標(biāo)準(zhǔn)解讀

《GB/T 36656-2018 電子級三乙基鎵》是一項國家標(biāo)準(zhǔn)，該標(biāo)準(zhǔn)主要針對用于半導(dǎo)體工業(yè)中的高純度三乙基鎵材料進(jìn)行了規(guī)定。三乙基鎵作為一種重要的金屬有機化合物，在制造發(fā)光二極管（LED）、激光器以及其他光電設(shè)備時作為原料使用。

根據(jù)該標(biāo)準(zhǔn)文件，其內(nèi)容涵蓋了產(chǎn)品的技術(shù)要求、測試方法、檢驗規(guī)則以及包裝、標(biāo)志、運輸和儲存等方面的要求。其中，技術(shù)要求部分詳細(xì)描述了電子級三乙基鎵應(yīng)達(dá)到的純度水平及其他物理化學(xué)性質(zhì)指標(biāo)；測試方法章節(jié)則提供了驗證這些性能參數(shù)的具體實驗步驟與條件；而檢驗規(guī)則則明確了產(chǎn)品出廠前需遵循的質(zhì)量控制流程。

此外，《GB/T 36656-2018 電子級三乙基鎵》還特別強調(diào)了對于此類化學(xué)品在包裝、標(biāo)識上的特殊要求，以確保其安全性及便于識別，并且對如何正確地進(jìn)行儲存與運輸也給出了指導(dǎo)性意見，旨在減少因不當(dāng)處理而導(dǎo)致的安全風(fēng)險或品質(zhì)下降問題。


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....

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  • 現(xiàn)行
  • 正在執(zhí)行有效
  • 2018-09-17 頒布
  • 2019-01-01 實施
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文檔簡介

ICS7110020

G86..

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T36656—2018

電子級三乙基鎵

Electronicgradetriethylgallium

2018-09-17發(fā)布2019-01-01實施

國家市場監(jiān)督管理總局發(fā)布

中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會

中華人民共和國

國家標(biāo)準(zhǔn)

電子級三乙基鎵

GB/T36656—2018

*

中國標(biāo)準(zhǔn)出版社出版發(fā)行

北京市朝陽區(qū)和平里西街甲號

2(100029)

北京市西城區(qū)三里河北街號

16(100045)

網(wǎng)址

:

服務(wù)熱線

:400-168-0010

年月第一版

20189

*

書號

:155066·1-61409

版權(quán)專有侵權(quán)必究

GB/T36656—2018

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會提出并歸口

(SAC/TC203)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位江蘇南大光電材料股份有限公司中國電子技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化研究院

:、。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人陳化冰孫明璐王香曹可慰

:、、、。

Ⅰ

GB/T36656—2018

電子級三乙基鎵

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了三乙基鎵的技術(shù)要求試驗方法檢驗規(guī)則包裝標(biāo)志運輸儲存和安全

、、、、、、。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于鎵鎂合金法三氯化鎵法格式試劑法三種化學(xué)合成法制備并經(jīng)精制純化的三乙基

、、

鎵該產(chǎn)品主要用于生長化合物半導(dǎo)體薄膜材料等

。。

分子式

:C6H15Ga

相對分子質(zhì)量按年國際相對原子質(zhì)量計算

:156.91(2013)

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

危險貨物包裝標(biāo)志

GB190

工業(yè)用化學(xué)產(chǎn)品采樣安全通則

GB/T3723

液體化工產(chǎn)品采樣通則

GB/T6680

電子級水

GB/T11446.1

危險貨物運輸包裝通用技術(shù)條件

GB12463

化學(xué)品安全標(biāo)簽編寫規(guī)定

GB15258

常用化學(xué)危險品貯存通則

GB15603

潔凈廠房設(shè)計規(guī)范

GB50073

3技術(shù)要求

三乙基鎵的技術(shù)指標(biāo)應(yīng)符合表要求

1。

表1技術(shù)指標(biāo)

項目指標(biāo)

三乙基鎵純度質(zhì)量分?jǐn)?shù)-2

(C6H15Ga)()/10≥99.99995

銀含量

(Ag)/(μg/g)<0.2

鋁含量

(Al)/(μg/g)<0.5

砷含量

(As)/(g/g)<0.5

金屬元素μ

硼含量

及其他元(B)/(μg/g)<0.4

鋇含量

素含量(Ba)/(μg/g)<0.1

鈹含量

(Be)/(μg/g)<0.02

鉍含量

(Bi)/(μg/g)<

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