金剛石線(xiàn)鋸切割設(shè)備現(xiàn)狀與發(fā)展綜述.doc

1、金剛石線(xiàn)鋸切割設(shè)備現(xiàn)狀與設(shè)計(jì)初探周世威 鄭 超 國(guó)家特種礦物材料工程技術(shù)研究中心 桂林 541004摘 要:隨著光伏產(chǎn)業(yè)、半導(dǎo)體等高精端產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,硬脆性材料，如單晶硅、多晶硅、寶石、玻璃、陶瓷等材料的切割加工顯得猶為重要。近年來(lái)，世界各國(guó)研究開(kāi)發(fā)其切割設(shè)備，新工藝,新設(shè)備不斷涌現(xiàn)。而金剛石線(xiàn)鋸切割設(shè)備成為研究和發(fā)展的主流趨勢(shì),本文介紹國(guó)外硅片切割設(shè)備研究的最新進(jìn)展以及國(guó)內(nèi)發(fā)展?fàn)顩r，并介紹筆者參與研制的金剛石環(huán)形線(xiàn)鋸機(jī)的功能、特點(diǎn)和設(shè)計(jì)心得體會(huì)及金剛石單線(xiàn)和環(huán)線(xiàn)切割機(jī)應(yīng)用前景展望。關(guān)鍵詞：線(xiàn)切割設(shè)備 金剛石線(xiàn) 多線(xiàn)切割 金剛石線(xiàn)開(kāi)方機(jī) 金剛石單線(xiàn)機(jī) 環(huán)線(xiàn)機(jī)一、前 言目前，硬脆性材料，如單晶硅、

2、多晶硅、寶石、玻璃、陶瓷等,具有優(yōu)良、穩(wěn)定的物理和化學(xué)性能(如耐磨損性、抗腐蝕性、電絕緣性等),在電子、光學(xué)及其它領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用,特別是單晶硅、多晶硅、陶瓷材料被廣泛用于太陽(yáng)能光伏產(chǎn)業(yè)、半導(dǎo)體、真空電鍍等高精端產(chǎn)業(yè)中.伴隨半導(dǎo)體、光伏材料技術(shù)的發(fā)展，需求量不斷增加,切割加工量大幅增長(zhǎng)，由于硬脆材料硬度高、脆性大，因此加工難度較大.鋸切是硬脆材料機(jī)械加工的第一道工序， 鋸切加工成本約占加工總成本的 5 0 %以上，因此，切割工藝、工具及設(shè)備受到越來(lái)越廣泛的關(guān)注，并得到迅速發(fā)展。（1)從目前國(guó)內(nèi)外加工的現(xiàn)狀來(lái)看，硬脆性材料切割方法多種多樣，主要有：金剛石圓盤(pán)鋸切割(如外圓鋸片切割和內(nèi)圓鋸片切割）

3、、金剛石帶鋸切割、電火花線(xiàn)切割（只能用于帶金屬晶體）、游離磨料線(xiàn)鋸切割和金剛石線(xiàn)鋸切割等等.在國(guó)際上,游離磨料線(xiàn)鋸切割在單晶硅、多晶硅的切割中占主流地位，但是這種技術(shù)存在明顯的不足： 線(xiàn)鋸走絲速度低，通常10m/S,切割效率低， 鋸絲使用壽命短.切割大尺寸坯料時(shí)磨料難以進(jìn)入到長(zhǎng)而深的切縫，磨漿的處理和回收成本較高。因此,近來(lái)出現(xiàn)金剛石線(xiàn)鋸代替游離磨料線(xiàn)鋸的發(fā)展趨勢(shì)。目前，國(guó)內(nèi)硅片多線(xiàn)切割設(shè)備仍然是國(guó)外品牌廠家統(tǒng)治的天下，其核心技術(shù)長(zhǎng)期為他們所壟斷，嚴(yán)重制約我國(guó)光伏產(chǎn)業(yè)和半導(dǎo)體IC產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。國(guó)家將對(duì)新能源及其裝備制造業(yè)給予有力的政策支持,并提出要強(qiáng)化科技創(chuàng)新,提升產(chǎn)業(yè)核心競(jìng)爭(zhēng)力，加強(qiáng)產(chǎn)業(yè)關(guān)鍵核

4、心技術(shù)和前沿技術(shù)研究,強(qiáng)化企業(yè)技術(shù)創(chuàng)新能力建設(shè)，以推進(jìn)重大科研成果產(chǎn)業(yè)化和產(chǎn)業(yè)集聚發(fā)展.以求在十二五期間，攻下難關(guān)，逐步取代進(jìn)口切割設(shè)備，才能迎合國(guó)家對(duì)新材料、新能源等戰(zhàn)略性高新產(chǎn)業(yè)的發(fā)展勢(shì)頭，才能使自己的行業(yè)取得突破性的高速發(fā)展，使企業(yè)做精做大做強(qiáng).(2)文檔為個(gè)人收集整理,來(lái)源于網(wǎng)絡(luò)個(gè)人收集整理,勿做商業(yè)用途二、國(guó)外硅片切割設(shè)備的最新發(fā)展今年上海第五屆國(guó)際太陽(yáng)能產(chǎn)業(yè)及光伏工程展覽會(huì)上,國(guó)際各大公司展出其最新產(chǎn)品。1、日本東京制鋼公司在今年上海第五屆國(guó)際太陽(yáng)能產(chǎn)業(yè)及光伏工程展覽會(huì)上展出最新研制的T-8253B型金剛石多線(xiàn)切割機(jī),見(jiàn)圖1.該機(jī)線(xiàn)速度1000m/min,生產(chǎn)能力比游離絲切割機(jī)提高

5、2倍以上，實(shí)現(xiàn)TTV10m，成品率98的高精度加工，金剛石線(xiàn)消耗量1.5m/片以下,實(shí)行低成本生產(chǎn),單位面積內(nèi)生產(chǎn)能力4。7萬(wàn)片/m2。 圖1。日本東京T8253B金剛石多線(xiàn)切割機(jī)2.瑞士MB公司在上海光伏展會(huì)上推出的BM850金剛石多線(xiàn)開(kāi)方機(jī)和DS265切片機(jī)，其性能十分優(yōu)越,代表了當(dāng)今世界切割設(shè)備的最高水平，非國(guó)產(chǎn)機(jī)可比，值得認(rèn)真考察研究鏡鑒.1)BM850型金剛石線(xiàn)鋸開(kāi)方機(jī) 見(jiàn)圖2.A. 特點(diǎn) G5大型晶錠(850×850×450)一次性開(kāi)方. 采用350m金剛石線(xiàn)，可精確定位和張力控制，切割線(xiàn)消耗量最少。產(chǎn)能最高，每年切方36000-52000塊。 圖2. BM85

6、0型開(kāi)方機(jī)內(nèi)視圖（相當(dāng)于120170MW) B。技術(shù)參數(shù)生產(chǎn)能力每年120170MW切割能力4-6刀/天(以晶錠高度計(jì)）晶錠切割量每年切方3600052000塊晶錠尺寸(長(zhǎng)×寬×高) mm850×850×450mm晶塊尺寸（長(zhǎng)×寬） mm156×156(125×125，210×210可選）切割線(xiàn)350m金剛石線(xiàn)切割線(xiàn)最大長(zhǎng)度/切割線(xiàn)張力20Km/80N機(jī)床重量17000Kg電壓/頻率400V/50/60Hz,440/480V/50/60Hz可選生產(chǎn)能力每年120170MW切割能力46刀/天（以晶錠高度計(jì))晶錠切割量

7、每年切方36000-52000塊晶錠尺寸(長(zhǎng)×寬×高） mm850×850×450mm晶塊尺寸(長(zhǎng)×寬) mm156×156(125×125,210×210可選)切割線(xiàn)350m金剛石線(xiàn)切割線(xiàn)最大長(zhǎng)度/切割線(xiàn)張力20Km/80N機(jī)床重量17000Kg電壓/頻率400V/50/60Hz，440/480V/50/60Hz可選2）DS265型金剛石多線(xiàn)切割機(jī) ，見(jiàn)圖3. A. 特點(diǎn) 采用金剛石線(xiàn)提高線(xiàn)速度，提高進(jìn)給速度，實(shí)現(xiàn)最高產(chǎn)能。 搖擺機(jī)構(gòu)優(yōu)化了金剛石線(xiàn)切割長(zhǎng)度,縮短切割時(shí)間，并提高晶片質(zhì)量。 最高產(chǎn)量(方錠300mm

8、)90000片/年。 總運(yùn)行成本最低 線(xiàn)耗量3m/片。 最新一代斷線(xiàn)監(jiān)控系統(tǒng)，實(shí)時(shí)停機(jī)，確保 工件和導(dǎo)輪不受損。 圖3。 DS265型多線(xiàn)切割機(jī)B. 技術(shù)參數(shù) 工件尺寸最大8“裝載長(zhǎng)度最大300mm切割線(xiàn)直徑125-250m導(dǎo)輪直徑250mm滑輪數(shù)及直徑9×160mm工件搖擺幅度5°機(jī)器重量約6300Kg壓縮空氣5。58.0 bar罐體容量120L控制系統(tǒng)西門(mén)子S7和TFT彩色顯示器C. 搖擺機(jī)構(gòu)特點(diǎn) 見(jiàn)圖4.該機(jī)安裝單晶硅棒的機(jī)構(gòu)在切片過(guò)程，呈5度的往復(fù)搖擺。這使金剛石線(xiàn)進(jìn)給時(shí)，與工件接觸長(zhǎng)度保持恒定，以保證硅片的切割質(zhì)量。圖4.DS265型多線(xiàn)機(jī)搖擺機(jī)構(gòu)示意圖綜上所述,

9、經(jīng)過(guò)十幾年的不斷創(chuàng)新改進(jìn),國(guó)外新一代多線(xiàn)切割機(jī)顯示出更加優(yōu)越的特點(diǎn):1.使用的切割線(xiàn)更細(xì)，硅片更薄,大大減少硅原料消耗。硅片厚度從原來(lái)的330m減薄到180220m,設(shè)備制造精度更高。進(jìn)一步發(fā)展，將硅片厚度從原來(lái)的180m減薄到150m,制造成本降低25.2?？紤]到使用金剛石線(xiàn),將線(xiàn)速度提高到1000m/min以上;進(jìn)給速度提高到1-5mm/min；生產(chǎn)效率提高2-3倍.3。由于生產(chǎn)能力的大幅提高，則要求更為精密的數(shù)控系統(tǒng)，具備先進(jìn)合理的工藝控制和切割線(xiàn)張力控制與監(jiān)測(cè)系統(tǒng)。4.美國(guó)應(yīng)用材料(Applier Maierials）公司為在保持速度前提下提高機(jī)臺(tái)產(chǎn)量，推出一套最新的MaxEdge系統(tǒng)

10、，采用獨(dú)特的兩組獨(dú)立控制的切割組件。該系統(tǒng)結(jié)合更細(xì)的切割線(xiàn)和更薄硅片,提升了線(xiàn)鋸技術(shù),降低了太陽(yáng)能電力的每瓦成本。見(jiàn)圖5。 圖5。雙切割線(xiàn)組件三、國(guó)內(nèi)多線(xiàn)切割設(shè)備日趨成熟近年來(lái)，由于國(guó)家的重視，將極大規(guī)模集成電路制造裝備與成套工藝專(zhuān)項(xiàng)課題列入國(guó)家重大科技專(zhuān)項(xiàng)，另外，國(guó)內(nèi)有關(guān)設(shè)備制造企業(yè)也看到了這個(gè)巨大的商機(jī)，大力投入人力物力開(kāi)展艱苦的研制開(kāi)發(fā)，先以仿制為主，逐漸轉(zhuǎn)向自主創(chuàng)新，研制出有自身知識(shí)產(chǎn)權(quán)的高性能多線(xiàn)切割機(jī)。這次上海光伏展會(huì)上，有許多廠家的國(guó)產(chǎn)多線(xiàn)切割機(jī)和開(kāi)方機(jī)參展,參展樣機(jī)數(shù)量超過(guò)國(guó)外樣機(jī)。如：無(wú)錫開(kāi)源太陽(yáng)能設(shè)備科技公司、江蘇華盛天龍光電設(shè)備公司、上海日進(jìn)機(jī)床公司、大連連城數(shù)控機(jī)器公司

11、等等, 見(jiàn)表1。1、陜西漢江機(jī)床公司展出的4620型數(shù)控多線(xiàn)切割機(jī)。該機(jī)經(jīng)過(guò)多年研制，突破并掌握關(guān)鍵技術(shù)而開(kāi)發(fā)成功的大規(guī)格高效、高精多線(xiàn)切割設(shè)備，最大工件10”(250mm)，最大工件長(zhǎng)度820mm，最大存線(xiàn)量800km。該公司介紹，解決了下列技術(shù)關(guān)鍵：a) 高精度排線(xiàn)導(dǎo)輪的多輥同步驅(qū)動(dòng)技術(shù)；b) 恒張力控制技術(shù)；c) 高精度切割進(jìn)給伺服控制系統(tǒng);d) 高精度排線(xiàn)導(dǎo)輪系統(tǒng)的制造及耐用度技術(shù)；e) 自動(dòng)排線(xiàn)功能。GK4620型多線(xiàn)切割機(jī)技術(shù)參數(shù)表 序號(hào)名稱(chēng)參數(shù)1最大工件橫截面220×220mm2最大工件長(zhǎng)度820mm3最小晶片厚度0.1mm4最大工件行程300mm5工作進(jìn)給速度010m

12、m/min6快進(jìn)退速度300mm/min7切割線(xiàn)直徑0.10。16mm8鋼線(xiàn)張力1035N9主輥直徑320mm10最大切割線(xiàn)速度15m/s11磨料漿液箱容量360L12進(jìn)給軸分辨率0.00113電源總?cè)萘?50KVA14機(jī)床外形4040×2600×365015機(jī)床重量18T2、中國(guó)電子科技集團(tuán)承擔(dān)的國(guó)家重大科技項(xiàng)目300mm多線(xiàn)切割機(jī)研制成功，打破了國(guó)內(nèi)生產(chǎn)線(xiàn)上運(yùn)行的12英寸多線(xiàn)切割機(jī)全部為進(jìn)口設(shè)備的現(xiàn)狀,該機(jī)近期內(nèi)將完成商業(yè)機(jī)型的生產(chǎn)工藝驗(yàn)收。由此可見(jiàn)，國(guó)產(chǎn)切割機(jī)無(wú)論從品種規(guī)格,或性能參數(shù)指標(biāo)各方面,與國(guó)外機(jī)相比,已縮小了差距，并努力接近國(guó)外水平。 國(guó)產(chǎn)多線(xiàn)切片機(jī)、開(kāi)方機(jī)

13、一覽表 表1.序號(hào)型號(hào)性能參數(shù)生產(chǎn)廠備注1YJXQ300B多線(xiàn)切片機(jī)工件150×150×300，線(xiàn)徑0.120。14mm，線(xiàn)速度300m/min湖南宇晶機(jī)器實(shí)業(yè)有限公司2YJXQ600A多線(xiàn)切片機(jī)工件156×156×300，線(xiàn)徑0。12-0.18mm,線(xiàn)速度900m/min湖南宇晶機(jī)器實(shí)業(yè)有限公司3HQP225多線(xiàn)切片機(jī)工件156×156×300,線(xiàn)徑0。12-0.18mm，線(xiàn)速度1000m/min江蘇華盛天龍光電設(shè)備公司4WX7211多線(xiàn)切片機(jī)工件156×156×300,線(xiàn)徑0.12mm,線(xiàn)速度15m/s無(wú)錫開(kāi)源

14、太陽(yáng)能設(shè)備公司5NWS6X2多線(xiàn)切片機(jī)工件150×240, 線(xiàn)徑0。14mm，線(xiàn)速度600mm/min無(wú)錫日進(jìn)機(jī)床公司6DXQ601多線(xiàn)切片機(jī)工件156×156×300，線(xiàn)徑0。1-0.18mm，線(xiàn)速度1000m/min電子科技45所7GK4620多線(xiàn)切片機(jī)工件220×220×820,線(xiàn)徑0。10.16mm,線(xiàn)速度15m/s漢江機(jī)床公司8NWSS125D金剛石線(xiàn)切方機(jī)工件1000×1000×400，進(jìn)給速度1。52mm/min 無(wú)錫日進(jìn)機(jī)床公司金剛石線(xiàn)9QF10050多線(xiàn)切方機(jī)工件1040×1040×35

15、0， 線(xiàn)徑0。250.35mm，線(xiàn)速度15m/s進(jìn)給速度09mm/min 大連連城數(shù)控機(jī)器公司四、金剛石單線(xiàn)鋸機(jī)應(yīng)用前景廣闊國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體制造和光伏電池上游加工，包括：去頭尾、截?cái)唷㈤_(kāi)方等的加工，大部分仍然采用金剛石帶鋸設(shè)備。加工表面粗糙，浪費(fèi)材料，金剛石帶鋸價(jià)格也不菲，見(jiàn)圖6。該圖為北京某公司生產(chǎn)的大直徑單晶硅棒在國(guó)產(chǎn)帶鋸機(jī)上切割兩頭端面.實(shí)際上，應(yīng)該使用金剛石線(xiàn)鋸機(jī)切割加工，能得到更高的質(zhì)量。圖6.在帶鋸機(jī)上切割單晶硅 圖7。金剛石單線(xiàn)鋸機(jī)在切割硅棒1。 JXQ-401金剛石單線(xiàn)切割機(jī)北京電科45所研制的一款JXQ401金剛石單線(xiàn)切割機(jī),只是規(guī)格太小(110×110mm),若加以放大

16、至300×300mm，即可用于單晶硅切割。該機(jī)工件夾持裝置設(shè)計(jì)為6度的擺動(dòng)機(jī)構(gòu)，保證切割線(xiàn)與工件接觸長(zhǎng)度均勻，提高切割效率和晶片質(zhì)量. JXQ401金剛石單線(xiàn)切割機(jī)主要技術(shù)性能1. 切割晶體最大尺寸： 110×110mm2. 切割線(xiàn)最大線(xiàn)速度： 1000m/min3. 工作臺(tái)進(jìn)給速度： 0。0010.4mm/s4. 擺動(dòng)角度： 6º5. 切片厚度誤差: TTV25m6. 晶片表面粗糙度： Ra 1.6m2、瑞士威爾(Well）公司生產(chǎn)各種型號(hào)的環(huán)形線(xiàn)鋸機(jī). 瑞士威爾(Well）公司開(kāi)發(fā)生產(chǎn)從30009000系列金剛石線(xiàn)鋸機(jī)，包括往復(fù)式線(xiàn)鋸機(jī)和環(huán)形線(xiàn)鋸機(jī).威爾環(huán)形線(xiàn)

17、鋸機(jī)相對(duì)往復(fù)式線(xiàn)鋸機(jī),線(xiàn)速度有了較大的提高，但還沒(méi)有達(dá)到高速切割。此公司新開(kāi)發(fā)的號(hào)稱(chēng)高速切割機(jī),線(xiàn)速度也僅達(dá)20m/sec，且環(huán)線(xiàn)周長(zhǎng)較短，長(zhǎng)度2.2米-2.4米，影響線(xiàn)切割壽命。如威爾6234型切割機(jī)，見(jiàn)圖8. 圖8.威爾6324環(huán)形線(xiàn)鋸機(jī)2、我們于2011年研制了一臺(tái)金剛石環(huán)形線(xiàn)鋸機(jī)，見(jiàn)圖9。圖9. 金剛石環(huán)形線(xiàn)鋸機(jī)正在切割多晶硅本機(jī)性能參數(shù)如下：金剛石環(huán)形線(xiàn)鋸機(jī)技術(shù)參數(shù) 序號(hào)名稱(chēng)參數(shù)1最大工件橫截面250×250mm2最大工件長(zhǎng)度300mm3最小晶片厚度0.1mm4最大工件行程300mm5工作進(jìn)給速度0100mm/min6快進(jìn)、退速度300mm/min7切割線(xiàn)直徑0。350。7

18、5mm8線(xiàn)周長(zhǎng)44.2m9線(xiàn)張力1070N10最大切割線(xiàn)速度50m/s本機(jī)主要由:主動(dòng)輪組件、從動(dòng)輪組件、張緊輪組件、XY二維數(shù)控工作臺(tái)、機(jī)架和控制系統(tǒng)組成。具有程序自動(dòng)切割功能，線(xiàn)速度，進(jìn)給速度皆數(shù)控?zé)o級(jí)調(diào)速。工作臺(tái)上設(shè)有分度機(jī)構(gòu)能進(jìn)行角度切割，工作臺(tái)定位精度0.01mm.切割工件尺寸精度0.1mm，粗糙度Ra<0。8m，線(xiàn)速度550m/s,進(jìn)給速度可根據(jù)切割材料可達(dá)100mm/min,此機(jī)在國(guó)內(nèi)尚屬首例，且在線(xiàn)速度、環(huán)線(xiàn)的壽命、控制系統(tǒng)性能、切割效率上優(yōu)于國(guó)外線(xiàn)鋸機(jī).本機(jī)為北京某公司切割150mmX150mm硅棒時(shí)充分顯示出其性能的優(yōu)越性，該公司原用電火花線(xiàn)切割硅片，線(xiàn)速度5m/se

19、c,進(jìn)給速度<1mm/min,工件尺寸精度僅達(dá)±0。3mm，粗糙度12。5m，不但切割效率低，而且對(duì)工件還有燒損現(xiàn)象;而用帶鋸切割則切縫損耗達(dá)2mm， 進(jìn)給速度<1mm/min， 粗糙度12。5m,效率低。而用本機(jī)切割，工件尺寸精度<±0。1mm，厚度誤差(TTV）15m,粗糙度0.4-0.6m，進(jìn)給速度可達(dá)3mm/min,比電火花線(xiàn)、帶鋸切割效率提高3倍以上。以下是本機(jī)切割樣品。 圖11 漢白玉切割樣品 圖12 多晶硅切割樣品圖13 多晶硅10X10X10切割樣品 圖14 工業(yè)陶瓷切割樣品通過(guò)研制,筆者認(rèn)為，要設(shè)計(jì)好環(huán)形線(xiàn)鋸機(jī)，有幾點(diǎn)體會(huì)：1、 要根據(jù)切

20、割對(duì)象、規(guī)格大小、生產(chǎn)率、切割工藝等具體情況制訂線(xiàn)鋸機(jī)的結(jié)構(gòu)方案。不同材料的切割對(duì)象和生產(chǎn)率要求有不同的切割工藝，有的材料要求干切,有的材料可以濕切，所以要求配備相應(yīng)的除塵系統(tǒng)或冷卻系統(tǒng)；要求配備不同的轉(zhuǎn)速和進(jìn)給速度以及自動(dòng)化程度和各種工裝夾具的設(shè)計(jì)等等。2、 飛輪直徑的大小影響金剛石線(xiàn)的曲率半徑、從而影響金剛石線(xiàn)的疲勞壽命，因此飛輪的大小要與轉(zhuǎn)速高低匹配。輪徑大提高線(xiàn)曲率半徑,從而提高金剛石線(xiàn)的壽命，但同時(shí)在相同加工精度條件下增加了輪的徑向和軸向跳動(dòng),從而引起線(xiàn)的振動(dòng)，降低線(xiàn)的壽命。經(jīng)過(guò)試驗(yàn)可知，輪徑應(yīng)在200500mm之間為宜.3、 飛輪及軸系是高速旋轉(zhuǎn)的部件,其軸向、徑向精度，及各飛輪之

21、間的平行精度對(duì)線(xiàn)鋸機(jī)的加工精度，線(xiàn)的工作壽命至關(guān)重要。其中軸承是關(guān)鍵件，同時(shí)又是易損件,因此合理的軸承結(jié)構(gòu)、精度和維護(hù)性是重中之重.4、 張緊裝置是使金剛石線(xiàn)保持適宜的張力，防止張力過(guò)大而斷裂，同時(shí)避免過(guò)小而降低切割效率，甚至脫線(xiàn)。因此張緊機(jī)構(gòu)也要具備飛輪一樣的精度，同時(shí)要有足夠的穩(wěn)定性及維護(hù)性.5、 進(jìn)給工作臺(tái)的精度直接影響加工精度，因此要根據(jù)用戶(hù)的加工要求,配備相應(yīng)精度的工作臺(tái)。6、 控制系統(tǒng)要根據(jù)不同的切割材料、不同的生產(chǎn)量來(lái)制訂相應(yīng)控制系統(tǒng),達(dá)到適宜的自動(dòng)化程度;同時(shí)設(shè)備具有良好人機(jī)操作界面、操作簡(jiǎn)便、維護(hù)方便、安全性可靠。目前，大型往復(fù)式金剛石線(xiàn)鋸機(jī)占金剛石線(xiàn)鋸主導(dǎo)地位。但往復(fù)式由于受到正反轉(zhuǎn)慣性作用，線(xiàn)速比較低，僅是3-10m/S,效率很低，且因?yàn)橥鶑?fù)切割，導(dǎo)致工件表面質(zhì)量不一致，而環(huán)形線(xiàn)鋸則克服了往復(fù)線(xiàn)鋸的缺點(diǎn)，線(xiàn)速可高達(dá)50m/s，可實(shí)現(xiàn)高效生產(chǎn)，因此在硅晶體、工業(yè)陶瓷加工等工業(yè)領(lǐng)域得到推廣應(yīng)用，并顯示出其獨(dú)特的高效及優(yōu)越性。隨著半導(dǎo)體、光伏材料產(chǎn)業(yè)