pecvd班組的維護流程.doc

1、班組的維護流程1）維護準(zhǔn)備1】提前準(zhǔn)備維護工具石英管的準(zhǔn)備 8 15 根 （單晶需 15根， 2 根備用 多晶需 9 根， 1 根備用）2】石英管的挑選注意：口徑的大小兩端口徑不要有裂痕整根不能有裂痕 碰痕。無細(xì)微裂紋和氣泡3】一對軸套的卡孔注意能與扭力扳手吻合，需要時要用電鉆處理卡孔鋁杯罩外部面（綠“O”圈面）注意不能有大的劃痕項圈4】“O ”圈的選用一注意形狀不變形不扭曲；二“ O ”圈用酒精清洗，觀察“ O ”圈是否有裂痕 毛刺，尤其綠“ O”圈。5】梅花圈分薄和厚型，選用注意形狀厚度 大小 其作用是支撐銅導(dǎo)管，調(diào)節(jié)安裝石英管的長度。6】銅導(dǎo)管注意兩者的吻合，孔位的適宜7】銅制天線是和銅

2、導(dǎo)管配位使用，在維護拆除石英管時，需要拔出銅制天線。組裝的一端圖 【下】細(xì)分圖【下】帶有環(huán)形封口的鋁制罩帽1）圖：將石英管擠壓進(jìn)準(zhǔn)備好的鋁質(zhì)罩帽2）將銅質(zhì)導(dǎo)管插入并定位于聚四氟乙烯梅花圈的中心位置（梅花圈對于確保銅質(zhì)內(nèi)導(dǎo)管在石英管內(nèi)的中央位置是十分必要的）圖：完整的石英管的剖面圖3）將卡口鎖定裝置滑入石英管圖：準(zhǔn)備好的微波傳送系統(tǒng)4）將石英管的另一端推入準(zhǔn)備好的另一個鋁制的罩帽中，同時將銅質(zhì)內(nèi)導(dǎo)管插入并定位于另外一個聚四氟乙烯梅花圈的中心位置圖 2：完整的微波傳送系統(tǒng)拆卸石英管的過程：1. 先將微波連接器一端的銅質(zhì)天線向外拔出80mm后即可挪開該天線（見右圖）圖：在工作位置和維護位置配有銅質(zhì)天

3、線的小型微波發(fā)射頭2. 用大力鉗將石英管掐碎，碎斷距離大約 15CM ，一手掌的距離， （注意別傷到銅導(dǎo)管）碎斷的距離便于拆卸石英管?！咀⒁鈩e讓碎玻璃傷到手】3. 軸套的松緊，順時針是上緊，逆時針方向為松懈工藝反應(yīng)倉倉壁上的微波發(fā)射頭法蘭接口（ 1） 4. 法蘭：石英管連接處，注意觀察外部面的平整度，不得有任何劃痕。拆卸掉石英管時，需要用蘸有酒精的無塵布進(jìn)行阻擋或用墊板進(jìn)行隔離（2）使用真空吸塵器清洗一側(cè)的表面法蘭盤并用蘸有酒精的無塵布封表面（注意！ 。）如果顆粒從卡口鎖定架或橫向工藝特氣罩上脫落將會導(dǎo)致擦傷和損傷卡口鎖定裝置和法蘭盤現(xiàn)舉用下鍍膜的工藝腔室為例：沉積罩或特氣槽的認(rèn)識圖：關(guān)閉的氨氣吹淋噴頭孔（左圖）部分關(guān)閉的硅烷氣體吹淋噴頭孔（右圖）（3）使用金屬線刷或砂紙清洗嚴(yán)重污染的不能拆卸的部件，使用真空吸塵器清除過程中產(chǎn)生的灰塵。（4）檢查氣體吹淋口所有的氣孔（1mm直徑）是否通暢，如果有堵塞，使用1mm的鉆孔機或針頭刺透氣孔，從外向內(nèi)用壓縮氣體將氣體吹淋頭孔內(nèi)部的灰塵吹出。腔室上裝石英管示意圖：圖 1：完整的等離子體發(fā)射源（左圖）和沒有橫向沉積罩的等離子體發(fā)射源（右圖）圖 2：設(shè)備維護位置時的卡口鎖定機械裝置圖 3：卡口鎖定機械裝置大蓋的清潔工作： 用蘸有酒精