D工藝設(shè)備介紹

第四編等離子電視制造設(shè)備第一章第一節(jié)濕洗裝置1.前言最近等離子電視在各地常能看到，機(jī)場(chǎng)、展示會(huì)等大型顯示器都用等離子電視。其屏幕大視角廣、精度高的特點(diǎn)很顯著，并且逐步解決了質(zhì)量輕、耗電量低、價(jià)格低的課題。清洗裝置也被要求具有高處理能力、高能清洗時(shí)要求節(jié)省空間、等離子電視向生產(chǎn)的低成本化發(fā)展也在不斷研究。2.關(guān)于清洗裝置的想法2.1高吞吐率伴隨基板向大型化發(fā)展，高吞吐率是降低運(yùn)行成本的最重要的項(xiàng)目。為實(shí)現(xiàn)高吞吐能力就以下項(xiàng)目講述。①去除粒徑大的微粒（10um以上）使用刷子及洗滌劑，如何提高效率是重要的。關(guān)于洗滌劑的選擇，要看微粒的性質(zhì)是有機(jī)質(zhì)還是無(wú)機(jī)質(zhì)、附著物是化學(xué)的還是物理的、是否與電氣相結(jié)合，這些方面也要鑒別選擇。例如使用由無(wú)機(jī)堿系的界面活性劑與溶劑構(gòu)成的洗滌劑時(shí),如果是清洗只是由有機(jī)質(zhì)和無(wú)機(jī)質(zhì)構(gòu)成的微粒,其洗滌劑可以以前者為主體。即使是有機(jī)質(zhì)微粒,如果是樹(shù)脂系（含粘接劑）的微粒,也要選擇溶劑含有量多的。并且需要設(shè)定適當(dāng)?shù)臐舛葴囟葪l件。去除物理的附著微粒時(shí)刷子最適合，特別是線(xiàn)徑為0.15~0.2mm的尼龍刷子較好。②快速排掉大型基板上的清洗水，實(shí)現(xiàn)高處理率。各槽使用過(guò)的清洗水/洗滌水怎樣不會(huì)被帶入下一工序，如何保持含微粒的洗滌水的清潔性是很重要的。為此采用使用高壓縮空氣的液體切割（liquidcutter）。我公司作為別的解決方案，采用新開(kāi)發(fā)出Airjetshower(A/J)。如圖1所示。此方法即純凈水→純凈水+空氣（2個(gè)水流）→間歇高壓縮空氣的工序在數(shù)秒內(nèi)重復(fù)、純凈水挨著基板的部分不會(huì)形成多余的水膜，并且有防止帶入下一工序的作用。2個(gè)水流的噴頭還具有氣穴現(xiàn)象。該法有助于提高清洗度、增加排水效果、縮短清洗裝置的長(zhǎng)度,從而實(shí)現(xiàn)高處理效率。2．2取代UV改質(zhì)的等離子改質(zhì)（常壓）清洗裝置表面改質(zhì)是重要項(xiàng)目、是在層壓或者電阻涂敷中必須進(jìn)行的。以往的依賴(lài)UV照射進(jìn)行改質(zhì),今后以等離子照射(常壓)主流。本公司從2001年開(kāi)始開(kāi)發(fā)銷(xiāo)售常壓等離子裝置。其理由是運(yùn)行成本低。為進(jìn)行表面改質(zhì),用空氣引起等離子也可以,一般需要N2、Ar、O2等氣體。犬即使輪使用效價(jià)格超高的抓氣體趴，預(yù)逼計(jì)運(yùn)若行成魄本能簽夠削疾減5童0%搞~筋70貫%。傾現(xiàn)在結(jié)已經(jīng)夫在L培CD項(xiàng)的前壩工序徒、后練工序扁、模挪塊工殲序、陵彩色誦過(guò)濾喊及O蹤LE狹D的悶制造箭工序芝或者箭IT睛O、期Cr昏噴鍍笨前工東序開(kāi)攻始研握究采覽用，宏我認(rèn)皆為接礎(chǔ)著將距用于飽等離鬧子電雙視工憤序中釀。您攝佛2．罪3沿空氣遷切割感刀干糕燥獅干燥餡以氣唱割刀錫為主截體，哈氣割漂基板養(yǎng)60嘆英寸勺以上煮時(shí)的號(hào)空氣木消耗籠量也教大。朋工廠甩需要框配備尚大容捧量的秩壓縮潔機(jī)損，增求加運(yùn)斃行成號(hào)本。福因此捧氣割井刀設(shè)孫置上續(xù)下一輕對(duì)，尤空氣艦消耗羞量為而30龜00同Nl珍/m乒in糞。但萍是也周有用惹高壓壘環(huán)狀強(qiáng)鼓風(fēng)蓄機(jī)進(jìn)蜻行氣劣割的戰(zhàn)。藍(lán)需要買(mǎi)更干勢(shì)燥的吩狀態(tài)葛的工也序中厘，也挖有在閣裝置儀中加景入熱緣空氣棵的。矮圖3烏是清鼓洗裝賭置的歲外觀旦圖。撐清洗眠裝置膜的分甚類(lèi)虎等離蘇子電花視制熊造工螞序中帖的清困洗裝拖置分聽(tīng)前、愧后基詠板的跑裝置洽，前鉆基板轎的裝售置種蔬類(lèi)有憐①喪接納蘭、譽(yù)②米厚膜晉印刷冶前、然③羨噴鍍引前、球④廈漏網(wǎng)指印刷蒼前鎖；揮后基港板有郵①戚接納抖、寨②捎漏網(wǎng)牲印刷怒前、羨③羨層壓豐前、裕④美噴砂移、傘⑤隸感光獸漿料貸涂敷記前的慘裝置梢。艦按照隨工序慮不同灰選擇等清洗禾裝置很以及傲使用濟(jì)的洗誠(chéng)滌劑紡，增鐘加與搞含改選質(zhì)玻俗璃的緊粘結(jié)牌力，銅同時(shí)芒提高欲清洗醉能力拆，并撫且在最層壓店時(shí)能唉夠去放掉異蜓物突包起。燭清洗復(fù)機(jī)規(guī)魂格大搭致分煌為使洞用洗京滌劑搬時(shí)、殖只港用肯純凈訂水、鍵或者到干燥梢工序練（干輕燥、導(dǎo)表面周改質(zhì)墊）所煩需的診規(guī)格效。任匯何情泉況都燥可以乓將則滾刷茫、氣穩(wěn)噴、羞高壓持水槍繞、等戚離子簽改質(zhì)奶、等淋離子瞞清洗鳳、I鑼R、撕CP郵等組邊合。恰關(guān)于庫(kù)清洗化漏網(wǎng)片罩用新的裝私置另顛外說(shuō)扛明，塊有除苦去網(wǎng)膊眼堵不塞物炭的甘席油清左洗劑夏、進(jìn)燥行浸閱漬、誦US烤、涮早洗、別干燥庸的裝仔置。筑4．遺結(jié)束球語(yǔ)輪皂本章活對(duì)等撲離子鏟電視枯清洗風(fēng)裝置桐的高槐吞吐畫(huà)率、偽裝置菊的省概空間多化、毀新的胞等離遮子改能質(zhì)、學(xué)等離徹子清泉洗器攜進(jìn)行欠了介兆紹。匪這些歇都是糠今后蒙有助救于環(huán)蕩保、陽(yáng)安全體的、悲能夠紛降低社運(yùn)行判成本召的提舊案。牙第二封章軟第一或節(jié)甘噴鍍?nèi)⊙b置弄1賭．前孩言爐FP婦D屢2挎8睡英寸梯左右授的電余視稱(chēng)仆a-塑si告TF橫T(話(huà)LC如D)午,3戒6英脫寸以借上的巷大型向FP惰D稱(chēng)牌為等棕離子景面板源（等云離子沈電視松），貍作為戲民用源的量嘆產(chǎn)體秤制現(xiàn)捆在已獸就緒映，現(xiàn)么在各竊生產(chǎn)霧廠家唉都在私積極鄉(xiāng)地增研加對(duì)植大型慰高清爬晰度冠壁掛亞電視釘?shù)脑O(shè)追計(jì)。厚有關(guān)盼面板跪尺寸樓，不偏斷有團(tuán)50娘~勤60繳英寸剪的大遲型面蜜板達(dá)沃到實(shí)盾用化球階段聲的公取布發(fā)躺表，坡如何宋提高嶄發(fā)光軍效率付、達(dá)坡到高尤清晰結(jié)度、僵低成要本，潤(rùn)成為鋸制造堪大型配面板床技術(shù)酷的重眼要開(kāi)耽發(fā)課紙題。譜等離洲子電世視制搭造工斜序中康，在囑設(shè)備裹及其沙成膜蓮成本孤中，吳薄膜般成膜你裝置駁占有第非常洞的地肅位。兆大型烏化基忙板對(duì)銷(xiāo)于噴估鍍裝壩置的撓要求惡越來(lái)悠越高盛，下村面對(duì)芬噴鍍碎裝置膊有代嗽表性騙的要原求列條舉如反下：脾能夠有高速呼形成畢均勻餅?zāi)べ|(zhì)滑、能集夠安齊穩(wěn)搬滾運(yùn)辰60暈英寸殘以上番的大逃型基棕板、槳裝置信的占價(jià)有面活積小剩。本皮節(jié)針辱對(duì)大攤型面用板制冬造技拼術(shù)的吉薄膜郊成型罷工序吐中的想噴鍍樓裝置聯(lián)進(jìn)行惱介紹升。榜等離鑒子電低視用捆的并裂列式吼噴鍍因裝置型這里賠講述筋本公崗司的先并列仔噴鍍妄裝置瓶是如耀何適雜應(yīng)上螞述要疤求的愉。破2．涉1販大型件基板土的均港一高賓速鍍丟膜技憲術(shù)灑在以勿往的辦并列冷噴鍍斑裝置閃中，懼采用講基板亂裝在充稱(chēng)作拔托架殃的臺(tái)到車(chē)上戒，在香噴鍍劉陰極選前面村以一沸定的拋速度豐使其物通過(guò)足，形皂成光劍膜的市動(dòng)態(tài)趕成膜踩法（辱旁路攀成膜禁法）繩。在化基板艦通過(guò)倡的高突度方套向?qū)π帜べ|(zhì)廟進(jìn)行濫調(diào)整號(hào)的話(huà)削、基漠板的鳴長(zhǎng)度扛方面槍能夠牽鍍膜爪均勻宵，這摘種方黃法最治適合格大型飄基板柱的鍍則膜。恰與本盜公司攜的并押列式悅噴鍍義搭載積的陰燃極（演ca快th難od作e）壘，喊靶使罵用效溜率達(dá)娃到身百分營(yíng)之模40濤以上罷。本不公司與準(zhǔn)備倆了能蠅夠使踩用雹IT爬O低柜電壓綁噴鍍寺法露（本拳公司控已取晌得專(zhuān)積利）催的和粘Cu鴿靶板功厚3磚0m高m的鞠長(zhǎng)期庸型兩殖種，搬能夠噴配合捷等離哥子電紗視用江的大滋型基收板。級(jí)這一劫次裝松載了背新開(kāi)弄發(fā)的刻IT率O用描陰極拴，提哲高了飯以往波的靶欠使用怕效率逐、鍍仿膜速卸度也楚提高巷了剃2召倍。搬這樣道可以凱減少顯了裝匙載陰抵極臺(tái)檢數(shù)、晝降低臘了運(yùn)撇行成溫本。鋼本公歉司裝順置中搜裝載咸的新饅開(kāi)發(fā)帶的陰刃極的宿特征富如下方：駝①偶鍍膜艘速度被是本莫公司圣原來(lái)課的陰韻極的怒2倍鵝、由挽于裝忠載陰猶極臺(tái)柱數(shù)減削少，燒裝置筍的長(zhǎng)光度也藏縮短問(wèn)、使懶托架威臺(tái)眾.纏數(shù)減英少成趟為可糊能。途②囑提高冤了靶萍的使獲用效席率、邀靶的做壽命他延長(zhǎng)巧1.宋8帆倍、冰鍍膜皂速度熊是原秀來(lái)的廢2底倍、含靶的拴交換著周期生與現(xiàn)愈在使動(dòng)用的崇陰極莖同等趴。牙③則與以稀往的巨低電蝶壓型獵陰極窮一樣敲，能愧夠得筐到同進(jìn)等程融度的頌低電笛阻I階TO壘膜。宜2．娛2小大型軍基板叮的均稻勻加量熱技芳術(shù)超并列董式噴客鍍裝免置中協(xié)一般酸采用侵成膜碰前基構(gòu)板預(yù)夸先加情熱、耕降低斬排出多氣體外的操說(shuō)作蹦。以捐往的賺并列核噴鍍竭裝置頸中，惡在噴禾鍍室居前的斯加熱探室中勺進(jìn)行袋預(yù)先向加熱地，插村入噴雨鍍室膊后由太托架薦一邊凳進(jìn)行讀搬運(yùn)制，最攝終進(jìn)囑行再刊次加加熱，鋸來(lái)調(diào)丈整基凍板內(nèi)眼的溫何度分倍布。鈔新型緩并列哈式噴萄鍍裝膛置中隔，以慎更均覆勻的賭基板冠溫度剛分布畜和降超低排膽放氣緣體為就目標(biāo)贏，裝哪載了董能夠獲在加摸熱室虎內(nèi)保廟持均弱勻的敞溫度鼻、并使且能機(jī)夠快賢速升局溫的模新型塌加熱膀器，捎在噴乘鍍室戚以保脈溫為鑼主的囑加熱著方式牙。過(guò)2．望3大戴型基溫板的港的安唱穩(wěn)搬衫運(yùn)技喚術(shù)尖在以世往的深并列攪噴鍍曉裝置拋中，儲(chǔ)在臺(tái)許車(chē)兩勸邊的車(chē)基板某托架罵上，冠基板肥被垂尾直裝省載。效因此裁基板灶卸取吉時(shí)基默板托回架必凝須水廳平展欲開(kāi)，庸使基愧板的竟光膜釋面朝觸下進(jìn)泛行卸袍貨。給但是蚊這種注方式醫(yī)對(duì)超友過(guò)啊60貿(mào)英寸躬的大析型基樹(shù)板存巾在下厭列問(wèn)蛛題。受①士對(duì)于喝超過(guò)蛛60牲英寸簡(jiǎn)的大蕩型基北板，的在卸廟貨時(shí)孩水平妨支持散基板欣會(huì)損奶傷基褲板。遷②酒基板去在設(shè)仰備上串保持賴(lài)垂直神，基宅板加主熱或箱者成叛膜時(shí)卻基板詠會(huì)引修起變供形或堂翹起汪，相帽對(duì)于汁基板絮托架掩的變腿形，冒基板黎失去巷自由暮度，降有損因傷基曬板的構(gòu)危險(xiǎn)鞭。飲本公族司的奉新型蜘并列般噴鍍徑裝置穿是使秀基板落的托頓架整爽體傾彈斜、揀基板有預(yù)先砍傾斜璃的方忌式，嫂具有時(shí)如下科特征晚。協(xié)①碼基板蟲(chóng)卸下手時(shí)，仰基板疊的托論架不鹿需要盜水平扣展開(kāi)在、基興板就毯能卸幕貨。錫同時(shí)啊、基啄板托紀(jì)架展跟開(kāi)所娛需要臘的設(shè)畝備及孤時(shí)間辰可以喂免去拳，加鉗快生歇產(chǎn)節(jié)妙奏。閉②千對(duì)于墻基板療托架櫻上的夸基板倘不需歌要積膠極的尊保護(hù)每，對(duì)扮于加目熱中尺/井成膜歉中、綁或者德基板粘托架述的變抄形都炭能適搞應(yīng)。網(wǎng)另外攪不需悟要基返板的箭垂直玉設(shè)備冤、也警省去似了零泳件的箏清洗掌。振2．掙4毀占有葬面積儀小的師裝置煙撒肌以往瓦的并仙列噴缸鍍裝詠置的廁構(gòu)成寬：真濤空槽退（裝拖入室俱、加瘡熱室妥、噴混鍍室帖、取邁出室留）縱饒向排鉆列，翻托架灣在前駝后巡棋回、畫(huà)升降搞機(jī)（稼轉(zhuǎn)盤(pán)面）與炊這些艷相連攜構(gòu)成賊空氣焰搬運(yùn)皮系統(tǒng)濃、并逆設(shè)有燒卸去思基板踢的位叛置。駝因此練設(shè)備怎較長(zhǎng)腳，6宜0英械寸級(jí)爐別的暢等離衰子電衣視的矛電極同鍍膜電裝置白全長(zhǎng)綠約達(dá)咬到3爽5米排。講本公分司發(fā)憶揮前預(yù)述托肥架整深體傾惕斜方似式的輪特征度基板殼卸下顫時(shí)的利位置培優(yōu)勢(shì)徹（可燕以縮鄙短卸都下時(shí)校間）哥，縮臥短了牛設(shè)備轉(zhuǎn)的間碼歇時(shí)愈間。你而且情，與吩以往知的兩晃面同寺時(shí)鍍添膜不聚同，妨采用燦單面拒鍍膜轎，即鄰在鍍椅膜室沙的中喪途折拘回往丸返的饞鍍膜毒構(gòu)造浪，這災(zāi)樣雖漿然是旺大型說(shuō)基板夜的鍍傘膜設(shè)惹備但孩是占牢用面畏積小但。巨等離毀子電匯視用決并列暑式噴風(fēng)鍍裝少置的病未來(lái)霜展望睬現(xiàn)在贈(zèng)作為撞等離倍子電威視貌用并寧列鍍黎膜裝扇置，稠幾乎托都需歷要透民明電輝極膜環(huán)IT監(jiān)O和篇Si重O2慈+I陽(yáng)TO姨成膜郵裝置想，以拘及C娘r/甘Cu暮/C賀r電剩極膜濟(jì)和C北r/毛A蘇l/視Cr我成膜媽裝置攤。但豪是，梢考慮瞎到噴俗鍍方刃法的跟優(yōu)點(diǎn)絞即鍍忽膜均萌勻性猾（易遺控制棕型）濕以及拔修理教維護(hù)嗎方面喘，現(xiàn)翁在用亞熱蒸冰法鍍鋪的氧娃化鎂傳將來(lái)稠有可罷能用凝噴鍍突法鍍按膜。急本公償司正精在積破極開(kāi)務(wù)發(fā)用組噴鍍這法來(lái)交鍍氧今化鎂霸的技問(wèn)術(shù)。側(cè)關(guān)于長(zhǎng)Cr機(jī)/C芳u/報(bào)Cr蛙代表價(jià)的電雄極膜帥、今差后要眉使用蕉高使具用效疏率的局陰極沈。為拒了實(shí)盟現(xiàn)等士離子侮電視媽的別1哭英寸疤=釀1萬(wàn)風(fēng)日元曬的目撐標(biāo)，息需要廟進(jìn)一遠(yuǎn)步降雪低電慘力消壁耗、嘴節(jié)省虹設(shè)備乎空間塔。鹽第二違章襲第一功（二己）敢節(jié)辭噴鍍嚴(yán)裝置無(wú)AT植X-鐵70尼0砍1.胳前言范在衣99增年時(shí)塘等離沙子電下視的楚生產(chǎn)撐數(shù)量緊達(dá)到場(chǎng)10質(zhì)萬(wàn)臺(tái)落，當(dāng)供時(shí)預(yù)帖測(cè)，烏按這馳樣的夕增長(zhǎng)雞速度卷，到妥20省03破年年私產(chǎn)量括會(huì)達(dá)德到跑10據(jù)0卷萬(wàn)臺(tái)壟。市臺(tái)場(chǎng)情燒況盡腎管沒(méi)滑有預(yù)山期的禁那么守好，醉但是院對(duì)等喘離子授電視殖的潛玩在需狂求應(yīng)預(yù)當(dāng)是式十分亂旺盛等的。菜在降稼低銷(xiāo)嗎售價(jià)慈格和葬具有旨魅力截的節(jié)宗目?jī)?nèi)那容出刮現(xiàn)后溜，市泳場(chǎng)的禾急速職增長(zhǎng)澇是確伶定無(wú)輸疑的喉?，F(xiàn)倆在許岡多等米離子為電視亡廠家具都瞄纏準(zhǔn)未叼來(lái)的逝市場(chǎng)衣，開(kāi)毀始建惑造新航一代奮產(chǎn)品憑的生鼠產(chǎn)工貨廠?；鹪谔徙Q高生瞧產(chǎn)設(shè)繭備規(guī)編模時(shí)輸，怎論樣降模低成羽本來(lái)雞生產(chǎn)研高性鼠能的但面板額，將好成為丑要點(diǎn)忌。親本節(jié)裙我們捧對(duì)用誕于通PD宋P門(mén)的薄大膜材結(jié)料與幅其成辜膜裝朽置進(jìn)懲行介業(yè)紹沿。成2.婆IT宮O科透明忘電極中作為證顯示紫器前停面板箱的第防一層初透明鴨導(dǎo)電堡膜,刪許多素等離畝子電至視廠粉家都奔使用紙IT武O。雪而且苦作為葵追加詳?shù)膲A賣(mài)性勢(shì)產(chǎn)壘層并是否信有必拐要使馬用S炊iO住2罷等，謙根據(jù)夫使用裁的玻渣璃基仇板的她種類(lèi)青而變悲化。偏一般事用于汁LC遭D的野堿石虛灰玻鉤璃基昂板，典使需牲要S炒iO蘇2次層的惡。通講常，書(shū)膜的但厚度占是1復(fù)00禮~怨30推0恨?放,此跡層使閥用R贈(zèng)F噴憶鍍方高法制儉成。慣IT伶O膜該一般半使用名DC奇噴鍍礦。膜蓋的電僵阻值價(jià)和透選光率蹲的物驅(qū)理特舅性是忽最重落要的典特性循。1禮.1容mm廈厚的捎基板枯上鍍復(fù)成電萄阻值廟10塘?下/s貴q王的膜凡時(shí),拆透光貸率為幟89音%。附圖1攤顯示手一般是IT霸O(shè)膜遵的透哲光率商和膜兆厚度懷的關(guān)陜系。偶IT早O膜誠(chéng)厚約舞為1芝50劍0鋸?杰時(shí)，尖體(鴨bu盲lk糾)電頃阻平賣(mài)均為刷15閣0茫μΩ牛cm醋。喊決定某體電救阻的伯主要諒要素甚是I哭TO洋膜的誠(chéng)結(jié)晶皺性和而化學(xué)絨計(jì)量莖。而奧且這迅些特滅性越配是均坑勻，獄膜的家老化族性也尺越均緩勻，尊現(xiàn)在侵各種憶溶液漿中，摔花費(fèi)業(yè)多少球時(shí)間濤以及騰每秒妖多少?gòu)N的老后化率銅，從暑數(shù)痕?疼到數(shù)毒百確?縣單位賽能夠忙正確醒地進(jìn)半行預(yù)榮測(cè)。銜IT搭O成廚膜工跡藝中畜，剝靶的蹈使用磨效率偶是非碎常重很要的停因素躬，現(xiàn)漆在多個(gè)數(shù)鍍典膜設(shè)亡備達(dá)敲到4午0%喂以上份的效劍率。梅并且宋通過(guò)侮提高草靶的疑壽命衡，除對(duì)去球別粒的差附著映也很車(chē)重要派。不評(píng)使球翼粒產(chǎn)墨生，端能夠雀發(fā)生隔擊穿湊及使似其激副減，巴其結(jié)躬果，棉成膜作后的鬧膠片百上的呈附著肺異物州及釘縱狀物室變少低，能女夠得隨到非液常光蕩滑的壟膜表度面。場(chǎng)3.百總線(xiàn)賓電極渡及旋獨(dú)轉(zhuǎn)陰臉極羽噴鍍傲鍍膜販設(shè)備棍能制污造的致另一暖個(gè)P蒸DP認(rèn)零件器是總首線(xiàn)電盾極材旬料。奏該零篩件采鴉用塌Cr村Cu置Cr肚或者戲Cr快Al經(jīng)Cr椅,數(shù)膜μ待m糕厚的鋤Cu伸或者燥Al列的導(dǎo)濁電層漲夾在慰10紗00嘉~明20澡00晃?顆的鉻插層中毯。這疑個(gè)多下層的許電阻羅率約苗為0汪.2短?覽/s遷q。稅這些兵金屬基薄膜里要求床的特徹性是板膜厚禾的均傾勻性衫、電吐阻值攏、密念封性遮、防盲止交瘦叉污華染丈、年孔徑遇、老暖化特匆性、愈低膜芝應(yīng)力物。這仇些各俘要求鉆特性唐必須振通過(guò)沿成膜紹設(shè)備痛的機(jī)附械設(shè)工計(jì)、運(yùn)工藝向的最辮佳設(shè)晌置來(lái)丈解決酬。由尤其繭是作淹為中灶間膜狼的C持u及擴(kuò)Al綠鍍膜求時(shí)，龜膜厚除1槽~燥2沉μ狹m，需要求甘高速稍成膜杠率和饞靶的柴較長(zhǎng)肆使用去壽命撥，本偶公司星引進(jìn)浸的焦旋轉(zhuǎn)姨靶侄可以財(cái)作為宗有效法的解刑決策古略。奮（圖臣2）在今后面向低價(jià)格的研發(fā)中，要對(duì)于電極形成工藝采用噴鍍?cè)诮窈竺嫦虻蛢r(jià)格的研發(fā)中，要對(duì)于電極形成工藝采用噴鍍的真空工藝方式、由銀漿代表的非真空工藝進(jìn)行對(duì)比研究。一般認(rèn)為非真空方法具有廉價(jià)的優(yōu)點(diǎn)，如果重視性能方面則仙使用脈真空扇鍍膜銀方法古較好嶄。鍍提膜方債法的橋問(wèn)題經(jīng)上，裙初期折投資械金額暫大、軌設(shè)備澡大小榆、靶胡的壽機(jī)命等朝問(wèn)題灣，今運(yùn)后等淋離子拼電視相的精誠(chéng)度不捷斷提性高，谷需要頸在考漠慮總翠的成鑰本的侮基礎(chǔ)糞上，結(jié)對(duì)2蟲(chóng)種方度法展敢開(kāi)研籌究。艇4．才鍍膜紫設(shè)備勾AT乏X-喝70凡0燈業(yè)界桂全體濾的P娛DP抵T輝V鍍怕模年勁目標(biāo)炕是鍍辰膜面忠積達(dá)民到1沖00些萬(wàn)平筍米,速考慮撤到鍍炮膜成紀(jì)本、丹吞吐失率,泉采用孔并列趨式鍍暴膜設(shè)殘備有露希望丹達(dá)到醬。一悟般的束并列蹈噴鍍蛇裝置攏一個(gè)雕月以可42卷型面叮板換凝算能腔夠制動(dòng)造2楊20棒00淹以上頃的面劈板。閱本公澇司開(kāi)色發(fā)的砍并列鳥(niǎo)噴鍍龜裝置鋪AT長(zhǎng)X-建70伙0以涂42張型面逮板換忌算，債能夠洗每月室鍍膜燈24燃00晚0片電。座AT校X-告70嚷0是頌為了慮提供此所有爹成本南、最篩適合百等離革子電倒視用世而開(kāi)曲發(fā)出冷來(lái)的授設(shè)備莫。此己設(shè)備劉是以酒容易地操作鹽和維政護(hù)為貝目的焦進(jìn)行茂設(shè)計(jì)汁的。瞎由于桿并列軟裝置價(jià)被設(shè)躺計(jì)為進(jìn)由往圈返操庸作分貝割，拾在基鑰板投鞠入和池鍍膜牛后呈字真空麻狀態(tài)箭下使怠基板芝翻轉(zhuǎn)另、搬宣出與愚投入負(fù)從同奇一側(cè)價(jià)進(jìn)行圾。托院架按蔥照傾印斜7嚷度設(shè)聾置，牲基板衛(wèi)不但逃安裝科容易朋，自偷動(dòng)化擦操作規(guī)（機(jī)趴器人碗）也這變得劣容易麥。勁托架促的驅(qū)止動(dòng)由羅磁力邪聯(lián)軸級(jí)器墓進(jìn)行鮮，鏈爆條等搭不需沸要放異在真驕空氛計(jì)圍內(nèi)套，也刺可以杠完全奧防止胳從最偽容易沈產(chǎn)生聚異物歌的驅(qū)嫩動(dòng)系瓣統(tǒng)進(jìn)三來(lái)的件污染奇。為扒了使呼各操箱作室我、靶才的交比換和押維護(hù)柄容易收進(jìn)行霞，采夫取向隱陰極輪及屏棒蔽存著儲(chǔ)容岔易的止設(shè)計(jì)牢。而弦且此協(xié)裝置挑是模登塊式鬼，可劣以在僚短時(shí)躺間內(nèi)遇設(shè)置爹。貞5．決搬運(yùn)屑系統(tǒng)稻的改款善桂等離歡子電阿視使噸用的囑標(biāo)準(zhǔn)感型高身彎曲錫玻璃嫩不經(jīng)佳撞擊福，即萄使是皆小的飄裂紋嘩也會(huì)成造成束基板埋破裂節(jié)，拿嗓放時(shí)暮要非驢常慎浩重。過(guò)因此欠為了蘆防止絞破損棵，在館這種扎玻璃鍬的取置放設(shè)稅備中爽必須尋引進(jìn)棋新的養(yǎng)搬運(yùn)嫌系統(tǒng)枝。展亦望將委來(lái)的識(shí)批量扇生產(chǎn)泰前景創(chuàng)，將燃會(huì)不懂可避搶免地膏要使妄用完朗全自耕動(dòng)的弓搬運(yùn)秩系統(tǒng)閱，惹需要擦由機(jī)童器人先等對(duì)證基板斤進(jìn)行漿裝卸莊、并鉆在成歉膜裝卡置內(nèi)陷采取毒防止傘破損憐的對(duì)抽策。濾尤其奪是在叫成膜香工序結(jié)中，仗基板病的前蝶加熱買(mǎi)處理閣溫度錢(qián)是I話(huà)TO靜膜3逢00蒙攝氏瞎度前賤后、達(dá)氧化敗鎂膜異在2謠00鋤攝氏削度以伴上、榆電極搖在1禍50歡攝氏樸度以燈上的香高溫猾，施些加在們基板識(shí)上的弦加熱劈壓力務(wù)太大棒。異AT隨X-援70俗0的配最欄大特樓點(diǎn)是績(jī)基板脫托架識(shí)呈7直度角據(jù)。這致樣基遮板玻辣璃的占裝卸額容易豬進(jìn)行薦，不然用像帽以往肚那樣救基板疫上留騙出夾號(hào)子的院位置嘴。這動(dòng)樣可桿以緩呈和對(duì)尾玻璃肢的壓展力、綿搬運(yùn)訓(xùn)時(shí)可選以防舍止玻腎璃基摧板的仆破損敲。而粘且也潤(rùn)方便吸機(jī)器巷人搬疲進(jìn)搬疼出基夸板。喘（圖撒4）怪前述波的磁息力驅(qū)威動(dòng)搬抄運(yùn)裝樸置可臨以蝴進(jìn)行翁無(wú)振曉動(dòng)的勇平穩(wěn)另搬運(yùn)價(jià)，降捷低對(duì)犁玻璃事基板濱的損歌傷哲。軋6．羨結(jié)束負(fù)語(yǔ)槐為了押使等脾離子惰電視嘴降低攜價(jià)格假，成左膜裝斤置的鐮所有租成本著必須夠進(jìn)一躍步下昆降。魚(yú)因此低需要類(lèi)組建甩完全威自動(dòng)脫的生園產(chǎn)線(xiàn)鉗、住開(kāi)發(fā)造免維水護(hù)澡的系閘統(tǒng)馬。而傳且需更要進(jìn)摔一步忍發(fā)揮濫真空店系統(tǒng)刃的優(yōu)錯(cuò)點(diǎn)，聽(tīng)對(duì)非未真空覆系統(tǒng)烏不具擁備的技方面夜提出端解決均方案儉。例釣如對(duì)株于不易斷向禾大型熟化發(fā)籍展的煩等離貍子電體視,杰?chē)姙R瞇成膜生技術(shù)氣是比隙較容擱易應(yīng)店付的我。新肥的陰說(shuō)極設(shè)縫計(jì)可蒼以說(shuō)平在節(jié)漏省連梁續(xù)運(yùn)叔轉(zhuǎn)時(shí)秒間、乎容易司維護(hù)忠方面俊比印撕刷手毅法先戚進(jìn)。摩但是確在初屑期投鐵資金厘額、貪設(shè)備羊占有構(gòu)面積敲等方餡面還央需要棗改進(jìn)餡。拘IT雜O成勾膜要取求靶量使用及效率刑比現(xiàn)耀狀的金效率泛提高封40裁%以書(shū)上。芒而且驗(yàn)在高播溫處奴理時(shí)時(shí)要求遲電阻倚值不朵變化控、膜宰不變矩色、穗與介恒質(zhì)層煎親和翅性好轎。每關(guān)于須總線(xiàn)兔電極奧，近卸年用椅戶(hù)對(duì)盒環(huán)境結(jié)問(wèn)題壯很關(guān)漲心，茄要求騙削減幫工序囑數(shù)，壓電極貴希望占使用纖無(wú)C寨r層申的物徹質(zhì)。渡第三鬧章矩第一掛節(jié)悟氧化清鎂成簽?zāi)ぱb豎置C緊-3格60信0S極系列渾1．殿前幟言努最近芬市場(chǎng)店上出珍現(xiàn)的約薄型膠、具穴有震蜻撼效航果的合等離神子電覽視很貝引人手注目鳴。猛作為膏等離甩子電籌視的夏保護(hù)客膜使林用氧?；V宋膜，仆一直詞廣泛脾使用散電子吃熱蒸幫（E悟B）軋法。價(jià)但是徑為了輸提高朽生產(chǎn)境率以揉及氧付化鎂囑的膜需質(zhì)，棵提出帶了新居的成池膜方海法。等氧化后鎂膜韻是吸論濕性菠非常右高的宴材料嗓，量選產(chǎn)裝常置中晚確保圍穩(wěn)定賴(lài)的成巧膜環(huán)被境很賓重要狹。活C-純36滅00怕S系銹列（匙照片杰1）品是融徒合了端穩(wěn)定竄成膜堡環(huán)境嬌的T形OS民S（悶tr猴an重sf舟er奉o揉nl枯y鋒su稱(chēng)bs械tr漆at宵e那sy芹st號(hào)em射）技預(yù)術(shù)以絡(luò)及中償外爐枕工業(yè)鞏公司妹的離宴子電豈鍍技男術(shù)[懶SU漿PL波aD貼UO蓋]內(nèi)的氧紋化鎂創(chuàng)成膜路裝置托。利他用[控SU娘PL堵aD靈UO愚]駛技術(shù)鬼實(shí)現(xiàn)滅了更蝴高的櫻成膜拖速度孕，利貝用T肅OS荷S技填術(shù)能碰夠形征成穩(wěn)穗定的法膜。歌已經(jīng)妄有幾遍家大攀型工布廠的取量產(chǎn)步生產(chǎn)對(duì)線(xiàn)上堤，今數(shù)后為租了進(jìn)彎一步雨普及幼等離爪子電每視，怪必須核提高敏生產(chǎn)出率、湖提高耽膜質(zhì)范。本代節(jié)介贊紹本略設(shè)備粒的特領(lǐng)征及搬提高鑄生產(chǎn)形率所椅作的備研發(fā)面情況扶。排2．韻SU勺PL末aD魔UO式的概蓮要驗(yàn)2．揚(yáng)1棗構(gòu)成側(cè)與原勉理膨SU忠PL返aD赤UO疼是使井用壓騎力傾趣斜型幣的等它離子駐的離額子電銅鍍成冰膜系怠統(tǒng)。穩(wěn)圖1唱是離尋子槍暴的構(gòu)衰造和舊系統(tǒng)權(quán)的基怕本構(gòu)精成。曲陰極哨射線(xiàn)堅(jiān)管部身分產(chǎn)方生的萬(wàn)高密街度電葡子光庭束是觀低電鉆壓、雀大電膨流，枝高效湯率地共激勵(lì)裂氬氣練和蒸扛發(fā)的含氧化壁鎂，終形成桐離子謀化，豐陰極卻射線(xiàn)境管與映成膜讀室之止間設(shè)齊置壓核力傾勸斜，園防止孩從成饞膜室因出來(lái)眉的氣的體和仰離子側(cè)的逆定流對(duì)炒陰極識(shí)射線(xiàn)裹管的挨損傷剛。電臭子光冤束是候薄板調(diào)化的秀磁鐵籠被壓星大成產(chǎn)薄板票狀，姓以此脅為坩筋堝下線(xiàn)的陽(yáng)殺極磁那鐵實(shí)迅現(xiàn)廣顆范圍侮的蒸惱發(fā)。冷而且過(guò)為得蹤到基搞板上淡的所柳定模探厚度渡及膜渠質(zhì)分伙布，西入射么光束劣可以渡用陽(yáng)浪極磁申鐵等冤進(jìn)行蓬調(diào)整瞎。浮2．毀2餃成膜鏡特性透一般喚用E割B熱標(biāo)蒸法構(gòu)增加拔投入稈功率韻的話(huà)餃就容嘉易厚發(fā)生鎮(zhèn)濺水礙現(xiàn)象隱，難越以增礦加成君膜速臘度。故與此蘭相對(duì)止，S吼UP慨La蜓DU迫O離易子的飛生成證電壓釘為1末00縮V，賽與E覺(jué)B方膛法比貼較，誘是低走電壓扯，光礎(chǔ)束的瓶薄片騙化使鉗得能逐量分鳳散，吹能夠肢高效掉率地餡組成請(qǐng)穩(wěn)定喂的氧密化鎂喉膜。惱圖2甘是氧吉化鎂市成膜剛時(shí)的斗等離談子槍膜的放躺電電拋力和侵成膜禮速度篇的關(guān)梨系。態(tài)成膜墾速度看達(dá)到線(xiàn)14吐nm勾/s般，與翻EB肌熱蒸丟法比賢較，臂無(wú)濺攜水現(xiàn)分象發(fā)沃生、燃能夠急得到敢穩(wěn)定雜的膜嫁。趨氧化裂鎂膜揮的耐航噴鍍點(diǎn)性得是決養(yǎng)定等想離子豆電視瓦壽命飄的主鐵要因點(diǎn)素之此一，癢有報(bào)爹告說(shuō)禽結(jié)晶慚配向治性按蹦照金（2薦20都）（際20毛0）的＞（林11厚1）膠的順壘序較掩好。受SU軋PL忍aD喘UO板由于旨變更梢流程睜條件贊，能卸夠分生別獨(dú)附立控廣制具指有（忙11劃1）魯、（扣20撐0）訂、（催22禽0）潛的結(jié)舉晶配載向性耳的氧倦化鎂拍膜的旨形成戚。而門(mén)且即蔬使是宣形成從同樣劑(1噴11鉛)配膛向膜攜，用都SU蜂PL座aD豆UO黎比用裳EB鄉(xiāng)熱蒸盛法形鍬成的忠膜密屋度大瓦，并貴且能晉夠形務(wù)成耐脖噴鍍辜性的鑒大膜蔑。這趨樣可許以推梁斷使損用S事UP擾La薦DU億O方垃法，鏟蒸發(fā)稈粒子誤的激勒勵(lì)、蒜離子黨化效逆率高竹。金而且顧從面鵝板的柏特性啦上有浙報(bào)告東說(shuō)，紛與（幸11穿1）融配向冬面比吃較，排工作棍函數(shù)擺較小澤的（嫁22秤0）演配向超面2拆次電烘子放組出系鴉數(shù)大慌、放宵電壓哭力小神。在睛實(shí)際題應(yīng)用耗上還倆有許啦多應(yīng)擺該研封究的塵，期帆待著綿利用看（2悟20現(xiàn)）配倆向膜巡，降垮低面醬板成極本。讓3．江C-滾36密00蝕S系伍列設(shè)太備的偉特征肉C-藏36德00陶S系寇列分逝為大監(jiān)規(guī)模醋生產(chǎn)悄用的飼G類(lèi)故型、摧小規(guī)秤模生察產(chǎn)用火的E倦型、個(gè)研究西試作個(gè)用的迷B型更3種襖。這潑里介夏紹大郊規(guī)模壘生產(chǎn)危用的涂G型泛、成族膜室攜1室遣構(gòu)成償?shù)腃說(shuō)-3各60怠1S乞G的孤概要夜。摟1基暢本構(gòu)綢成漂C-汪36薦01宋SG鼠是玻辛璃基之板一湊片一召片地鳥(niǎo)連續(xù)沉水平這搬運(yùn)豆移動(dòng)爺進(jìn)行是成膜飽的并降列式途通過(guò)盒式成鎖膜方桌式。戶(hù)對(duì)于林氧化且鎂膜歪的吸刷濕性鍋方面精，為杏了盡盾量排脹除成定膜時(shí)身水分冊(cè)的影寬響，袍采用戒本公蘭司獨(dú)頑自開(kāi)胳發(fā)的慮TO遠(yuǎn)SS寨基板施搬運(yùn)售方式瑞。就3．酸2嘩TO壺SS私基板鑰搬運(yùn)虹方式件圖3貨是T雖OS仔S的贈(zèng)概念雹。從晝LL事室來(lái)館的基腿板經(jīng)型過(guò)預(yù)眨備加秒熱后堪、裝軌在C丸R室扮的罩篩托架專(zhuān)上，殿進(jìn)行衫鍍膜白。成憂(yōu)膜后權(quán)的基律板在債CR揮室被儀托架漿分離透，向趟空氣貨側(cè)排志出?？高@種勞方式摧是帶兼著氧腹化鎂簡(jiǎn)膜的候托架畜在設(shè)啞備內(nèi)縮循環(huán)月，不鴉暴露揀在空刑氣中絲、阻月?lián)跛诌M(jìn)創(chuàng)入設(shè)洋備內(nèi)叛，從裳而保信證膜昏質(zhì)的溝穩(wěn)定亞性。避并且蒸托架拜在真迅空中筋保持能加熱寨、溫群度穩(wěn)雅定、秤能夠辭有效湯地防涼止微脅粒的非產(chǎn)生既。副結(jié)束所語(yǔ)灶為了求要提駁高生鋪產(chǎn)率攀，需族要提妙高成象膜率乞、基與板向裳大型惰化發(fā)儀展。座本設(shè)乖備中礎(chǔ)，等倚離子及槍并絮列幾得組，剃能夠飛應(yīng)付顆這種屬發(fā)展職需求鬧。圖獻(xiàn)4是仔50房英寸輔基板弱并列洽2片技成膜播時(shí)測(cè)宿定的梳成膜喚率和謠膜厚視均勻慎數(shù)據(jù)刪，其稅中成弟膜速蛾度約有為1務(wù)2n悅m/燥s，甩膜厚充度均女勻在窄±聲6%盟以?xún)?nèi)形。本牛設(shè)備饅的可摔以裝燭載基治板尺資寸一恥直到覺(jué)65良英寸鋸。本斗公司漂今后惕還要爹使蒸砌發(fā)源裁的構(gòu)高成與陶成膜左條件柴達(dá)到望最佳計(jì)配合填，進(jìn)隱一步杰適應(yīng)策基板侵的大剝型化蹤發(fā)展蹲、并架提高配生產(chǎn)帆率。容第三作章沸第二估節(jié)機(jī)氧化才鎂成琴膜裝規(guī)置E贏CH著系列前言橡主要倡以業(yè)辯務(wù)用趣途為無(wú)主開(kāi)鐵始生箱產(chǎn)的燈等離鍛子電貧視，煤歷經(jīng)矩了對(duì)及彩色洗等離肝子電密視的首證實(shí)魂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米紅的間呀隙，弄具有盡伸縮歪性的抖版由德滑動(dòng)熔臺(tái)壓尸下，漠使印份刷品房與網(wǎng)兩線(xiàn)一珠邊接旬觸、的滑動(dòng)源臺(tái)在詠漏網(wǎng)慧上一瞎邊擺灑動(dòng)，心由此糕印刷丟和版崖離開(kāi)叉(與研印刷柱物接爹觸的附版自勤身的杜張力贊使印貌刷物薪離開(kāi)宿的現(xiàn)烈象)片同時(shí)寄進(jìn)行它。但凍是在荷遍涂本（全究部涂勉滿(mǎn)）逃印刷熱或者淺漿料像粘性夏高的街情況推下，合印刷懼結(jié)束量后即色使滑蠢動(dòng)臺(tái)蜓上升豆、但走也有披版不旱會(huì)離亮開(kāi)的叫時(shí)候軍。這展種版蜘框的筑一邊劈抬起予、使糊版離償開(kāi)的反裝置召稱(chēng)作野版離坡開(kāi)構(gòu)杏造。辯這是暴漏網(wǎng)撐印刷楊機(jī)的雄一般襲構(gòu)造吐，在魚(yú)用于勿等離慎子電濫視的剪20嫩00篩~給25嬸00喊mm均角尺懶寸的疊版時(shí)陸，采猶用遍面涂印榮刷，程為了盡得到逗均勻鹿的膜扶，有毫?xí)r必左須做濤到極濃細(xì)微幼的版筑離開(kāi)岸動(dòng)作爆。本么公司誤版離塊開(kāi)動(dòng)孤作可服以通砌過(guò)2奪階段迫來(lái)控徐制，后能夠燭根據(jù)匙漏網(wǎng)膊和漿葬料的州狀態(tài)昌的變賴(lài)化，齒改變掌版離抹開(kāi)動(dòng)嫩作。河3．荷2熒攻光體此印刷狗以及任取出者滲出氏物的亡裝置紛（照味片2量）桑漏網(wǎng)來(lái)印刷伴的滲睬出是僚漏網(wǎng)貞里面臂帶有便漿料館造成瓦的。幅主要夕原因盾是從新漏網(wǎng)城版壓里出的殃漿料吩沒(méi)有供全部女被印職刷上躍、清填理時(shí)釀取得丙太多企、印臨壓（陸對(duì)滑警動(dòng)臺(tái)僑的壓女入力削）施品加過(guò)艷大等允。其役中等掉離子澇電視否的熒針光體廊印刷危時(shí)是矩特殊成的滲竟出。捧熒光然體印吸刷光蛙的3美原色戚re云d\煌gr茂ee氧n\旋bl須ue趟的漿養(yǎng)料在后障壁夜之間悉每一冤種顏?zhàn)o(hù)色分肌三次惱進(jìn)行菌漏網(wǎng)其印刷仍的方堅(jiān)法，堤障壁似和障島壁之肚間設(shè)輪置有君版的擠開(kāi)口典部，感用滑致動(dòng)臺(tái)枝將漿賴(lài)料從歷障壁宰的谷監(jiān)間壓守出。久障壁雜谷被廉填充匯了漿逃料、繭與障堡壁接貿(mào)觸的差漏網(wǎng)由里面削粘有熄漿料倆。這哨樣接系下來(lái)任的印亡刷中闊，障湯壁被識(shí)弄臟找，需纏要對(duì)追版進(jìn)盾行清遍潔，丸取出凈版里棗面的繼滲出酸物。銳取出畢方法優(yōu)有膠課帶卷師成磙糊子狀看安裝計(jì)在版世邊框踢，版研的里鐘面向齊著粘肆的一喉面，沒(méi)從卷委中拉身出膠漂帶，門(mén)使粘棵結(jié)部溉分與帽版里彈面的塘滑動(dòng)網(wǎng)臺(tái)粘劃緊，貪這樣延膠帶換將版泊里面應(yīng)的墨三臨摹堂、進(jìn)竭行清刪潔。把取出碰滲出碑物的址構(gòu)造名不是喊僅限襪于等臂離子火電視節(jié)的印予刷，競(jìng)由于傻漏網(wǎng)士太大速、人鎖工進(jìn)倦行清繼潔困臭難等淋原因性，這貪成為洽熒光乞體印妄刷的諸必備搏構(gòu)件庸。本撐公司將此裝勇置取連得許重多實(shí)黃際成憂(yōu)效、囑受到節(jié)用戶(hù)結(jié)的好萄評(píng)。潔3．抵3小漿料妹的供騙給設(shè)父?jìng)湎さ入x肌子電陽(yáng)視印北刷工釋序由攀于版細(xì)大、概全涂頸滿(mǎn)的球印刷砌多，抖使用污漿料棕也多悄，版疫面需如要足糞夠的獨(dú)漿料張。但功是如毛果向峽版供夢(mèng)應(yīng)過(guò)兩多的推漿，擊其重扯量會(huì)橫使版鑼松懈欲，影仆響印渠刷。熄這里退為了竄保證慣適當(dāng)展的漿華料量注，需學(xué)要供齒給裝并置。少此供理給裝開(kāi)置是隱由密命閉壓戴力容獨(dú)器（怕罐）猾和噴據(jù)嘴構(gòu)漏成，作漿料卵放入么罐，聰從上梁部對(duì)擦其加炊壓，隔由噴壩嘴前騾端供銀給。光噴嘴里是透慧明的全柔軟部樹(shù)脂巨，是秩前端潤(rùn)由汽防缸夾盯板的披構(gòu)造驢。按貸照供旅給、戴停止誰(shuí)要求戰(zhàn)，夾允板打行開(kāi)、猴關(guān)閉封。漿米料的穗供給鑼量可符以由哪壓力森、時(shí)燦間、集印刷鐵撞擊漲次數(shù)繼控制便。鳥(niǎo)3．料4盡滑動(dòng)抵臺(tái)頭施等離惕子電綢視印問(wèn)刷尺材寸大是，為苗了減煌輕操加作者間的負(fù)嚇擔(dān)，退研究鞠了種棚種的滅構(gòu)造表，下插面介繞紹幾濁例。奉3.順4.延1蒸滑動(dòng)術(shù)臺(tái)頭棋的旋叨轉(zhuǎn)構(gòu)扣造（今照片壺3）濁漏網(wǎng)怒印刷季機(jī)的器滑動(dòng)厚臺(tái)、須刮板逃是在模各支冬架由叫下向疲上安良裝固啟定的猶。按鑄照這晃種方止式安口裝超惱過(guò)1曾00束0m鋼m的艙滑動(dòng)扯臺(tái)、曠刮板繁時(shí)，啞要一沸只手六支撐甘十幾陵公斤捉的重稼物操辮作，膝操作唉者負(fù)矩?fù)?dān)大樂(lè)。這揀是滑獲動(dòng)臺(tái)透、刮臣板橫蟻向或珍者斜民著能臨從上傻部安鎮(zhèn)裝、祥容易餡兩手概操作寫(xiě)的旋渠轉(zhuǎn)構(gòu)奉造。濾3.賤4.禿2繡滑動(dòng)量臺(tái)自駐動(dòng)平肌行調(diào)虎整構(gòu)垃造誓滑動(dòng)則臺(tái)與砌桌面盤(pán)是否井平行訓(xùn)地移卵動(dòng)是清得到世均勻享厚度惑的膜誦的前蠟提條勵(lì)件。捆因此牧操作螞者要撇對(duì)滑瞎動(dòng)臺(tái)古相對(duì)裙于的肚桌面美平行潛進(jìn)行謹(jǐn)調(diào)整列。此慰裝置哥在桌遮上設(shè)課置有械傳感菊器監(jiān)蛙視滑遙動(dòng)臺(tái)幻的左紋右兩化端的椅間隙新、自臂動(dòng)調(diào)程整其塑平行聲。強(qiáng)3.否4.掀3臟滑動(dòng)割臺(tái)擺謎動(dòng)裝品置左得到洞均勻基的印孕刷膜鄉(xiāng)的前鄰提是陣漿料斧涂層治無(wú)斑臉點(diǎn)。過(guò)斑點(diǎn)量是在冷用刮圣板涂環(huán)漿料羅時(shí)，易粘到版滑動(dòng)律臺(tái)上妄的漿對(duì)料滴楚到版奉面而講形成緊的。層這是殿使滑吼動(dòng)臺(tái)毅擺動(dòng)魯，防望止粘陶在滑阿動(dòng)臺(tái)繳上的貝漿料斷直接方滴到瞞版面憑上的亮滑動(dòng)齒臺(tái)擺覺(jué)動(dòng)裝猾置。急3．生5怖滑動(dòng)暫臺(tái)研話(huà)磨裝午置攝滑動(dòng)亂臺(tái)與磁版面館接觸咳的部曾分稱(chēng)架作邊晌刃，派這個(gè)北部分仇在版癥面上裂一邊模擺動(dòng)肅一邊尾壓出梨漿料核進(jìn)行棚印刷奶。邊恭刃的怪形狀卸影響乓印刷諷的結(jié)贊果，踩邊刃倡經(jīng)常造和版畝面摩括擦產(chǎn)洲生磨讓損?；鸵虼嘶I邊刃呢部由裳于損顧耗在柔超過(guò)鴉印刷魂變化混的容癥許范娘圍前俊就要德使其傭再生所。作太為大愛(ài)型等稼離子傲電視威用滑跌動(dòng)臺(tái)謀邊刃族的自債動(dòng)再竄生裝拌置，化本公靈司準(zhǔn)淚備了壟滑動(dòng)危臺(tái)研慘磨裝襖置S哨G-烏16訴00甚、1魄80能0T卷A（噸照片撇4）茄。兩網(wǎng)者都它可以魔對(duì)橫庭狀邊飛刃、禿各對(duì)不16踩00薦mm盡、1號(hào)80唱0m鞋m長(zhǎng)閉的滑剩動(dòng)臺(tái)緩進(jìn)行肚研磨靠。此梨裝置維能夠歸調(diào)整雄研磨辜石的泉旋轉(zhuǎn)咬數(shù)和應(yīng)送出座速度斗，研桃磨石潑的角及度能客夠在胞0~匙45磁度設(shè)妹定，萌這樣致可以士根據(jù)廣最適眾當(dāng)?shù)某醒心テ獥l件濁、印乏刷狀另況來(lái)茂調(diào)整腐角度待。鍬4．菜結(jié)束搞語(yǔ)披這幾保年等蹦離子浙電視滴迅速速普及姻，作鏟為少盡數(shù)的諒需求凍成長(zhǎng)丘型產(chǎn)進(jìn)品引艱人注陰目。器能夠繼普及酷的主滴要原氧因是糕畫(huà)質(zhì)鏡提高足、同都時(shí)價(jià)組格被趴降低踐。幾喚年前恩1英畏寸=算3萬(wàn)板日元緣，現(xiàn)隆在降舒低到揀1英挺寸=家2萬(wàn)橡日元必，實(shí)紛際銷(xiāo)紫售價(jià)詞格比奔這還巾低。察實(shí)現(xiàn)萬(wàn)這一艱步是抖由于梁廠家矮的技責(zé)術(shù)力即量增瑞加、獄生產(chǎn)嶼設(shè)備牌得到奏改進(jìn)紋。在腰生產(chǎn)梳設(shè)備感中，很集中香了厚門(mén)膜技悶術(shù)的匹等離批子電蓄視生詳產(chǎn)用盤(pán)漏網(wǎng)絕印刷李機(jī)發(fā)勵(lì)揮的咸作用秒較大場(chǎng)。為刊了進(jìn)個(gè)一步添普及知等離重子電臨視，必需要潮繼續(xù)漏提高俯品質(zhì)罩、降薄低價(jià)捷格，著今后后本公殼司將汗努力歐提供煮符合灶這種屆要求油的漏衛(wèi)網(wǎng)印掀刷機(jī)使。淚第二脅節(jié)箭漏網(wǎng)于印刷宿機(jī)倒1．吐前言悲與銷(xiāo)迅售初穗期相沾比較教，這壩一兩問(wèn)年來(lái)齡，等逐離子覺(jué)電視癥電視患由于待其價(jià)設(shè)格降仔低而檔備受陵關(guān)注輪，即騙將實(shí)豬現(xiàn)普鞭及的肅目標(biāo)載價(jià)格告（每共英寸厭1萬(wàn)粱日元?dú)灒瑲g然而歉大型欣等離養(yǎng)子電諒視電群視的視制造塌成本濱被嚴(yán)暖格制捏約，謙看不耽到降球低的踐跡象蓮，面糞板廠龜家正炸在進(jìn)鏡行苦鉛戰(zhàn)。芬另一煩方面滲，由真于漏朝網(wǎng)罩津、漿扶料、月印刷遙裝置序的飛秀躍進(jìn)辦步，騎在等晝離子忽電視扛開(kāi)發(fā)皆初期燃制造止面板眾時(shí)采輔用的稍漏網(wǎng)者印刷冊(cè)技術(shù)織也有勉很大炸改進(jìn)狼。坦在環(huán)她境保殼護(hù)成攀為焦緩點(diǎn)的據(jù)今天依,對(duì)個(gè)廢棄撿物少吐、無(wú)劑多余布工藝和流程扎的再銅次設(shè)季置成引為重尼大課狼題。羊本節(jié)攻講述潔漏網(wǎng)書(shū)印刷珠的可讓能性刑，及假本公壘司所黎提倡雕的印輝刷條倘件的忠合理胳化方僑法、余應(yīng)付偷70按英寸探的等戶(hù)離子英電視礦的本慌公司毀印刷墨裝置鄭的技報(bào)術(shù)規(guī)繩格。巡漏網(wǎng)歪印刷坑的實(shí)茄力嫩聚酯慮漏網(wǎng)急印刷霜技術(shù)牽是這盤(pán)十年吸經(jīng)過(guò)共很多忍改進(jìn)脾的新變的技啟術(shù)。討本公仁司稱(chēng)績(jī)?yōu)锳步SP呆T(戲Ad蘇va撥nc淡ed戀s紗cr孟ee鞋n腫pr奉in菊ti刮ng濁t(yī)朵ec剛hn蘇ol素og織y)冤。映這種額技法嗚使用校高張箏力狀·律高解跑析度嘆的漏續(xù)網(wǎng)罩義、與攏粘性視穩(wěn)定持的高或精度潤(rùn)漿料廈和高約精度仇印刷芳機(jī)組尋合而稅成的焦。應(yīng)頂用這輪種技投法并角配合唱印刷農(nóng)條件啊，即屋將實(shí)基現(xiàn)L誤/S提=1掙0候μ災(zāi)m。漲而且泳經(jīng)確本認(rèn)，財(cái)玻璃列基板版尺寸貍為1新50煩0踐×獲12綿90如mm排(印菌刷面嶄積1摧41僵0需×辱81冠0m時(shí)m)卻上面頃、全隨部涂歉滿(mǎn)印欄刷的飾膜厚纏度的熟偏差折在馬±蘭1攜μ覽m以煎內(nèi)，窯對(duì)這畢種技乓法的毫實(shí)力沿以及礙今后礎(chǔ)的改掙進(jìn)報(bào)俯以很鴉大的樸期待示。貞適當(dāng)夫的印敗刷條迅件嫂隨著術(shù)印刷綿機(jī)的爐改進(jìn)爆，為紀(jì)最大飽發(fā)揮亮版/確漿的娛性能勞，正到在使巾印刷這機(jī)達(dá)癥到高零精度約、能區(qū)夠簡(jiǎn)扎單地翠設(shè)定繪合適筑的印捉刷條尿件、挨可操雞作性方強(qiáng)的山程度帥。驕適當(dāng)腎的印轟刷條頁(yè)件是屬：皆清除著率、積印壓符、滑犧動(dòng)臺(tái)串角度螞以及搖滑動(dòng)叛速度撤的適政當(dāng)，女通過(guò)竄漿料西和漏汽網(wǎng)規(guī)烤格配唱合，玉實(shí)現(xiàn)鄉(xiāng)高精樓度的霸印刷槍。扭70艘英寸泉的等渾離子旨電視紋用漏絮網(wǎng)印稱(chēng)刷機(jī)極70擾英寸胖的等跨離子攀電視糟用漏伐網(wǎng)印師刷機(jī)乞的特任征如凳下：?jiǎn)崾褂没?5弱00猜×丟25雹00優(yōu)mm查的漏兇網(wǎng)版晴框，淡印刷欲70渾英寸覆玻璃富基板良硬性館高窗的鑄戶(hù)鐵制怒的底踢座，凡4根細(xì)柱（杯鋁鑄組造）殖支撐旺、印銷(xiāo)刷機(jī)斤框?？闯制脚篮獾闹闃?gòu)造托。這業(yè)是為栽了最貿(mào)小限皮度降蜻低多析年使原用的梢印刷躬機(jī)對(duì)勇印刷戰(zhàn)精度堅(jiān)影響坦而設(shè)誓計(jì)的張、可壁以長(zhǎng)慢期維品持印祥刷精奧度的封構(gòu)造止。北作為刺滑動(dòng)遠(yuǎn)臺(tái)的虧驅(qū)動(dòng)方方式孔，不籠使用荒印刷蜂時(shí)容流易引御起震講動(dòng)的科動(dòng)態(tài)濟(jì)帶和劃球狀被螺釘神，而午是采福用表傻面執(zhí)平滑撞的鋼莊帶的數(shù)超低糠震動(dòng)溝的驅(qū)釘動(dòng)方表式踢。這莫種構(gòu)收造在綁介質(zhì)鋤層形焦成時(shí)畝不會(huì)砍有印渴刷斑卸點(diǎn)、攔能夠劍形成河均勻艦厚度黃的膜蒜。翠版框沈部分晌的支庭架采泉用向獸操作捧者前劑面滑斷動(dòng)的娃方式喉，版殲的清露掃、線(xiàn)漿料李的補(bǔ)散充容徐易進(jìn)薯行。則以往鑒難以渡進(jìn)行控的滑辮動(dòng)臺(tái)楊調(diào)整迅采用晃遠(yuǎn)隔待離操輔作，突使調(diào)旋整簡(jiǎn)筍單、拘縮短剪裝置垃時(shí)間會(huì)。舟采用采低印乞刷壓弦力方俘式（蠻垂直罰浮標(biāo)眨型的我氣平非衡方督式）謠，能患?jí)蜻m寇當(dāng)?shù)靥乖O(shè)定鉗印壓病。這段樣，猜不會(huì)菌在過(guò)毛度的乞印刷兼壓力林下印衛(wèi)刷，化可以丑抑制替滲出柏、穩(wěn)陽(yáng)定印橫刷后達(dá)的尺器寸精屆度、革延長(zhǎng)賽漏網(wǎng)麻罩的濫壽命祥、減圣少滑帽動(dòng)臺(tái)朽的磨伴損。血使用圾本公斜司獨(dú)窗創(chuàng)的佛微型拌DB原滑動(dòng)室臺(tái)(杠角度療為5藏刻度譜、滑晃動(dòng)臺(tái)役本身再的角銀度可桶以研倦磨)場(chǎng)。這低樣可肌容易腫地按遼漿料仗以及亂漏網(wǎng)待罩的渾規(guī)格儲(chǔ)設(shè)定瓶滑動(dòng)疑角度臨,控竟制印炕刷時(shí)院漿料艷的吐盞出量武。求結(jié)束嫩語(yǔ)爽以上字講述驚了A威SP醋T的君概況玻，各暈漿料臨廠家續(xù)、漏鍵網(wǎng)廠華家的抬開(kāi)發(fā)城熱情侄很高采，我露們堅(jiān)強(qiáng)信能莖夠應(yīng)木付更末高的舒規(guī)格編標(biāo)準(zhǔn)督。控本公托司不供滿(mǎn)足俊于現(xiàn)括有技艱術(shù)，拒挑戰(zhàn)雅新的殿技術(shù)哨。為嫩了符謊合今豪后關(guān)寧于廢煩棄物照排放煮的規(guī)亂定，太用全嚴(yán)添加坊法的穗制造圖方法怕將會(huì)來(lái)越來(lái)?yè)嵩揭咳俗㈩^目。糠第五礙章執(zhí)跑漿料稻涂料老機(jī)害臺(tái)刑上涂擱料機(jī)校1．賄前言幫中外筐爐工筐業(yè)況96胡年4陸月開(kāi)倡始銷(xiāo)恒售臺(tái)竟上涂向料機(jī)露I（拼定盤(pán)攜型狹趣孔臺(tái)龍式涂身料機(jī)抖），櫻以純?nèi)斤@葡示器析（F琴PD統(tǒng):f華la欠t架pa五ne皂l窗di跪sp牲la錫y）蒸為首槐，在央印刷擱基板冠、照輸片框味架、土記錄甘信息址用紙僑等廣劈泛領(lǐng)釘域內(nèi)紫，銷(xiāo)俘售業(yè)果績(jī)達(dá)眾到4葬0多蝕臺(tái)，傲設(shè)備評(píng)的完奴成程捏度也疤從當(dāng)校初的昌研究吸開(kāi)發(fā)毯用到妨并列職式的寄試做奶試驗(yàn)奪用、釘發(fā)展還到量昆產(chǎn)使局用設(shè)縣備?；绕浔I是最趁近家喇電商騰店引縫人注判目的嗎等離庭子顯階示器圖面板苗，幾醋乎都顧是由贏這種愛(ài)涂料匠機(jī)處務(wù)理制孝造出膚來(lái)的衛(wèi)。淚（平仔板顯獸示器騾）其等離群子顯精示器脊的例抱子可性以列吼舉如蛇下：陸等離邁子電幸視面鑼板；憐液晶千顯示成器；爽有機(jī)冷EL烤顯示炕器；信電場(chǎng)憂(yōu)放電遣型顯乘示器遍本節(jié)鉗說(shuō)明伶本公留司的順具有籍現(xiàn)有澆功能慌的試輔做/君量產(chǎn)加用漿濁料涂胳料器丹和臺(tái)幅式涂取料器家。并場(chǎng)且介蛋紹為嫁對(duì)亞睜維細(xì)嘉粒程借度的兆膜進(jìn)撥行穩(wěn)橋定涂爹敷而失開(kāi)發(fā)前的臺(tái)爹上涂撥料器惕（商到品名搜FL立OL得IA畜）。玉2．散臺(tái)上怖涂料綿機(jī)的吹特征間和基浸本產(chǎn)清品說(shuō)燕明射近年私來(lái)，鏡在以吊許多攤電子右產(chǎn)品勢(shì)為首針的各習(xí)種領(lǐng)舞域，普涂料雅機(jī)都據(jù)引人趟注目糟。理咬由是參伴隨柔著環(huán)芝境保唉護(hù)問(wèn)葬題和桂激烈莫的價(jià)蠶格競(jìng)卵爭(zhēng)、周適應(yīng)頑涂敷瀉材料遍和涂市敷液血體的癢技術(shù)世革新個(gè)、以嫁及新梢產(chǎn)品四的開(kāi)脂發(fā)需怒求，勒本涂算料機(jī)友具有癥以下堡特征此，而烏且能酸夠?qū)ξ湟酝客糠罅x設(shè)備撈不能嘴做到唱的涂句敷規(guī)姿格進(jìn)爛行涂飄敷。智2．鏡1設(shè)太備的狡特征=1\*GB3頂①別能夠斗進(jìn)行醫(yī)與旋都轉(zhuǎn)涂惹敷機(jī)爛相比婆擬的極高精朵度涂輕敷。=2\*GB3來(lái)②譽(yù)涂敷況范圍者廣，稿從低眼黏度啊到高如黏度嚷均可絡(luò)。=3\*GB3唇③共從薄濁膜到秋厚膜叫都可逗適用田。掘④亂由于門(mén)是全休量涂奸敷，敢可以紙最小篇限度惜地降則低涂熱敷液返體的稻損耗擁。=5\*GB3檔⑤貪由封振閉回厲路液惜體供宅給系宴統(tǒng)將眉涂敷使液體撞的時(shí)墓間變狡化控工制到士最小德。=6\*GB3皂⑥偽從玻繩璃板聰、金究屬板醫(yī)到膠串片、泳金屬混箔、藏紙，叢對(duì)廣聚泛的避材料濤都可嚼以涂財(cái)敷吃。由2．根2設(shè)幼備的眉基本烘規(guī)格=1\*GB3主①私涂敷已精度督：攪±免5%羅以?xún)?nèi)件撒鈴脫恥交=2\*GB3旦②痛涂膜占厚度即：1搜~5搶00齊μ陵m懶濕）=3\*GB3耗③悔液體世黏度茂：1榨~纏10暑00尖0m款Pa是·抱s肚未耀役④女涂敷屈速度炭：最木高源哭5目0m崖m/犧s紡機(jī)械價(jià)速度流：最礦高1烏00育mm合/s軌背書(shū)鑼饞⑥起涂敷男幅度葛：最依大1溜60寸0m傲m畫(huà)喪基板讓尺寸東：最膠大1逃60腹0游×通16客00館mm蹄作為拿能夠寸涂敷低幅度服寬的否例子孤，圖刃1是連14公00檔mm夫?qū)挿傻母吣沭ざ葟潩{料勾的涂室敷結(jié)喜果。通3．都涂料蒜機(jī)的享概要全3．至1喇設(shè)備湖的基壟本構(gòu)嫁成基板測(cè)定槽模平移涂敷方向槽模架間隙傳感器間隙槽模升降涂敷液固定臺(tái)涂敷液罐待機(jī)位置基板吸附PP槽模頭清洗自動(dòng)歸零膜厚慘圖2箱是涂粥料機(jī)斥的大莊概構(gòu)捐成。擺本設(shè)嫩備是牽由帶排有吸懸附功餓能的令固定款臺(tái)（員固定描盤(pán)）浸吸附置基板催、槽都模前汽端與妖基板妖表面證保持顆適當(dāng)鉆的間嬸隙、尤涂料規(guī)一邊辟定量躬供給宗基板測(cè)定槽模平移涂敷方向槽模架間隙傳感器間隙槽模升降涂敷液固定臺(tái)涂敷液罐待機(jī)位置基板吸附PP槽模頭清洗自動(dòng)歸零膜厚前文霜扔筒童圖2舊扔涂寸料機(jī)索的大粗概構(gòu)狀成矩下面燥說(shuō)明托設(shè)備套構(gòu)成塌和功怎能：=1\*GB3址①怎槽模謠本公熔司經(jīng)羊過(guò)對(duì)罷流體乓的分病析，翁為使涂槽模匙橫的頌方向幻的吐路出量填均勻作，對(duì)車(chē)槽模梁的形味狀進(jìn)哨行了江最佳草化設(shè)你計(jì)。禾這樣器，槽遷模本消身不兼附帶廳特別橫的槽建調(diào)整哭配件速。因跳此構(gòu)尿造簡(jiǎn)濕單，個(gè)容易姥分解碼/清按洗/闊組裝艱。而污且槽各模安側(cè)裝在挎模座寨上，唯能夠催簡(jiǎn)單衛(wèi)裝卸偏。粱②邊間隙番傳感隱器貿(mào)如圖疑2所享示，解槽模剪座的誠(chéng)橫的華方向畝安裝奧了2秧臺(tái)間肝隙傳伸感器題，用輕來(lái)測(cè)襲量涂厲敷前脆基板俊表面呆與模手前端薪的距倉(cāng)離。看按照肥其測(cè)拆量結(jié)越果控源制涂稻敷間筑隙。屆涂敷糖后，惜傳感閣器測(cè)斃量涂他膜表芽面和助槽模庸的距截離，汪演算耍與基棚板測(cè)尺定值連的差燥，得插到涂賞敷厚傻度。董③甩基板性吸附哥構(gòu)件賭操作駕臺(tái)上啞安裝字有真鈴空吸習(xí)附構(gòu)虧件，逃可以當(dāng)防止款基板量翹起沸、能筍夠在帆最佳趣狀態(tài)鼠下進(jìn)炎行涂塊敷。逼槽模直涂敷佩是使康模的砌前端毯接近樓基板誰(shuí)進(jìn)行稀的。魄因此蝦為了隨得到搜均勻克厚度鴿的涂嗎敷表徐面，貪需要染精度結(jié)高的警臺(tái)緊駕緊吸藝附基咱板、景不能濟(jì)翹起喚是非垂常重蟻要的伴。吸涼附構(gòu)般造根迷據(jù)涂創(chuàng)敷材討料不泡同有化各種姑操作策，能個(gè)夠隨慚著基蚊板的挪尺寸支自動(dòng)繁調(diào)整譜吸附局區(qū)域盲。堤模的刻移動(dòng)跳/升掀降構(gòu)觸件裹涂敷中時(shí)由柜模平陪移構(gòu)隊(duì)件控輝制已管設(shè)定薪的涂秧敷速上度；經(jīng)前面玩敘述洞的以冒間隙型傳感烘器的遷測(cè)定博數(shù)據(jù)競(jìng)為基萄礎(chǔ)設(shè)討定的玉間隙丙由模掌的升俊降構(gòu)稍件來(lái)茶控制鏟槽模同。魯槽模墻頭的煩清洗哈構(gòu)件漲涂敷穿剛完帥了時(shí)火槽模手頭殘挖留微泰量的思涂液練，此點(diǎn)殘留床涂料鞏會(huì)影哨響后僅面的勉涂敷效再現(xiàn)抗性，定不管倚使用捏何種澆方法紡必須駐除去河。本脫涂料散機(jī)采級(jí)用使縫用刀疤片（慧bl湊ad僅e息）西去除午，柏除去善的液驚體由害真空惠泵回爭(zhēng)收到喬吸引飼罐中政的方季式。忠而且抬這個(gè)鞭構(gòu)件然自動(dòng)日反復(fù)愉運(yùn)轉(zhuǎn)依，也納可以育用于申在待營(yíng)機(jī)過(guò)虧程中嫁防止鋪槽模副頭的杏液體粘的干漿燥。饒⑥痰涂敷畜液的役供給散泵/鞋罐該槽模宰涂敷轎屬于像涂敷閣前事暑先計(jì)床量涂稼液，搖之后軟使基咸板移武動(dòng)的選前計(jì)欠量系禿統(tǒng)。套因此場(chǎng)濕膜招厚度煮的穩(wěn)些定性量受涂桂料液流體的腰供給撥精度陷的影望響很隨大。碼臺(tái)式片涂料蝕機(jī)不位是壓替送方俗式，炸使用警計(jì)量撤精度宅高的剃定量縣泵，合只設(shè)恩定目息標(biāo)厚叮度就乞能夠躺得到貍穩(wěn)定除厚度逼的膜榨。彼⑦金自動(dòng)皇歸零言構(gòu)件妥本構(gòu)賽件中舞定盤(pán)殲表面猾與槽拐模頭擁的距歪離自先動(dòng)恢筋復(fù)到蠅零，賣(mài)可以球作為活涂敷豆前的花初次習(xí)設(shè)定消使用播。槽兔模橫騙的方庭向的仰兩端蹦設(shè)置初了歸垮零傳回感器騾，使思槽模斧的升米降構(gòu)血件自喉動(dòng)下薦降，乞?yàn)槭顾疾勰Ｉ填^的昆高度刊達(dá)到買(mǎi)目標(biāo)嘗高度牌，由鋒歸零什傳感陜器測(cè)幼定高高度、蝶自動(dòng)篩調(diào)整尤升降捐構(gòu)件哄。許3．沒(méi)2走設(shè)備耽的動(dòng)勻作助前面狹講述板了各沸構(gòu)件利的功申能。摩這里懷說(shuō)明遣自動(dòng)駐運(yùn)轉(zhuǎn)番時(shí)的異各構(gòu)銹件的雹動(dòng)作屋。=1\*GB3柿①揪基板冒安裝僵從上釀面工醒序送動(dòng)來(lái)的冷基板掌，由救列入學(xué)固定濱盤(pán)的怕升降末pi盯n或復(fù)者運(yùn)概送滾漆軸接拜收后姿、下咬降、領(lǐng)基板釣置于桑臺(tái)上蠻，由敗定位減裝置稀定位遺。其吹后、坊基板扒吸附戶(hù)構(gòu)件秘吸附普基板倍、矯也正基芳板的刮起翹盯。釣②堪基板晉厚度邀變動(dòng)吵的測(cè)濁定樓待機(jī)掙?duì)顟B(tài)婚下的萄槽模瘡在基柄板上差面移酒動(dòng)、丟下降好到基堪板測(cè)爬定的施位置凱。槽細(xì)模的慘平移滴，由泛模座梁上安路裝的渣間隙脈傳感今器測(cè)閥定基鄰板厚全度的氣變動(dòng)浸。母③早涂敷濃基板串測(cè)定存結(jié)束佛后，囑槽模濃移到狡涂敷類(lèi)開(kāi)始泳位置匙，涂節(jié)敷間續(xù)隙下湖降。聲由泵沾供給尋涂料恢，槽豈模平翁移進(jìn)并行涂膚敷。魔涂敷婚方式基有平瓶均間鴨隙方琴式、恐追從烤間隙框方式厭和固犁定間敵隙方所式三壞種。零根據(jù)久基板曬表面鈔狀態(tài)坊和精產(chǎn)度、蹦涂料今的物御理性惡質(zhì)（飾黏度垂、表室面張顛力）撥、涂猴敷速序度、鞏膜的謊厚度濱來(lái)決惜定。吸④沿模頭尖的清音洗以涂敷析結(jié)束烈后模耀返回錢(qián)待機(jī)乏位置予，頭解的殘婆留液趁體由惹清洗夜構(gòu)件捧撥去吳。始⑤畜濕膜緣厚度誘測(cè)定螺/厚歪度調(diào)傅整輕對(duì)于滋涂敷嘩厚度舉在5巷0忌μ琴m茅以下偵、常瞎溫下添干燥核速度晝慢的構(gòu)涂料釣，與揚(yáng)涂敷費(fèi)后馬取上測(cè)綁定基節(jié)板表偶面厚斑度的究變動(dòng)嘴一樣屋，可逼以用攏間隙纖傳感射器測(cè)凳定膜餃的表磁面。帖此測(cè)剖定值莊與基義板表打面的挖測(cè)定夕值的饒差，社能夠工自動(dòng)拋輸出仆膜厚榆度。威圖3獅顯示姻自動(dòng)舍厚度站測(cè)定芽數(shù)據(jù)打的輸扣出例危子。翁此厚粱度數(shù)監(jiān)據(jù)可膝以用到來(lái)評(píng)乓價(jià)涂窮敷，劑也可滾以用朋于涂護(hù)敷的章微調(diào)猛整。鏟其一鞭是使木用以瓦膜厚梢度為爹準(zhǔn)的宇厚度室反饋旅功能提、自頃動(dòng)調(diào)恒整泵烏的供釀給量弄以達(dá)搏到目娘標(biāo)厚裝度。包使用字厚度討反饋谷功能敬，經(jīng)暢過(guò)2伯次左膏右的詞試涂枯敷能秒夠容個(gè)易地析得到尸目標(biāo)垮濕厚沒(méi)度。載另一絨個(gè)是沖使用聯(lián)始終白端的割厚度兼?zhèn)让嬲╬煎ro掩fi暴le卻）調(diào)忘整功藥能，情能夠愈得到嘉所希斜望的辰涂敷沖開(kāi)始叉和終忘了的費(fèi)pr戲of毯il逼e。虜3．抵3市涂敷近方式著的分查類(lèi)比溫較久一般醫(yī)的涂俱敷方拆式大傾致分鑼為種平坦因化涂胸敷（初le銳ve森li濟(jì)ng里c非oa虛te歌r）擇和輪染廓涂愈敷（掛co碎nt撥ou饞r獻(xiàn)co丈at柳er石）（孕圖4返）旋。平出坦化鈔涂敷五是與掙材料洋無(wú)關(guān)街、涂嬌敷表滑面呈秋平滑勸的面疲的涂虛敷方敲式。參但是催涂敷餡膜的啄厚度弓受材感料表慚面形捆狀的虛影響續(xù)，不聚能均枯勻。擱這就持意味跟著涂蕩敷材僑料的嬌厚度廚精度苗、涂芹料機(jī)勵(lì)計(jì)量誼部件希的機(jī)槽械精購(gòu)度直匪接決祥定膜溜的厚醫(yī)度精浙度。逃輪廓囑涂敷朵是在她材料灣表面喚形狀恩顯露五于涂腳敷表吵面，譜涂敷惕膜的咬厚度滑均勻辱的涂卵敷方像式。儀另外弄按照惱計(jì)量肢系統(tǒng)恐區(qū)分莫，大顏致分準(zhǔn)為前擋計(jì)量陸涂敷睜方式拜和后戲計(jì)量汗涂敷母方式脊。葛前計(jì)后量涂歡敷方么式是門(mén)事先架按照浙涂敷磨幅度狠方向廟均勻骨計(jì)量畫(huà)所希展望的巖涂料椒量，隔其后狗涂敷汽在材振料上盲的方銳式。勻后計(jì)泉量涂掏敷方遼式是蠟將比者希望播量多晴的涂菜料直約接涂屠敷在智材料爆上，泊在涂櫻敷的經(jīng)同時(shí)秋按涂慧敷幅笑度方既向計(jì)搞量。涂敷面的形狀分類(lèi)平坦化涂敷（levelingcoater）輪廓涂敷（contourcoater）與材料表面形狀無(wú)關(guān)、涂后的表面光滑材料表面形狀的輪廓被保留、既是涂后的面計(jì)量的分類(lèi)前計(jì)量涂敷后計(jì)量涂敷平坦化涂敷輪廓涂敷前計(jì)量涂敷照相凸版+穩(wěn)定器槽模涂料機(jī)、屏蔽涂料機(jī)后計(jì)量涂敷欠圓涂料機(jī)、blade涂料機(jī)旋轉(zhuǎn)涂料機(jī)、氣割涂料機(jī)將比希望量多的涂料直接涂敷在材料上，在涂敷的同時(shí)按涂敷幅度方向計(jì)量。是輪廓涂敷、存在剩余的涂料（涂料損失）涂敷方式分類(lèi)事先按照涂敷幅度方向均勻計(jì)量所希望的涂料量，其后涂敷在材料上。不存在剩余的涂料（全量涂敷）塌具有卵涂敷面的形狀分類(lèi)平坦化涂敷（levelingcoater）輪廓涂敷（contourcoater）與材料表面形狀無(wú)關(guān)、涂后的表面光滑材料表面形狀的輪廓被保留、既是涂后的面計(jì)量的分類(lèi)前計(jì)量涂敷后計(jì)量涂敷平坦化涂敷輪廓涂敷前計(jì)量涂敷照相凸版+穩(wěn)定器槽模涂料機(jī)、屏蔽涂料機(jī)后計(jì)量涂敷欠圓涂料機(jī)、blade涂料機(jī)旋轉(zhuǎn)涂料機(jī)、氣割涂料機(jī)將比希望量多的涂料直接涂敷在材料上，在涂敷的同時(shí)按涂敷幅度方向計(jì)量。是輪廓涂敷、存在剩余的涂料（涂料損失）涂敷方式分類(lèi)事先按照涂敷幅度方向均勻計(jì)量所希望的涂料量，其后涂敷在材料上。不存在剩余的涂料（全量涂敷）堪社筋次短肝點(diǎn)抱今殺哥立悄圖今4豈涂敷公方式什的分懸類(lèi)構(gòu)槽模碰方式宇從前姨述的禿試驗(yàn)噴值、稠解析距值、幼實(shí)績(jī)脊值進(jìn)炒行考忍察，譜相對(duì)爐于涂桂敷厚要度，覽在某承種程終度上墊容許趁涂敷稈間隙侍存在多，所渠以基適本上斜說(shuō)是廳輪廓鹽涂敷懷。可繡以說(shuō)技是某錘種程湊度的嚷基板透厚度撇變化果及涂勉料機(jī)俘的機(jī)饅械精是度變萌動(dòng)被留涂敷巧間隙也吸收頭，在綠不會(huì)丈直接涼影響興膜厚倦度的袋狀態(tài)哨下進(jìn)角行涂柜膜的響涂敷鳥(niǎo)方式碧。霜正如字圖3豆自動(dòng)鼻膜厚塵度測(cè)槐定數(shù)肌據(jù)顯什示的短那樣逝，基裂板厚烈度變互化（薦圖下愁部）叼約為扒20罰μ瞇m拍，其伶上面腹經(jīng)過(guò)角涂敷敵的膜仁厚度膨（圖節(jié)上部漠）保凳持一食定的您精度宣。貨遼渡而且壽槽模臉?lè)绞綖┎皇瞧毙D(zhuǎn)嚇那樣驚的后渠計(jì)量滑、是率由內(nèi)諒部開(kāi)肌縫部象橫方盲向均土勻計(jì)遇量吐貨出量狡的前少計(jì)量苦方式凱，具罷有涂魚(yú)料不鹽浪費(fèi)咽、能穩(wěn)夠全悉量涂劫敷的比優(yōu)點(diǎn)待。玩4．啊臺(tái)上此涂料績(jī)機(jī)蟻Ⅱ沉（F彈LO群LI由A）蘆4．姑1辦概念豎FL廳OL摔IA產(chǎn)是T下ab虧le失C悄oa絞te紛r截wi他th歐F尚l(wèi)o還at鬧a唉nd宏L餅in淚ea球r昆Te頑ch根no疾lo差gy勝A倘pp賊li橫ca瞞ti崗on堤的略羊稱(chēng)，裙是對(duì)壺以前芬的臺(tái)蓮上涂映料機(jī)溝Ⅰ冤的平足移系疤統(tǒng)改未進(jìn)后如的第淋二代蒙臺(tái)上偵涂料諸機(jī)（診照片宣1）欄。蘿4．辱2敘設(shè)備贊的特悄征和跳規(guī)格述FL蠻OL贈(zèng)IA羊繼承擱了涂傭料機(jī)匪Ⅰ血的特順征，租此外漢還具板有以礙下特從征。潔1）播能夠股進(jìn)行部亞微畫(huà)細(xì)粒預(yù)水平慌的涂拜敷。情2）幅涂敷簽厚度覺(jué)精度陶為柏±疫3%食。層3）螺能夠個(gè)采用鋼劃時(shí)設(shè)代的唱基板義搬運(yùn)棕系統(tǒng)恒。御4．芳3饞平移仙系統(tǒng)廢的革策新斃涂料災(zāi)機(jī)I撫在槽膨模平宮移系懂統(tǒng)中里使用屆AC警伺服奉等的拉旋轉(zhuǎn)式馬達(dá)塘，球呼狀螺臥絲、諷LM樸導(dǎo)向驗(yàn)等的熟接觸稀式導(dǎo)蠟向系滾統(tǒng)的塔傳達(dá)琴構(gòu)件福。F填LO根LI崗A使聾用了床直動(dòng)睜式馬攤達(dá)，糟采用善非接片觸式基的導(dǎo)痛向。工因此蟲(chóng)飛躍糾性地稿提高郊了平求移穩(wěn)怨定性款和相療對(duì)于踏固定演盤(pán)的料高度傅方向固的穩(wěn)餃定性淹，涂觀敷平楚移方準(zhǔn)向上澡使膜氣厚度辯的精據(jù)度更叨加穩(wěn)紀(jì)定。東以往倉(cāng)的旋碌轉(zhuǎn)型旦馬達(dá)曬+球愈螺絲妨的驅(qū)顯動(dòng)中院，驅(qū)籮動(dòng)傳紛達(dá)部值由于川旋轉(zhuǎn)言偏心灶引兔起旋灑轉(zhuǎn)不齡均、顛速度堵變動(dòng)斬率在衰±2愚%鴉左右豈，采帆用直冒動(dòng)線(xiàn)直性馬液達(dá)后干，偵FL匯OL虜IA京控制糾在甲±0剩.0毀3%拒以?xún)?nèi)止?？啥屹M(fèi)以往橋的L不M導(dǎo)猶向中按構(gòu)造挖上存輝在制康約驅(qū)膚動(dòng)部富分的噴部件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