中國及部分省市電子特氣行業(yè)相關(guān)政策加快高純特種電子氣體研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化

中國及部分省市電子特氣行業(yè)相關(guān)政策加快高純特種電子氣體研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化電子特氣廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、微電子和相關(guān)的太陽能電池等高科技產(chǎn)業(yè)，或用于薄膜沉積、刻蝕、摻雜、鈍化、清洗，或用作載氣、保護(hù)氣氛等等。由于半導(dǎo)體和微電子技術(shù)向更高性能、更高集成度發(fā)展，對電子特氣的純度提出了越來越高的要求，電子特氣的的凈化愈加關(guān)鍵和重要。國家層面電子特氣行業(yè)相關(guān)政策近些年，為了促進(jìn)電子特氣行業(yè)發(fā)展，中國陸續(xù)發(fā)布了許多政策，如中國工業(yè)和信息化部等四部委聯(lián)合發(fā)布的新材料產(chǎn)業(yè)發(fā)展指南中在重點任務(wù)中提出加快高純特種電子氣體研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化，解決極大規(guī)模集成電路材料的制約問題。發(fā)布時間發(fā)布部門政策名稱重點內(nèi)容2017.01中國工業(yè)和信息化部等四部委《新材料產(chǎn)業(yè)發(fā)展指南》在重點任務(wù)中提出加快高純特種電子氣體研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化,解決極大規(guī)模集成電路材料的制約問題。2017.06商務(wù)部《重點新材料首批次應(yīng)用示范指導(dǎo)目錄(2017年版）》將特種氣體明確列示，主要應(yīng)用于集成電路、新型顯示2017.11國家發(fā)改委《增強制造業(yè)棱心竟?fàn)幜θ晷袆佑媱?2018-2020年)》加快先進(jìn)有機材料關(guān)犍技術(shù)產(chǎn)業(yè)化。重點發(fā)展新一代鋰離子電池用特種化學(xué)品、電子氣體、光刻膠、高純試劑等高端專用化學(xué)品等產(chǎn)品。2019.06國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會《液氫生產(chǎn)系統(tǒng)技術(shù)規(guī)范》征求意見稿規(guī)定了液氫生產(chǎn)系統(tǒng)的氫液化裝世、被氫貯存、液氫管道及閥門、輔助設(shè)施、測量表與自動控制、電氣設(shè)施、安全防護(hù)等的設(shè)置。2019.07國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會《液氫貯存和運輸安全技術(shù)要求》征求意見稿規(guī)定了液氫貯存和運輸?shù)南嚓P(guān)術(shù)語、被氫貯罐的設(shè)置、罐車罐箱的運輸、清洗與世換、安全與防護(hù)、事故處理等。該標(biāo)準(zhǔn)適用于貯存液氫的固定式貯罐，液氫運輸?shù)钠嚬捃嚰肮奘讲哐b箱。2019.12工信部《重點新材料首批次應(yīng)用示范指導(dǎo)目錄(2019版）》將用于集成電路和新型顯示的電子氣體的特種氣體:高純氯氣、三氯氫硅、鍺烷、氯化氫、氧化亞氫、乙硼烷、砷烷、磷烷、甲硅烷、二氯二氫硅、高純?nèi)然稹⒘币夜柰?、四氯化硅等列為重點新材料。2020.03國家發(fā)展改革委、司法部《關(guān)于加快建立綠色生產(chǎn)和消費法規(guī)政策體系的意見》提出加大對分布式能源、智能電網(wǎng)、儲能技術(shù)多能互補的政策支持力度，研究制定氫能、海洋能等新能源發(fā)展的標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范和支持政策，我國未來氫能及氫相關(guān)產(chǎn)品具備較大發(fā)展空間。2020.12住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部辦公廳《工業(yè)氣體制備通用規(guī)范（征求意見稿)》為在工業(yè)氣體制備中保障人身健康和生命財產(chǎn)安全、生態(tài)環(huán)境安全、公共安全，滿足經(jīng)濟(jì)社會管理的基本需要，依據(jù)有關(guān)法律法規(guī)，制定本規(guī)范。2021.01市場監(jiān)管總局《工業(yè)管道安全技術(shù)規(guī)程（意見稿）》進(jìn)一步明確工業(yè)管道的基本安全要求，理清法規(guī)、安全技術(shù)規(guī)范和標(biāo)準(zhǔn)的關(guān)系。2021.03全國人大《中華人民共和國國民經(jīng)濟(jì)和社會發(fā)展第十四個五年規(guī)劃和2035年遠(yuǎn)最目標(biāo)綱要》加大甲烷、氫氟碳化物、全氟化碳等其他溫室氣體控制力度。提升生態(tài)系統(tǒng)碳匯能力。錨定努力爭取2060年前實現(xiàn)碳中和,采取更加有力的政策和措施。地方層面電子特氣行業(yè)政策\t"/zhengce/202207/_blank"顯示，為了響應(yīng)國家號召，各省市積極推動電子特氣行業(yè)發(fā)展，如2021年7月發(fā)布的浙江省新材料產(chǎn)業(yè)發(fā)展"十四五"規(guī)劃中提出重點發(fā)展包括電子特氣以及下游光刻膠等半導(dǎo)體新材料，重點打造基于電子化學(xué)品材料的核心產(chǎn)業(yè)鏈。省市發(fā)布時間政策名稱重點內(nèi)容浙江2021.7《浙江省新材料產(chǎn)業(yè)發(fā)展"十四五"規(guī)劃》提出重點發(fā)展包括電子特氣以及下游光刻膠等半導(dǎo)體新材料，重點打造基于電子化學(xué)品材料的核心產(chǎn)業(yè)鏈。四川2021.3《四川省"十四五"規(guī)劃和2035年遠(yuǎn)景目標(biāo)綱要》提出聚焦半導(dǎo)體、新一代網(wǎng)絡(luò)技術(shù)、智能終端軟件等領(lǐng)域，優(yōu)化產(chǎn)業(yè)鏈發(fā)展，打造具有國際競爭力的制造業(yè)集群。江蘇2021.8《江蘇省"十四五"制造業(yè)高質(zhì)量發(fā)展規(guī)》以高轉(zhuǎn)換效率、高功率為方向，加快N型降穿氧化層鈍化接觸(TOPCon)、異質(zhì)結(jié)（HJT）晶硅電池技術(shù)和下一代太陽電池技術(shù)的研發(fā)，整合產(chǎn)業(yè)鏈，支持包括電子特氣在內(nèi)的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展。天津2021.7《天津市制造業(yè)高質(zhì)量發(fā)展"十四五"規(guī)》新能源材料。重點突破高端鈷酸鋰等鋰電池正極材料制備技術(shù)，發(fā)展硅破附件、中間相嵐微球等負(fù)極枝心材料，推進(jìn)六氟磷酸鋰相關(guān)材料生產(chǎn)線落地。引入氫燃料電池關(guān)健材料企業(yè)。廣東2021.7《廣東省制造業(yè)高質(zhì)量發(fā)展"十四五"規(guī)劃》材料與關(guān)誰元器件方面，依托廣州、深圳、珠海、東莞等市加快氮泵酰亞胺、光刻膠、高純度化學(xué)試劑、電子氣體、碳基、高密度封裝基板等材料研發(fā)生產(chǎn)。福建2021.7《福建省"十四五"制造業(yè)高質(zhì)量發(fā)展專項規(guī)劃》支持大尺寸硅片、光刻膠、高純化學(xué)試劑、電子氣體、化合物半導(dǎo)體材料、濺射靶材以及沉積設(shè)備、刻蝕設(shè)備、半導(dǎo)體檢測設(shè)備等研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化。遼寧2021.6《大連市國民經(jīng)濟(jì)和社會發(fā)展第十四個五年規(guī)劃和二○三五年遠(yuǎn)景目標(biāo)綱領(lǐng)》重點依托高新區(qū)、金普新區(qū)，重點發(fā)展集成電路等信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)，在集成電路關(guān)鍵材料領(lǐng)域，發(fā)揮新區(qū)在氣體材料方面的基礎(chǔ)和優(yōu)勢，支持科利德等企業(yè)發(fā)展，鞏固和擴大集成電路專用氣體工業(yè)版圖。西安2020.1《西安巿現(xiàn)代產(chǎn)業(yè)布局規(guī)劃》推進(jìn)液晶材料、濕電子化學(xué)品、電子特種氣體、封裝材料、有機發(fā)光材料等電子化學(xué)品的產(chǎn)業(yè)化。浙江2021.7《寧波巿新材料產(chǎn)業(yè)集群發(fā)展規(guī)劃(2021-2025)

》發(fā)展包括DUV/EUV級光刻膠、電子特種氣體、超高純化學(xué)試劑、蝕刻液等電子化學(xué)品等集成電路用關(guān)鍵材料。北京2021.8《北京市"十四五"時期高精尖產(chǎn)業(yè)發(fā)展規(guī)劃》堅持主體集中、區(qū)域集聚，圍繞國家戰(zhàn)略產(chǎn)品需