wù)熱線

:400-168-0010

年月第一版

20179

*

書號

:155066·1-56241

版權(quán)專有侵權(quán)必究

GB/T34213—2017

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會與全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)

(SAC/TC203)

化技術(shù)委員會材料分會共同提出并歸口

(SAC/TC203/SC2)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位四川鑫通新材料有限責(zé)任公司江蘇協(xié)鑫軟控設(shè)備科技發(fā)展有限公司四川鑫炬

:、、

新興新光源材料有限公司東莞市技頂電子科技有限公司

、。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人錢幼平熊洲唐大林薛抗美黃修康侯龍超張強

:、、、、、、。

Ⅰ

GB/T34213—2017

藍寶石襯底用高純氧化鋁

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了藍寶石襯底用高純氧化鋁的要求試驗方法檢驗規(guī)則以及標(biāo)志包裝運輸貯存質(zhì)

、、、、、、

量證明書和訂貨單或合同內(nèi)容等

()。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于藍寶石襯底用高純氧化鋁以下簡稱高純氧化鋁其他用途的藍寶石單晶用高純氧

(),

化鋁可參照本標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行

。

高純氧化鋁的分子式為相對分子質(zhì)量為晶型為

Al2O3,101.96,α。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

氧化鋁化學(xué)分析方法和物理性能測定方法取樣

GB/T6609.22

氧化鋁化學(xué)分析方法和物理性能測定方法有效密度的測定比重瓶法

GB/T6609.26

半導(dǎo)體材料術(shù)語

GB/T14264

顆粒系統(tǒng)術(shù)語

GB/T16418

高純氧化鋁的痕量金屬元素等離子體發(fā)射光譜檢測方法

JC/T2147

3術(shù)語和定義

和界定的術(shù)語和定義適用于本文件

GB/T14264GB/T16418。

4要求

41產(chǎn)品分類

.

高純氧化鋁按真密度一般可分為類如表所示

4,1。

表1高純氧化鋁分類

真密度

類別主要生產(chǎn)方式

3

g/cm

高純氧化鋁類火焰法等

1≥3.95

高純氧化鋁類等離子法等

2≥3.80~3.95

高純氧化鋁類壓制燒結(jié)法冷坩堝法等

3≥3.00~3.80、

高純氧化鋁類

4<3.00

42化學(xué)成分

.

高

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