拉晶操作經(jīng)驗(yàn)總結(jié)

PAGEPAGE14拉晶操作實(shí)戰(zhàn)手冊此文，是由本人在幾年來的一線生產(chǎn)實(shí)踐中，對生產(chǎn)各環(huán)節(jié)的總結(jié)及一些操作上的技巧。實(shí)屬個(gè)人經(jīng)驗(yàn)，不一定正確，盡供參考。拆爐拆爐的具體操作步驟見操作規(guī)程。需要注意的是，在快到拆爐時(shí)間時(shí)，要先將準(zhǔn)備放單晶的托架、墊接晶體的木版、裝堝底料的盆及墊在盆下的物品、石棉手套、線手套、剪斷籽晶用的鉗子（擦干凈鉗口）等必須物品準(zhǔn)備好，放在車上或附近。這樣，可以節(jié)省拆爐的時(shí)間，避免在等晶體已經(jīng)下降后在手忙腳亂的去找東西。在拆爐時(shí)間前幾分鐘（例如前１０分鐘），充氬氣到爐內(nèi)一個(gè)大氣壓或微正壓，然后升晶體進(jìn)付室。晶體進(jìn)付室后，要通過觀察窗，用電筒照一下，看晶體是否真的完全進(jìn)入付室，關(guān)翻板閥能否碰到晶體。如果確認(rèn)無誤，隨手關(guān)上隔離閥。在這個(gè)過程中呢，首先說用氬氣將爐內(nèi)充滿而沒建議用空氣充。雖然用空氣充，可以節(jié)省一些氬氣，但空氣充，還有如下弊端：充空氣使用的是放氣閥，各爐型的放氣閥一般都是開在付室。當(dāng)晶體在主室內(nèi)沒有升到付室前充氣，那么進(jìn)氣口對的是鋼絲繩或重錘等，如果，進(jìn)氣量控制不好，勢必將鋼絲繩（或重錘）吹的晃動，帶動晶體一起晃動。這時(shí)，引晶的部分、籽晶的銷子處、石墨夾頭等受的力就不只是拉應(yīng)力了，還有折、剪切應(yīng)力等，很有可能在其薄弱處斷裂，造成事故；如果充氣時(shí)，晶體在付室，位置較高，比低的位置具有更大的勢能。如果也是充氣或其他什么薄弱處出現(xiàn)意外，造成晶體墜落，對石墨器件造成的損失也是更大。綜上述原因，個(gè)人認(rèn)為，充空氣所節(jié)省的費(fèi)用與其可能造成的損失相比較來看，還是應(yīng)選用氬氣充相對合適些。開爐前，一定要熱檢。這樣可以通過熱檢的情況來大體判斷出爐體的漏氣情況。如果不熱檢，那么等裝好料，抽空，檢漏時(shí)，發(fā)現(xiàn)檢漏通不過，那么，就不能判斷出是爐體漏氣還是別的什么原因造成的。搞不好，還要將料、熱場等取出，來檢查爐體的漏氣還是什么別的原因造成的檢漏不通過。這樣即浪費(fèi)時(shí)間、增大勞動量，也有可能造成硅料的再次污染。到開爐時(shí)間后，將付室升起，接單晶的托盤旋過（詳見操作規(guī)程）。點(diǎn)動晶升快降，使晶體穩(wěn)坐在托盤上，但不要降的過多。降的過多，會使晶體傾斜，倒靠在付室內(nèi)壁，引晶處有可能折斷。下降單晶時(shí)，在晶體快降到地面前，要將墊木放好位置。在晶體距離墊木１～２cm時(shí)，需另一個(gè)人帶好線手套和石棉手套，雙手扶著晶體的肩部，晶體繼續(xù)下降。扶晶體的人，一定要掌握好扶晶體的時(shí)間，過早，等晶體在墊木落穩(wěn)剪斷引晶并放好晶體后，熱量可能已經(jīng)穿透防護(hù)手套，傳到手掌，造成雙手燙傷或因過熱而不能扶晶體放手，晶體摔壞；過晚呢，晶體已經(jīng)接觸到了墊木，鋼絲繩繼續(xù)下降，晶體因失去支撐，必然要傾倒。晶體一但要傾斜，那么細(xì)的引晶不可能承受晶體的重量而要折斷，晶體必然要摔在地上而摔斷。扶好晶體，降落接觸墊木后，建議在繼續(xù)下降鋼絲繩２～３mm，這樣做的目的是使過量降的部分抵消因晶體的重量造成的鋼絲繩的彈性伸長，避免在鋼絲繩驟然失去晶體重量的下拉力后而向上方反彈。晶體降落到要求的位置后，降晶體的人也要帶線手套，一手捏在重錘稍上的鋼絲繩，并要略帶向下的力，一手用鉗子剪斷籽晶。之所以是一手捏鋼絲繩而不是重錘，這是因?yàn)?，此時(shí)的重錘還很熱，帶的線手套不足以隔斷熱量，還是燙手。另外，線手套接觸熱的重錘，會在重錘上留下類似燙化了的痕跡，還要費(fèi)力的擦，才能擦干凈。捏在鋼絲繩上，鋼絲繩很細(xì)，與手指接觸的面積有限，傳到手上的熱量也很少，不會感到燙手。爐體打開后，取石墨器件。各石墨器件的取出順序及在車上的擺放位置要固定，周全。一般要先取出導(dǎo)流罩，放在車的上層一側(cè)，然后取出大環(huán)，放在車下層。取出保溫蓋，放在車的上層另一側(cè)，將車上的導(dǎo)流罩拿過來，放進(jìn)保溫蓋的中間空的地方。將車下層的大環(huán)，拿上來，放在保溫蓋上。取出保溫筒上節(jié)，放在蓋板上。然后依次取出石英坩堝、石墨堝梆等。石墨器件在車上的固定、有規(guī)律的放置，可以節(jié)省車的空間，在同時(shí)拆幾臺爐而車不夠用時(shí)，提高車的利用率。另外，有規(guī)律的固定位置擺放，也可以避免新手在裝爐時(shí)遺忘石墨件。根據(jù)我公司擁有的爐型來看，建議大多數(shù)都要將連桿取出。這樣一是檢查連桿上有無料點(diǎn)，二是避免連桿的長時(shí)間不動，在高溫下與坩堝軸粘連在一起。石墨器件都取出后，將車子推到要求的位置停放、冷卻。將裝堝底料、石英片的鐵皮盆（桶）轉(zhuǎn)移到固定的位置。出爐的堝底料不要放在爐體前冷卻，一是使工作現(xiàn)場顯的凌亂，二是在操作者清爐時(shí)不小心有可能造成燙、刮、扎傷等。鐵皮盆（桶）等不能直接放在地板上，要用物體墊起，以免燙壞地板。清爐石墨器件充分冷卻后，要清理干凈。清理前，查看各器件的使用壽命是否到期。到期的，根據(jù)具體情況看是否需要替換還是繼續(xù)使用。石墨器件要邊清理邊查看是否有裂紋等破損。清爐的主要要求是清凈。清理爐體內(nèi)時(shí)，還要檢查爐體、鋼絲繩、籽晶、籽晶銷和石墨夾頭等部件。如果因某些需要，將重錘取下或重錘卡到某處等情況，鋼絲繩在沒有受到任何負(fù)載時(shí)仍有上升或下降動作的，建議將重錘重新掛好后，下降籽晶至少到引晶位置，然后晶升，使鋼絲繩在纏繞軸上重新盤一遍。避免鋼絲繩在無負(fù)載狀態(tài)下的升降過程中造成的脫槽、打折等現(xiàn)象。清過濾罐時(shí)，要注意密封圈及過濾蓋與密封圈接觸部位要擦凈。清完過濾罐后，檢查主泵的泵油是否夠，皮帶張緊程度及老化程度，地腳是否松動等。裝爐（料）將清理并檢查好的石墨器件裝入爐內(nèi)。這時(shí)，要檢查保溫筒與加熱器的同心情況，石墨堝梆旋轉(zhuǎn)后與加熱器的同心情況。石英堝按照“石英坩堝使用標(biāo)準(zhǔn)”檢查使用，有異議的或特殊的情況，詢問當(dāng)班班長。裝料前，一定要仔細(xì)核對原料的種類、重量、母合金的重量等是否與工藝卡標(biāo)注的一致。核對原料的環(huán)節(jié)，一定要仔細(xì)，不能憑自己的主觀臆斷，想當(dāng)然的認(rèn)為。要根據(jù)確鑿的事實(shí)，當(dāng)出現(xiàn)一點(diǎn)混淆時(shí)，再重新核對一遍，不要怕麻煩。一個(gè)微小的疏忽，完全有可能帶來數(shù)萬元的損失。裝料的次序及不同料塊擺放的位置與熱場的設(shè)計(jì)有關(guān)。裝料時(shí)，一般要求石英坩堝的底部先裝入一些小塊的料。然后裝些中等塊的料。最大塊了料，如果少，就放在中心（是石英堝體積的中心或中心偏上而不是石英堝底部的中心）。如果多，就環(huán)繞石英堝壁環(huán)狀碼放，但不要緊貼堝壁。按照石英堝的高度來說，最大塊要放在堝的中上部（根據(jù)目前的熱場情況來說的，如果，今后熱場有變動，則另當(dāng)別論）。大塊間的空隙，用小碎塊填補(bǔ)，不要用力擠壓。放在石英堝上沿的料塊，要盡最大努力使其與堝壁的接觸面積最小。裝完料，料的上表面盡量呈“Ｗ”形（主視、截面既環(huán)堝壁四周可以高些，中間可以高些，導(dǎo)流罩下沿的位置要低）。使導(dǎo)流罩的下沿在“Ｗ”的凹陷處。這樣做，可使熔料的堝位高些。熔料堝位低，也是導(dǎo)致漏料的一個(gè)原因。環(huán)堝壁的料，盡量向內(nèi)傾，而不要外仰，否則，熔化的硅液可能滴落在石英坩堝外，石墨堝上，影響石墨堝的使用壽命。Ｐ型的合金，可以放在堝底部，Ｎ型的建議放在料的上面并用料塊壓好。如果覺得料塊的搭配不是很合理，可能會裝不下時(shí)，建議合金后放。料裝好后，將堝位降到最低，給堝轉(zhuǎn)，旋轉(zhuǎn)，看有無異常。放導(dǎo)流罩。在保證料塊不接觸罩的前提下，盡量升高堝位。抽空檢漏合好爐體后，確認(rèn)設(shè)備是否處于維修中。如果設(shè)備可以正常運(yùn)轉(zhuǎn)，準(zhǔn)備啟動主泵抽空。啟動泵前，想一想，有什么遺漏，啟動泵有什么危險(xiǎn)或特殊情況。確認(rèn)可以啟動泵后，先點(diǎn)動真空泵２～３次，然后在徹底啟動真空泵。泵啟動后，到泵房，按照真空泵的使用要求，檢查泵油，放油，冷卻水等。如果泵處于正常運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)，回來，準(zhǔn)備開閥抽空。一定要養(yǎng)成緩慢開閥的習(xí)慣（這里針對的是手動的泵閥，氣動、電動閥不在此列），不論料是大塊還是硅粉。這一習(xí)慣的養(yǎng)成，也很重要。對于操作者來說，抽空開始多長時(shí)間，爐內(nèi)的真空度能達(dá)到多少，應(yīng)該有個(gè)大體的感覺。這樣，可以幫助我們盡快的判斷設(shè)備是否有問題，而不必非要等到抽不下了，才發(fā)覺出有問題，白白浪費(fèi)好多時(shí)間。如果抽了一段時(shí)間后，爐內(nèi)的真空度與平時(shí)的不符，那么就要考慮設(shè)備是否有異常了。首先，可以先檢下漏，雖說沒達(dá)到工藝要求的撿漏壓力，但正常情況下，如果設(shè)備正常時(shí)，一定壓力下的漏氣率也是有個(gè)正常范圍的。如果爐體的漏氣率超過正常范圍，那么就近似可以認(rèn)為是爐體漏氣；如果在正常范圍內(nèi)，那么出問題的就有可能是泵閥以后的部分。如果判定爐體漏氣，那么，把隔離閥關(guān)上，再檢，看關(guān)閉隔離閥后的漏氣速率與關(guān)之前是否相同。如果漏氣速率明顯變慢，則可認(rèn)為是付室漏氣；如果漏氣速率差不多，那么要考慮是主室漏氣了。不論判定是主室還是付室漏氣，而我們曾有過熱檢，所以，最大的可能就是我們曾經(jīng)打開過的爐體的某個(gè)密封面我們沒處理好。再來說下如果判定主室不漏氣的情況，爐體不漏，但真空抽不下，或下的異常慢，甚至到一定程度就在也不下了（還沒達(dá)到工藝要求的檢漏標(biāo)準(zhǔn)）。這時(shí)，要考慮的因素一般有：過濾罐是否蓋好；主泵皮帶的張緊程度是否符合要求；主泵是否缺油及泵油的油質(zhì)情況。如果這些因素都排除了，那么在考慮泵的性能和真空管道某個(gè)部分漏氣。熔料關(guān)于熔料，我們公司都規(guī)定了嚴(yán)格的熔料工藝，按照工藝規(guī)定的執(zhí)行就可以。在熔料過程中呢，我們最好要多觀察爐內(nèi)的情況。每一臺爐，從剛升溫開始，多長時(shí)間后，歐陸表的“ＳＰ”值開始有變化，多長時(shí)間“ＳＰ”值大約在多少，對于操作者來說，都應(yīng)該做到心里有個(gè)大約的概念。并且還要在熔料的過程中多觀察歐陸表的變化。這樣做，可以及時(shí)的發(fā)現(xiàn)保溫筒的取光空是否對正的問題。如果沒有這個(gè)觀念，直到料全熔了才發(fā)現(xiàn)取光孔偏了，那么也無法調(diào)整了，給后來的拉晶會帶來很大的困難。如果操作者的水平也不是很高，那就有可能一點(diǎn)晶也長不出來。如果，在熔料的初始就發(fā)現(xiàn)光信號不正常，那就可停止繼續(xù)升溫，處理一下，避免以后的麻煩。升溫熔料，大約多長時(shí)間后，堝內(nèi)的料堆會出現(xiàn)變化。多長時(shí)間后，隱約可以見到液體，多長時(shí)間后，料堆會下塌，做為操作者，都應(yīng)該在心里有個(gè)印象。料下塌后，將堝位升高１０mm左右，打開堝轉(zhuǎn)，觀察堝壁是否有粘料、析晶等情況。不建議在最低堝位旋轉(zhuǎn)坩堝。因?yàn)?，一般來說，堝位處于最低時(shí)，堝底與加熱器電極（或爐底壓片）的距離不會多于１０mm，如果石墨堝底有硅蒸汽凝結(jié)上的料點(diǎn)或因高溫起皮等情況，料點(diǎn)或起皮不在電極處時(shí)是沒問題的，而堝旋轉(zhuǎn)，這些東西就會轉(zhuǎn)到電極處而刮到電極，出現(xiàn)打火等現(xiàn)象。所以，建議將堝位升一些后在給堝轉(zhuǎn)。料下沉后，堝便有了上升的空間。這時(shí)，一定要將堝位及時(shí)的升上去。當(dāng)堝位處于較低的位置時(shí)，石英坩堝的上沿大多都處于加熱器的中部或中上部。加熱器的這個(gè)位置一般都認(rèn)為是溫度高的部分。石英坩堝的上沿長時(shí)間處于加熱器的高溫區(qū)內(nèi)，會增加堝變形的幾率。我們公司目前國產(chǎn)爐熱場的設(shè)計(jì)，熔料時(shí)，出現(xiàn)“搭橋”的現(xiàn)象非常少。有可能出現(xiàn)“粘料”，出現(xiàn)粘料后，調(diào)整堝位，使粘的料處于加熱器的高溫區(qū)和加熱器電極的方向，烤料。不建議用“硅跳”的方法沖涮料塊。因?yàn)?，我們現(xiàn)在使用的熱場都是加導(dǎo)流罩的封閉式熱場，看不到石英堝壁，只能憑借溶液中的影像來判斷堝壁的情況?！肮杼笨刂撇缓?，有可能造成硅液四濺，損傷熱場。如果認(rèn)為料中的雜質(zhì)比較多，在快全熔時(shí)應(yīng)該提出一塊。這樣，可以比等全熔后在放肩粘雜質(zhì)能粘出更多的雜質(zhì)。熔料的時(shí)間，從目前的工藝來看，６０kg料最好控制在４～４.５小時(shí)，８０kg在５小時(shí)左右為宜。熔料的時(shí)間過短，也就是說加熱的功率很高（保溫層沒變動的情況下而言）加熱的溫度也高，石英坩堝在更高的溫度下，變形的概率也會增大。如果熔料時(shí)間長，意味著加熱的功率低，溫度也低。石英坩堝在高溫下，是處于軟化狀態(tài)的。石英坩堝上沿的硅料在“低溫”下（相對來說的），呈現(xiàn)出“似熔非熔”的狀態(tài)，很容易就粘在堝壁上。處于軟化狀態(tài)的石英坩堝壁，粘著料塊，在料塊自重的作用下，易向內(nèi)凹陷，影響拉晶。引晶一個(gè)經(jīng)驗(yàn)豐富的拉晶工，可以根據(jù)液面抖動的情況和液面明亮度的情況來大體判斷出此溫度下能否引晶。首先從引晶的外形上來說，本人認(rèn)為，引晶的根部粗些，然后均勻縮細(xì)，到目標(biāo)直徑，既呈倒錐形，這樣的外形，對位錯(cuò)充分排除有一定的好處。因?yàn)?，位錯(cuò)的延伸，是與晶軸有一定的角度的。不同的晶相，位錯(cuò)線與軸的夾角不同。外觀呈倒錐形的晶體（引晶），產(chǎn)生的位錯(cuò)排到表面的距離比較短，也就是在較短的長度內(nèi)偏可把位錯(cuò)排除。如果是引晶比較均勻下來的，假設(shè)相等的直徑和擁有相同多的位錯(cuò)的時(shí)候，排除位錯(cuò)的距離相對就要長些。引晶如果呈正錐形，即上細(xì)下粗，則需要的距離會更長。另外，這種形狀的引晶其他的好處是：一、在機(jī)械強(qiáng)度上要優(yōu)于直徑均勻的引晶（放肩前部分的直徑）。所以，相對的安全性要高些；二、引晶根部較粗，下次熔接時(shí)，差不多還是這個(gè)位置，產(chǎn)生的光圈也就比較大。而根部就比較細(xì)的引晶，產(chǎn)生的光圈也小。大多數(shù)單晶爐，引晶時(shí)的液面距觀察窗較遠(yuǎn)。光圈大的，自然要比小的光圈易于觀察。（以前，就有在剛接觸８０爐、８５爐的拉晶工反映，說看不清光圈。當(dāng)然，也有個(gè)習(xí)慣問題）大的光圈，更能讓操作者判斷出是否已經(jīng)熔接妥當(dāng)。引晶的直徑（放肩前）從目前來看，最好在３～５mm間，根據(jù)要拉制的晶體的重量來掌握合理的直徑。引晶的長度上，一般可控制在１３０～１５０mm，或１５０～２００mm。雖然說，從理論上不需要這么長的長度就可將位錯(cuò)排除，但從實(shí)際經(jīng)驗(yàn)來看，這個(gè)長度相對好些。并且，引晶的過程，也是有溫度調(diào)整的。原已穩(wěn)定好的熔體，經(jīng)過引晶時(shí)溫度的調(diào)整，熔體內(nèi)部也會有些許的溫差波動。引晶的過程也是溫度穩(wěn)定的過程。引晶長些，熔體相對會更穩(wěn)定。再長的話，則會浪費(fèi)時(shí)間。熔體內(nèi)部溫差較小，對均勻的放肩是非常有好處的。引晶時(shí)拉速的控制也是非常重要的。依本人的看法，在引晶初期（一般來說前２０～３０mm），拉速波動的幅度可以大些，拉速允許高些（可達(dá)到５～７mm/min）。因?yàn)?，高的拉速，也就是說結(jié)晶的速度比較快。在這種情況下，可使晶體內(nèi)產(chǎn)生大量的、過飽和的空位。這種空位，有利于將位錯(cuò)排除到晶體的表面。（當(dāng)然，如果這種過飽和的空位過多，那么就會產(chǎn)生新的位錯(cuò)）在引晶的大部分時(shí)間里，一般都要求平均的拉速在３～４mm/min，并且拉速的波動不要過大。越平穩(wěn)越好。根據(jù)目前的實(shí)際情況來看，有很多操作者在引晶時(shí)拉速非常高，并且拉速的變化也非常的劇烈。這種引晶的手法，雖說也能成功的完成引晶，但本人認(rèn)為：一、這種手法的成功率并不高。有的操作者并沒有用過別的手法來引晶，與這種手法做出對比，得出那種成功率高的結(jié)論。二、這種手法，只是操作者用拉速的大范圍、頻繁的、劇烈的波動來控制晶體的均勻生長，不利于鍛煉自己手動控徑長晶的能力。試想，引晶時(shí)，就不注重鍛煉自己觀察光圈變化來判斷晶體直徑變化的能力，只是一味的依靠拉速的大范圍變化，那么，在手動控徑時(shí)，拉速不允許大范圍變動時(shí)怎么辦。三、拉速的劇烈、頻繁的變化，是由引晶器上的晶升電位器的快速、頻繁的旋轉(zhuǎn)，改變晶升電機(jī)的電流強(qiáng)度來實(shí)現(xiàn)的。這對晶升電位器和晶升電機(jī)的使用壽命都是不利的。會增大這些部件的損壞頻率，減小其使用壽命。操作者必須在引晶的前５０mm內(nèi)判斷出目前的熔體溫度是否適合引出在要求的拉速范圍內(nèi)的理想直徑的引晶，并做相應(yīng)的溫度調(diào)整。一個(gè)優(yōu)秀的拉晶工，應(yīng)該具有這樣一種能力：根據(jù)自己在引晶前５０mm內(nèi)拉速和引出晶體的直徑，判斷出如果拉速和引晶的直徑都達(dá)到要求，那么溫度還需要有多少個(gè)點(diǎn)的變化。也就是說，做為拉晶工，必須要非常的了解自己所使用的設(shè)備。其實(shí)引晶的手法各有千秋，只要我們本著：用最短的時(shí)間，引出成功率最高的晶，那就是最好的手法。每各人，都要在工作中不斷的總結(jié)，積累，才能不斷的提高自己的技術(shù)水平。放肩轉(zhuǎn)肩放肩過程主要就是控制放肩的速度。在此過程中，觀察放肩的速度，到多大時(shí)候開始轉(zhuǎn)肩，拉速提到多少，溫校是多少。到什么程度時(shí)，拉速、溫校等又有什么改變，轉(zhuǎn)下來后，晶體的直徑是多少。如果這些都做到了，并且根據(jù)實(shí)際情況不斷地修改，經(jīng)過一段時(shí)間的摸索、改進(jìn)，那么，控徑的問題上，將會有很大的改善。并且，也減少了對測徑儀的依賴程度。遇到多臺爐同時(shí)轉(zhuǎn)肩，測徑儀不夠用時(shí)，不會出現(xiàn)手忙腳亂的情景，也不會讓轉(zhuǎn)肩后的直徑出現(xiàn)很大的偏差。等徑生長晶體等徑過程是最主要的，也是我們最想要的過程，直接實(shí)現(xiàn)我們的目的的過程，以前的其他過程，可以說，都是輔助的過程。很多人認(rèn)為等徑過程是很輕松的，很不包含“技術(shù)”的過程，其實(shí)不然，在等徑過程中，可以發(fā)現(xiàn)很多問題，熱系統(tǒng)啊，設(shè)備啊，很多問題都可以從等徑生長時(shí)的態(tài)勢上反映出來。等徑過程，按照公司規(guī)定，需要做工藝記錄。但很多人都沒有領(lǐng)會到做記錄的內(nèi)涵，或者說目的。只是機(jī)械的，在要求的時(shí)間（長度），將控制面版上的各項(xiàng)參數(shù)抄在記錄本上，根本就不去想各參數(shù)是否是在合理的范圍內(nèi)，完全失去了做記錄的意義。做記錄，不單是把各參數(shù)寫下來，更要考慮其是否與當(dāng)前的晶體長度相符合，是否在合理的范圍內(nèi)。只有這樣，我們才能在設(shè)備出現(xiàn)故障時(shí)，第一時(shí)間內(nèi)發(fā)現(xiàn)、感覺到設(shè)備處于非正常運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)。從而及時(shí)地進(jìn)行調(diào)整，避免一些損失。在整個(gè)爐次周期中，耳朵的作用也不可小視。我們在操作臺前，不可能把設(shè)備所有的部件都看在眼底，但個(gè)部件運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)的聲音，是可以傳到耳朵里的。設(shè)備正常和非正常運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)候的聲音是有差異的，只要平時(shí)刻意的注意感覺正常時(shí)的聲音，在頭腦中留下烙印，一旦設(shè)備出現(xiàn)問題，我們就可以感覺到異常，不要放過在腦海中的這一閃念，自己檢查設(shè)備，就能夠找出故障所在。在工作中，不論是聽到的還是觀察到的異常情況，一定不要放過，多想一想，多檢查下設(shè)備，即使是沒問題，我們也沒浪費(fèi)什么東西。輕易就放過異常的情況，很有可能就鑄成大錯(cuò)。晶體在等徑生長時(shí)，我們看不到石英坩堝，但我們可以從光圈的影像中，能夠感覺到石英堝壁是否有沾料、析晶等情況。如果原本微抖的液面忽然鏡子一樣平靜，晶體直徑迅速收細(xì)，加熱功率并沒有大的突然升高，那么，我們就要查看堝轉(zhuǎn)是否還正常。在等徑中，晶體生長的趨勢，是在晶體的棱線上能夠表現(xiàn)出來。操作者應(yīng)該仔細(xì)觀察，練就本領(lǐng)，洞悉晶體的變化趨勢，在生長趨勢不良時(shí)，及時(shí)加于人工干預(yù)，避免斷苞。晶體在正常等徑中，是需要操作者動手最少的過程。但如果拉速、溫度等偏離當(dāng)時(shí)的設(shè)定，并且超過允許的范圍時(shí)，就需要操作者退出自動狀態(tài)，人為來干預(yù)、控制晶體的生長。操作者也必須具備使其回復(fù)到設(shè)定的能力。討論設(shè)備在運(yùn)轉(zhuǎn)過程中，出現(xiàn)一些故障是避免不了的，我們能做的，就是怎樣減小意外事件的發(fā)生頻率，和降低出現(xiàn)意外事的損失。下面來討論一下意外事件的情況。爐壓異常上漲如果在有加熱情況下，出現(xiàn)爐內(nèi)壓力的異常上漲，那么我們要先考慮主泵是否處于正常工作狀態(tài)，主泵的皮帶有無損壞等。如果主泵工作正常，那就可能是爐體的問題了（主泵閥是電動、氣動的還要考慮泵閥的故障，如壓縮空氣等，而手動的泵閥一般在無動作時(shí)出現(xiàn)故障的可能性不大）。如果是主泵故障，則可先用付泵維持，抓緊維修主泵。如果是爐體漏氣或爐內(nèi)漏水，在帶加熱的情況下，維修幾乎是不可能的，那就看當(dāng)時(shí)的情況能否維持將料吊出。異常停電異常的停電，時(shí)有發(fā)生，尤其是在雷雨季節(jié)，出現(xiàn)的頻率更高。一般來說，當(dāng)動力電突然消失時(shí)，先等２～３秒鐘，看電源能否自動恢復(fù)。如果瞬間供電恢復(fù)，那么要查看各參數(shù)有無異常，在等徑時(shí)，大多需要退出自動狀態(tài)，需手動控制恢復(fù)。如果供電沒有恢復(fù)，則建議先關(guān)閉氬氣閥后關(guān)閉主泵閥（這里指的是手動的氬氣閥和泵閥）。只所以這樣，各人認(rèn)為，從理論上講，在斷電瞬間，泵頭的電磁閥在彈簧力的作用下是會自動關(guān)閉的，從而隔斷爐內(nèi)、管道與外界的連通，是不會造成倒吸的。退一步來講，即使因?yàn)榉N種原因，電磁閥的關(guān)閉滯后，突然停電，等操作者反應(yīng)過來，在去關(guān)好主泵閥時(shí)，倒吸的這個(gè)動作已經(jīng)完成了。完成這些動作之后，查看爐內(nèi)，看都處于什么狀態(tài)下。建議不帶加熱的，不用考慮，處于熔料狀態(tài)的，可以稍后在考慮。處于引晶和放肩狀態(tài)的，可立即手動降堝升，使晶體和熔體脫離。處于等徑狀態(tài)的，最后來操作。因?yàn)槿绻虝r(shí)間供電恢復(fù)，或許還能夠挽救回來。過一段時(shí)間，供電還未恢復(fù)，那么也要手動將晶體脫離液面。手動降堝時(shí)要注意，一是方向不要弄反，二是脫開的距離要大些。如果脫離的距離小，那么硅液冷凝后膨脹，還會將脫開的晶