《半導(dǎo)體行業(yè)超純水工藝拋光混床用離子交換樹脂產(chǎn)品認(rèn)證技術(shù)要求》

4半導(dǎo)體行業(yè)超純水工藝拋光混床用離子交換樹脂產(chǎn)品認(rèn)證技術(shù)要求本文件適用于半導(dǎo)體行業(yè)超純水制備用的拋光混床用離子交離子交換樹脂粒度分布測定方法離子交換樹脂粒度、有效粒徑和GB/T12598離子交換樹脂強度半導(dǎo)體行業(yè)超純水ultrapurewaterforsemiconductorin歐姆厘米(Ω·cm純水的理論電阻率為18.3MΩ·cm（25℃)?？傆袡C碳totalorganic54.1強酸性陽離子交換樹脂4.1.1外觀4.1.3理化性能%%%%%4.2強堿性陰離子交換樹脂4.2.1外觀4.2.3理化性能%%%%%4.3運行參數(shù)4.3.1溶出量拋光樹脂的溶出量要求應(yīng)符合表3中的參數(shù)指6總有機碳/(μg/L）痕量金屬/(μg/L）鋁鈣銅鈷鉻鐵鉀鈦鋰鎂錳鈉鎳鉛錫鋅砷痕量陰離子/(μg/L）氟氯溴4.3.2產(chǎn)水水質(zhì)5.2游離水分測定測試除去外層包裝(編織袋或桶)后，將用透明塑料袋包裝的樹脂豎起直立，約10mi7于容器中計量。應(yīng)從到貨樹脂中至少測定3件(袋或桶)，以所收集量的平均值計算整批到貨樹脂游離水5.3試樣預(yù)處理5.4含水量的測定5.5體積交換容量的測定5.5.1體積全交換容量按下式進(jìn)行計算氫型樹脂交換容量用經(jīng)過預(yù)處理的試樣25mL，按GB/T8144-2008標(biāo)鈉型樹脂交換容量按照GB/T8144氫氧型陰樹脂采用GB/T5760-2000氫氧型陰離子交換樹脂交換容量測定方法中規(guī)定的方法進(jìn)行測氯型陰樹脂采用GB/T11992-2008氯型強堿性陰離子交換樹脂交換容量測定方法中規(guī)定的方法進(jìn)Qv=Qwp(1?X)#(1)X——含水量，%。5.6濕視密度的測定濕視密度按GB/T8331-2008中規(guī)5.7濕真密度的測定濕真密度測定按GB/T8330-2008中規(guī)5.8粒度、有效粒徑和均一系數(shù)的測定粒度、有效粒徑和均一系數(shù)按GB/T5758-2001中規(guī)定5.9運行參數(shù)的測定85.9.2.1試驗試劑總有機碳測試儀：量程0.03μg/L-50a)將陰陽樹脂按照1:1的比例裝填進(jìn)圖15.9.6計算T——總有機碳溶出量，單位為微克每升(μg/LT1——進(jìn)水總有機碳的濃度，單位為微克每升(μg/LT2——產(chǎn)水總有機碳的濃度，單位為微克每升(μg/L）。5.10痕量金屬溶出量5.10.1試驗試劑5.10.2試驗儀器95.10.3試驗裝置5.10.4試驗步驟5.10.5計算M——痕量金屬溶出量，單位為微克每升(μg/LM1——進(jìn)水痕量金屬濃度，單位為微克每升(μg/LM2——產(chǎn)水痕量金屬濃度，單位為微克每升(μg/L）。5.11痕量陰離子溶出量5.11.1試驗試劑5.11.2試驗儀器離子色譜儀：最小檢測濃度≤0.02μg/L，線性度≥5.11.3試驗裝置5.11.4試驗步驟d)當(dāng)混床以恒定運行流量沖洗5天后，以PP瓶進(jìn)行取樣，收集進(jìn)水和產(chǎn)水5.11.5計算Y——痕量陰離子溶出量，單位為微克每升(μg/L）；Y1——進(jìn)水痕量陰離子濃度，單位為微克每升(μg/L）；Y2——產(chǎn)水痕量陰離子濃度，單位為微克每升(μg/L）。5.11.6產(chǎn)水測試5.11.7試驗步驟d)當(dāng)混床以恒定運行流量沖洗72h后，按照