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3內(nèi)燃機(jī)搖臂滾輪銷、活塞銷類金剛石涂層（DLC）工藝規(guī)范本文件規(guī)定了內(nèi)燃機(jī)搖臂滾輪銷、活塞銷類金剛石涂層（DLC）的術(shù)語(yǔ)和定義、涂GB/T3163-2007真空技術(shù)GB/T25898-2010儀器化納米壓入試驗(yàn)方法薄膜的壓入硬度和彈性GB/T31563-2015金屬覆蓋JB/T7707-1995離子鍍硬膜厚度試驗(yàn)方JB/T8945-2010真空濺射ISO22462:2020金屬和其他無(wú)機(jī)涂層類金剛石涂層diamond-like類金剛石涂層是含有大量sp3鍵亞穩(wěn)態(tài)的含氫非晶碳hydrogenatedamorphou離子清洗是利用等離子體對(duì)基片表面進(jìn)行轟擊44真空鍍膜設(shè)備4.2真空鍍膜機(jī)4.3爐架4.4水冷設(shè)備4.5供氣系統(tǒng)5.1涂層結(jié)構(gòu)為打底層金屬和MeC或者打底層金屬與a-C:H:Me的復(fù)合過(guò)渡層；過(guò)渡層2為a-C:H:Me，其中C含量由內(nèi)向5.2涂層厚度55.3結(jié)合強(qiáng)度5.4涂層硬度5.5基片硬度變化5.6殘余磁性5.7粗糙度5.8摩擦系數(shù)5.9外觀產(chǎn)品工作面應(yīng)無(wú)色差、脫膜、凹陷、銹蝕、水印、臟污、燒傷、凸起、缺口、毛刺、涂層過(guò)程中放電異常產(chǎn)生的燒蝕痕跡，或磕碰、銹蝕等其他原因?qū)е碌膿p傷應(yīng)符66.1.2檢查來(lái)料數(shù)量、外觀是否存噴淋沖洗→超聲浸泡清洗→漂洗→超聲精細(xì)清洗→漂洗→漂洗涂層前爐內(nèi)真空度低于5mPa，DLC涂層過(guò)程中反應(yīng)壓為0.37涂層過(guò)程分為金屬打底層沉積、過(guò)渡層1沉積、過(guò)渡層2沉積和a-C:H層沉積，其中打底層和過(guò)渡層128345），硬度按照GB/T25898-2010規(guī)定測(cè)量97.9.4

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