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文檔簡介

光學(xué)透鏡電磁透鏡照明光源：電子束成像：電磁透鏡照明光源：可見光成像：光學(xué)透鏡2電子光學(xué)基礎(chǔ)主要內(nèi)容：電子波與電磁透鏡電磁透鏡的像差與分辨本領(lǐng)電磁透鏡的景深與焦長2.1電子波與電磁透鏡光學(xué)顯微鏡分辨率極限電子波的波長電磁透鏡成像原理及特點(diǎn)二、電子波的波長電子速度較低時(shí)：加速電壓很高時(shí)，電子速度極高，相對論修正：不同加速電壓下電子波的波長（經(jīng)相對論修正）小結(jié)：可見光的波長；390—760nm；電子波的波長在常用100—200KV加速電壓下，比可見光小5個(gè)數(shù)量級。三、電磁透鏡A）電磁透鏡的聚焦原理B）電磁透鏡的結(jié)構(gòu)C）電磁透鏡的特點(diǎn)B）電磁透鏡的結(jié)構(gòu)加鐵殼及極靴的目的：減小磁場的廣延度，使大量磁力線集中在透鏡軸向幾毫米的范圍之內(nèi)，提高透鏡聚焦能力。C）電磁透鏡的特點(diǎn)與光學(xué)透鏡相似，其物距L1、像距L2和焦距F之間滿足：與光學(xué)透鏡的區(qū)別；電磁透鏡是一種變焦距、變倍率透鏡，而且其焦距總為正。

（1）球差產(chǎn)生原因：電磁透鏡中心區(qū)域和邊緣區(qū)域?qū)﹄娮拥恼凵淠芰Σ町愒谖锲矫鎯?nèi)由于球差造成的最小散焦斑的半徑為：（2）像散產(chǎn)生原因：電磁透鏡的非旋轉(zhuǎn)對稱在物平面內(nèi)由于像散造成的最小散焦斑的半徑為：電磁透鏡出現(xiàn)橢圓度時(shí)造成的焦距差解決措施：引入矯正磁場進(jìn)行補(bǔ)償（這種裝置也叫消像散器）（3）色差產(chǎn)生原因：入射電子波長的非單一性在物平面內(nèi)由于像散造成的最小散焦斑的半徑為：電子束的能量變化率，取決于加速電壓穩(wěn)定性和電子穿過樣品時(shí)發(fā)生非彈性散射的程度（1）衍射效應(yīng)確定的分辨本領(lǐng)瑞利判據(jù)：孔徑半角越大，分辨本領(lǐng)越高。（2）像差對分辨本領(lǐng)的影響球差像散色差分辨本領(lǐng)影響球差為限制電磁透鏡分辨本領(lǐng)的主要因素：孔徑半角越小，分辨本領(lǐng)越高。（3）由衍射效應(yīng)和球差綜合確定的分辨本領(lǐng)為（2）焦長透鏡像平面允許的軸向偏差，用D

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