ITO拆裝靶材作業(yè)指導(dǎo)書(shū)

合肥京東方半導(dǎo)體有限企業(yè)作業(yè)指導(dǎo)書(shū)ITO拆裝靶材作業(yè)指導(dǎo)書(shū)文件編號(hào)文件編號(hào)：BOES3-166版本：A0編制審核批準(zhǔn)文件修改頁(yè)序號(hào)修改章節(jié)/內(nèi)容新版本實(shí)施日期/新文件A006011增加“3.3清理室內(nèi)水塔，4.注意事項(xiàng)”A10125本工序在操作設(shè)備時(shí)具備一定危險(xiǎn)性，操作ITO鍍膜設(shè)備之前，必須熟記本作業(yè)指導(dǎo)書(shū)中要求內(nèi)容并嚴(yán)格執(zhí)行本文件。不然，會(huì)對(duì)人身和設(shè)備造成傷害或損壞！1.安全操作說(shuō)明1.1本崗位操作中存在重大危險(xiǎn)原因見(jiàn)表1：表1崗位重大危險(xiǎn)原因序號(hào)重大危險(xiǎn)原因1傳動(dòng)過(guò)程中，身體接觸機(jī)架造成機(jī)械傷害。2靶高壓電極，設(shè)備運(yùn)行過(guò)程中接觸電極造成觸電危害。3靶有強(qiáng)磁，凡帶有心臟起伏器人員不能靠近以免造成其它傷害。4靶材及屏蔽罩等搬運(yùn)過(guò)程中脫落砸傷。1.2本崗位操作中需佩戴勞動(dòng)防護(hù)用具，見(jiàn)表2：表2崗位應(yīng)佩戴勞動(dòng)防護(hù)用具序號(hào)操作步驟應(yīng)佩戴勞動(dòng)防護(hù)用具1更換靶材，清潔靶材防靜電服、防靜電鞋或電工絕緣鞋、丁腈手套，防護(hù)口罩2設(shè)備運(yùn)行中防靜電服、防靜電鞋或電工絕緣鞋、丁腈手套/絕緣手套、防護(hù)耳塞1.3安全操作注意事項(xiàng)：1.3.1設(shè)備運(yùn)轉(zhuǎn)過(guò)程中，作業(yè)員不得打開(kāi)回轉(zhuǎn)區(qū)推拉門，身體任何部位不得伸入回轉(zhuǎn)區(qū)內(nèi)，不然可能會(huì)與機(jī)架相撞，造成嚴(yán)重人身傷害和設(shè)備故障。1.3.2設(shè)備正常工作時(shí)，任何人不得接觸工藝區(qū)靶材電極，不然可能造成觸電事故。1.3.3靶陰極具備強(qiáng)磁，凡帶有心臟起伏器人員不得進(jìn)入ITO設(shè)備間，以免造成傷害。1.3.4設(shè)備運(yùn)行時(shí)會(huì)產(chǎn)生噪音，長(zhǎng)時(shí)間（半小時(shí)以上）在該設(shè)備間作業(yè)員，必須按要求佩戴防護(hù)耳塞，不然會(huì)使聽(tīng)力受損。1.3.5拆除靶材前，要關(guān)閉鍍膜設(shè)備電源，放掉冷卻水管中多出循環(huán)水后方可拆靶。1.3.6更換新靶材后，必須先要拔除DC電源線接頭，才能用兆歐表對(duì)靶材進(jìn)行測(cè)量，不然可能會(huì)損壞DC電源。1.3.7清潔靶材時(shí)，必須在除塵風(fēng)機(jī)區(qū)域內(nèi)操作，并佩戴防護(hù)口罩和丁腈手套，預(yù)防職業(yè)病危害產(chǎn)生。2.拆裝靶、腔體清潔作業(yè)步驟2.1關(guān)機(jī)開(kāi)腔拆靶作業(yè)步驟2.1.1按《ITO作業(yè)指導(dǎo)書(shū)》中“關(guān)機(jī)操作步驟”將設(shè)備運(yùn)行至“保壓模式”，待分子泵、羅茨泵、機(jī)械泵完全停頓運(yùn)轉(zhuǎn)后將鍍膜機(jī)各腔室門螺絲松開(kāi)，如螺絲較緊可使用專用絲桿旋轉(zhuǎn)螺絲；2.1.2待各腔室門螺絲全部松開(kāi)、腔體內(nèi)溫度降至120℃以下時(shí)方可將設(shè)備由“保壓模式”切換至“放氣模式”，進(jìn)出片室破空閥自動(dòng)打開(kāi)向腔體內(nèi)充大氣，待充大氣完成、破空閥自動(dòng)關(guān)閉后觀察電腦“系統(tǒng)總貌圖”中各腔體內(nèi)PSG真空計(jì)顯示是否為“9.984+e004”，如有連續(xù)改變或?yàn)槠渌禃r(shí)通知設(shè)備人員進(jìn)行檢修，不然無(wú)法正常開(kāi)機(jī)；2.1.3由專員將電氣柜中DC電源插頭拔出、關(guān)閉冷水機(jī)后方可打開(kāi)鍍膜機(jī)腔體門，同時(shí)排出冷卻水塔中冷卻循環(huán)水，循環(huán)水排完后將各個(gè)閥門關(guān)閉；拔出DC電源插頭拔出DC電源插頭2.1.4確認(rèn)腔體內(nèi)溫度降至100℃以下后打開(kāi)各腔體門，穿戴好勞保防護(hù)用具準(zhǔn)備腔體清理及拆裝靶材；2.1.5穿戴好勞保防護(hù)用具后打開(kāi)濺射室門，開(kāi)始拆靶，依次拆下屏蔽罩、壓板；2.1.6拆下壓板需使用酒精無(wú)塵布進(jìn)行擦拭清潔，擦拭完成放置于無(wú)塵布上，預(yù)防粘附顆粒異物，污染腔體甚至造成短路；2.1.7拆下屏蔽罩和壓板后，檢驗(yàn)靶材反面循環(huán)冷卻水管內(nèi)有沒(méi)有水壓，預(yù)防壓力過(guò)高造成背板鼓起變形；2.1.8待檢驗(yàn)確認(rèn)循環(huán)冷卻水無(wú)水壓后方可拆下固定壓條，先拆側(cè)方，然后上、下；此過(guò)程需兩人完成，一人拆壓條，一人扶助靶材預(yù)防靶材脫落；2.1.9拆下后靶材放在水平桌面上，底部墊上潔凈泡沫，由專員進(jìn)行打磨，靶材打磨詳見(jiàn)《靶材清理打磨作業(yè)指導(dǎo)書(shū)》；2.2腔體清理及靶材安裝作業(yè)步驟2.2.1拆靶完成后需使用吸塵器對(duì)腔體及背板底部凹槽進(jìn)行清理，對(duì)銅背板使用無(wú)塵布蘸酒精重復(fù)擦拭確保無(wú)殘?jiān)愇?，不然影響鍍膜真空度及鍍膜效果；檢驗(yàn)銅背板四面縫隙有沒(méi)有漏水異?，F(xiàn)象，如有漏水及時(shí)通知設(shè)備人員進(jìn)行檢修，待異常處理后方可繼續(xù)安裝靶材；2.2.2腔體及背板清理完成后即可安裝靶材；安裝前需使用吸塵器將待安裝靶材表面、凹槽清理一遍，再使用無(wú)塵布酒精將靶材及銅背板擦拭潔凈；2.2.3安裝靶材需2人完成，一人托住靶材依靠在陰極背板上，一人扶助腔體門預(yù)防門搖擺，同時(shí)在陰極背板底部安放一根扎帶（防止靶材與陰極背板直接接觸），扎帶厚度＞2mm；2.2.4將靶材順勢(shì)貼向陰極背板，確認(rèn)靶材銅背板全部嵌進(jìn)陰極背板后裝上上部壓條及底部側(cè)方壓條固定后靶材，然后依次安裝其它固定壓條；在裝靶時(shí)如有靶材背板鼓起較多或靶材無(wú)法嵌進(jìn)陰極背板時(shí)將靶材上下顛倒裝，如若還是無(wú)法安裝檢驗(yàn)背板有沒(méi)有變形并通知技術(shù)人員確認(rèn)；2.2.5在安裝壓條時(shí)壓條不可與靶材接觸，預(yù)防短路，如有個(gè)別壓條變形且有沒(méi)有法更換時(shí)，可使用小扎帶間隔，切不可使用螺絲刀及其它材質(zhì)較硬工具撬動(dòng)，預(yù)防損壞靶材；2.2.6側(cè)方及上方壓條安裝并緊固后將底部扎帶取出，將底部壓條安裝并緊固，安裝后檢驗(yàn)是否有壓條未緊固或螺絲未安裝；2.2.7使用歐姆表，一端接地，另一端接靶材，手動(dòng)勻速轉(zhuǎn)動(dòng)搖柄，當(dāng)歐姆表指針指向＞200MΩ時(shí)，則靶材安裝合格，可繼續(xù)下一步安裝，不然立刻通知技術(shù)人員和設(shè)備人員進(jìn)行檢驗(yàn)檢修；2.2.8壓條安裝緊固且歐姆表測(cè)試合格后進(jìn)行壓板安裝，使用電開(kāi)工具將螺絲緊固；2.2.9壓板安裝完成后使用歐姆表測(cè)量電阻值，測(cè)量方法同壓條安裝后方法，測(cè)試合格即可進(jìn)行下一步安裝，不然通知技術(shù)和設(shè)備人員進(jìn)行檢驗(yàn)檢修；2.2.10壓板安裝合格后使用吸塵器將靶材等再清理一遍，然后安裝屏蔽罩，安裝前屏蔽罩需使用吸塵器清理（屏蔽罩每使用3-4次更換進(jìn)行噴砂）；屏蔽罩安裝側(cè)邊使用螺絲緊固，安裝位置側(cè)面看如圖所表示2.2.11靶材安裝完成后檢驗(yàn)腔體是否潔凈并使用吸塵器清潔，用無(wú)塵布蘸酒精將靶材及腔體門四邊密封圈擦拭一遍，檢驗(yàn)有沒(méi)有遺漏后方可關(guān)上濺射室腔門；2.2.12腔體清潔在拆裝靶材前使用拖把（潤(rùn)濕）將鍍膜機(jī)周圍區(qū)域地面濕潤(rùn)，預(yù)防在清理腔體后飄起灰塵落在清潔后腔體內(nèi)；擦拭清理部位以下：緩沖室加熱絲及背板腔體內(nèi)氣動(dòng)門密封圈腔體門、密封圈緩沖室加熱絲及背板腔體內(nèi)氣動(dòng)門密封圈腔體門、密封圈腔體底部、傳動(dòng)導(dǎo)輪進(jìn)出片室鏡面反射板反面、緩沖室加熱板反面進(jìn)出片室鏡面反射板進(jìn)出片室鏡面反射板反面、緩沖室加熱板反面進(jìn)出片室鏡面反射板腔體底部、傳動(dòng)導(dǎo)輪、腔體門、密封圈、腔體內(nèi)氣動(dòng)門密封、緩沖室加熱絲及背板及反面、進(jìn)出片室鏡面反射板每次開(kāi)腔拆裝靶時(shí)清理一次；進(jìn)出片室鏡面反射板反面將鏡面反射板拆下后清理，每個(gè)月清理一次；2.2.13腔體清潔完成，靶材安裝完成后將各腔體門關(guān)緊；將低溫冷肼冷凝水排出，打開(kāi)盲法蘭，將水倒出后用無(wú)塵布擦潔凈密封圈后擰緊；2.3靶材拆裝完成，準(zhǔn)備開(kāi)機(jī)2.3.1靶材安裝完成后，將靶材電源電極按對(duì)應(yīng)標(biāo)識(shí)依次安裝，檢驗(yàn)水、電、氣管路、閥門是否正常，檢驗(yàn)確認(rèn)無(wú)誤后準(zhǔn)備開(kāi)機(jī)；2.3.2準(zhǔn)備開(kāi)機(jī)步驟詳見(jiàn)《ITO作業(yè)指導(dǎo)書(shū)》中“開(kāi)機(jī)作業(yè)步驟”。3.深層清理3.1每四個(gè)月將靶材陰極循環(huán)水背板拆開(kāi)清理水垢、沉積臟污，此項(xiàng)需設(shè)備、生產(chǎn)、技術(shù)人員共同參加，任何部門崗位不得單獨(dú)進(jìn)行。3.2冷水機(jī)循環(huán)水塔（室外）每七天清理底部水垢雜物，將水塔內(nèi)循環(huán)水排出將底部沉積灰塵進(jìn)行沖洗；檢驗(yàn)球形閥門等是否開(kāi)關(guān)正常，“常開(kāi)”、“常閉”閥門是否開(kāi)關(guān)正常。 3.3冷水機(jī)循環(huán)水塔（室內(nèi)）每隔2個(gè)月清理內(nèi)壁水垢