ITO拆裝靶材作業(yè)指導書

合肥京東方半導體有限企業(yè)作業(yè)指導書ITO拆裝靶材作業(yè)指導書文件編號文件編號：BOES3-166版本：A0編制審核批準文件修改頁序號修改章節(jié)/內(nèi)容新版本實施日期/新文件A006011增加“3.3清理室內(nèi)水塔，4.注意事項”A10125本工序在操作設備時具備一定危險性，操作ITO鍍膜設備之前，必須熟記本作業(yè)指導書中要求內(nèi)容并嚴格執(zhí)行本文件。不然，會對人身和設備造成傷害或損壞！1.安全操作說明1.1本崗位操作中存在重大危險原因見表1：表1崗位重大危險原因序號重大危險原因1傳動過程中，身體接觸機架造成機械傷害。2靶高壓電極，設備運行過程中接觸電極造成觸電危害。3靶有強磁，凡帶有心臟起伏器人員不能靠近以免造成其它傷害。4靶材及屏蔽罩等搬運過程中脫落砸傷。1.2本崗位操作中需佩戴勞動防護用具，見表2：表2崗位應佩戴勞動防護用具序號操作步驟應佩戴勞動防護用具1更換靶材，清潔靶材防靜電服、防靜電鞋或電工絕緣鞋、丁腈手套，防護口罩2設備運行中防靜電服、防靜電鞋或電工絕緣鞋、丁腈手套/絕緣手套、防護耳塞1.3安全操作注意事項：1.3.1設備運轉過程中，作業(yè)員不得打開回轉區(qū)推拉門，身體任何部位不得伸入回轉區(qū)內(nèi)，不然可能會與機架相撞，造成嚴重人身傷害和設備故障。1.3.2設備正常工作時，任何人不得接觸工藝區(qū)靶材電極，不然可能造成觸電事故。1.3.3靶陰極具備強磁，凡帶有心臟起伏器人員不得進入ITO設備間，以免造成傷害。1.3.4設備運行時會產(chǎn)生噪音，長時間（半小時以上）在該設備間作業(yè)員，必須按要求佩戴防護耳塞，不然會使聽力受損。1.3.5拆除靶材前，要關閉鍍膜設備電源，放掉冷卻水管中多出循環(huán)水后方可拆靶。1.3.6更換新靶材后，必須先要拔除DC電源線接頭，才能用兆歐表對靶材進行測量，不然可能會損壞DC電源。1.3.7清潔靶材時，必須在除塵風機區(qū)域內(nèi)操作，并佩戴防護口罩和丁腈手套，預防職業(yè)病危害產(chǎn)生。2.拆裝靶、腔體清潔作業(yè)步驟2.1關機開腔拆靶作業(yè)步驟2.1.1按《ITO作業(yè)指導書》中“關機操作步驟”將設備運行至“保壓模式”，待分子泵、羅茨泵、機械泵完全停頓運轉后將鍍膜機各腔室門螺絲松開，如螺絲較緊可使用專用絲桿旋轉螺絲；2.1.2待各腔室門螺絲全部松開、腔體內(nèi)溫度降至120℃以下時方可將設備由“保壓模式”切換至“放氣模式”，進出片室破空閥自動打開向腔體內(nèi)充大氣，待充大氣完成、破空閥自動關閉后觀察電腦“系統(tǒng)總貌圖”中各腔體內(nèi)PSG真空計顯示是否為“9.984+e004”，如有連續(xù)改變或為其它值時通知設備人員進行檢修，不然無法正常開機；2.1.3由專員將電氣柜中DC電源插頭拔出、關閉冷水機后方可打開鍍膜機腔體門，同時排出冷卻水塔中冷卻循環(huán)水，循環(huán)水排完后將各個閥門關閉；拔出DC電源插頭拔出DC電源插頭2.1.4確認腔體內(nèi)溫度降至100℃以下后打開各腔體門，穿戴好勞保防護用具準備腔體清理及拆裝靶材；2.1.5穿戴好勞保防護用具后打開濺射室門，開始拆靶，依次拆下屏蔽罩、壓板；2.1.6拆下壓板需使用酒精無塵布進行擦拭清潔，擦拭完成放置于無塵布上，預防粘附顆粒異物，污染腔體甚至造成短路；2.1.7拆下屏蔽罩和壓板后，檢驗靶材反面循環(huán)冷卻水管內(nèi)有沒有水壓，預防壓力過高造成背板鼓起變形；2.1.8待檢驗確認循環(huán)冷卻水無水壓后方可拆下固定壓條，先拆側方，然后上、下；此過程需兩人完成，一人拆壓條，一人扶助靶材預防靶材脫落；2.1.9拆下后靶材放在水平桌面上，底部墊上潔凈泡沫，由專員進行打磨，靶材打磨詳見《靶材清理打磨作業(yè)指導書》；2.2腔體清理及靶材安裝作業(yè)步驟2.2.1拆靶完成后需使用吸塵器對腔體及背板底部凹槽進行清理，對銅背板使用無塵布蘸酒精重復擦拭確保無殘渣異物，不然影響鍍膜真空度及鍍膜效果；檢驗銅背板四面縫隙有沒有漏水異?，F(xiàn)象，如有漏水及時通知設備人員進行檢修，待異常處理后方可繼續(xù)安裝靶材；2.2.2腔體及背板清理完成后即可安裝靶材；安裝前需使用吸塵器將待安裝靶材表面、凹槽清理一遍，再使用無塵布酒精將靶材及銅背板擦拭潔凈；2.2.3安裝靶材需2人完成，一人托住靶材依靠在陰極背板上，一人扶助腔體門預防門搖擺，同時在陰極背板底部安放一根扎帶（防止靶材與陰極背板直接接觸），扎帶厚度＞2mm；2.2.4將靶材順勢貼向陰極背板，確認靶材銅背板全部嵌進陰極背板后裝上上部壓條及底部側方壓條固定后靶材，然后依次安裝其它固定壓條；在裝靶時如有靶材背板鼓起較多或靶材無法嵌進陰極背板時將靶材上下顛倒裝，如若還是無法安裝檢驗背板有沒有變形并通知技術人員確認；2.2.5在安裝壓條時壓條不可與靶材接觸，預防短路，如有個別壓條變形且有沒有法更換時，可使用小扎帶間隔，切不可使用螺絲刀及其它材質(zhì)較硬工具撬動，預防損壞靶材；2.2.6側方及上方壓條安裝并緊固后將底部扎帶取出，將底部壓條安裝并緊固，安裝后檢驗是否有壓條未緊固或螺絲未安裝；2.2.7使用歐姆表，一端接地，另一端接靶材，手動勻速轉動搖柄，當歐姆表指針指向＞200MΩ時，則靶材安裝合格，可繼續(xù)下一步安裝，不然立刻通知技術人員和設備人員進行檢驗檢修；2.2.8壓條安裝緊固且歐姆表測試合格后進行壓板安裝，使用電開工具將螺絲緊固；2.2.9壓板安裝完成后使用歐姆表測量電阻值，測量方法同壓條安裝后方法，測試合格即可進行下一步安裝，不然通知技術和設備人員進行檢驗檢修；2.2.10壓板安裝合格后使用吸塵器將靶材等再清理一遍，然后安裝屏蔽罩，安裝前屏蔽罩需使用吸塵器清理（屏蔽罩每使用3-4次更換進行噴砂）；屏蔽罩安裝側邊使用螺絲緊固，安裝位置側面看如圖所表示2.2.11靶材安裝完成后檢驗腔體是否潔凈并使用吸塵器清潔，用無塵布蘸酒精將靶材及腔體門四邊密封圈擦拭一遍，檢驗有沒有遺漏后方可關上濺射室腔門；2.2.12腔體清潔在拆裝靶材前使用拖把（潤濕）將鍍膜機周圍區(qū)域地面濕潤，預防在清理腔體后飄起灰塵落在清潔后腔體內(nèi)；擦拭清理部位以下：緩沖室加熱絲及背板腔體內(nèi)氣動門密封圈腔體門、密封圈緩沖室加熱絲及背板腔體內(nèi)氣動門密封圈腔體門、密封圈腔體底部、傳動導輪進出片室鏡面反射板反面、緩沖室加熱板反面進出片室鏡面反射板進出片室鏡面反射板反面、緩沖室加熱板反面進出片室鏡面反射板腔體底部、傳動導輪、腔體門、密封圈、腔體內(nèi)氣動門密封、緩沖室加熱絲及背板及反面、進出片室鏡面反射板每次開腔拆裝靶時清理一次；進出片室鏡面反射板反面將鏡面反射板拆下后清理，每個月清理一次；2.2.13腔體清潔完成，靶材安裝完成后將各腔體門關緊；將低溫冷肼冷凝水排出，打開盲法蘭，將水倒出后用無塵布擦潔凈密封圈后擰緊；2.3靶材拆裝完成，準備開機2.3.1靶材安裝完成后，將靶材電源電極按對應標識依次安裝，檢驗水、電、氣管路、閥門是否正常，檢驗確認無誤后準備開機；2.3.2準備開機步驟詳見《ITO作業(yè)指導書》中“開機作業(yè)步驟”。3.深層清理3.1每四個月將靶材陰極循環(huán)水背板拆開清理水垢、沉積臟污，此項需設備、生產(chǎn)、技術人員共同參加，任何部門崗位不得單獨進行。3.2冷水機循環(huán)水塔（室外）每七天清理底部水垢雜物，將水塔內(nèi)循環(huán)水排出將底部沉積灰塵進行沖洗；檢驗球形閥門等是否開關正常，“常開”、“常閉”閥門是否開關正常。 3.3冷水機循環(huán)水塔（室內(nèi)）每隔2個月清理內(nèi)壁水垢