ESD靜電防護知識培訓(xùn)課件

ESD靜電防護培訓(xùn)課程Createdby:顏林ESD靜電防護培訓(xùn)課程Createdby:顏林1序言隨著電子科技的高速發(fā)展，我們電子產(chǎn)品的體積也越來越細(xì)小,工藝越來越復(fù)雜,半導(dǎo)體材料的質(zhì)量要求也是越來越高.而靜電對半導(dǎo)體的破壞卻因半導(dǎo)體的高集成化而變得更加容易.靜電防護是一個全員參與的系統(tǒng)工程。為了確保產(chǎn)品的質(zhì)量和提升客戶的滿意度,我們必須在靜電的防護方面作出更有效的行動,來達成我們的質(zhì)量目標(biāo),才能更好地提升公司聲譽、增加公司利潤。序言2ESD防護體系ESD防護體系3ESD防護系統(tǒng)構(gòu)成硬件部分1.人體靜電防護用品2.生產(chǎn)防護設(shè)施3.周轉(zhuǎn)防護用品4.包裝防護用品5.ESD環(huán)境控制系統(tǒng)6.靜電消除設(shè)備7.生產(chǎn)設(shè)備接地8.特殊防靜電用具(品)9.靜電測試設(shè)備軟件部分1.人員培訓(xùn)2.ESD防護文件3.相關(guān)防靜電專業(yè)標(biāo)準(zhǔn)4.規(guī)章制度/操作規(guī)范5.完整的質(zhì)量保證體系6.各種防靜電警示標(biāo)志7.零件/產(chǎn)品儲存和運輸要求ESD防護系統(tǒng)構(gòu)成4ESD防護系統(tǒng)的組成ESD防護系統(tǒng)的組成5ESD課程簡介1、ESD的定義2、ESD標(biāo)識3、靜電的產(chǎn)生4、靜電的危害5、靜電的消除方法6、ESD防護要求7、ESD檢測儀器8、ESD相關(guān)技術(shù)要求ESD課程簡介6一、ESD的定義一、ESD的定義71、ESD中文意思：靜電放電或靜電釋放英文全稱：ElectroStaticDischarge2、什么是靜電？簡單講就是靜止不動的電荷就是靜電3、什么是ESD（靜電放電）？電荷在不同電位物體間相互轉(zhuǎn)移而出現(xiàn)瞬間放電的現(xiàn)象4、ESDS(ElectrostaticDischargeSensitive)靜電敏感度是一種描述產(chǎn)品受ESD損害的敏感程度5、SSD（staticsensitivitydevice）靜電敏感器件是一種易受ESD損壞的靜電敏感元器件(如IC、晶體管等)一、ESD的定義1、ESD中文意思：靜電放電或靜電釋放一、ESD的定義8a.ESD產(chǎn)生原理具有不同靜電電位的物體由于直接接觸或靜電感應(yīng)所引起的物體之間靜電電荷的轉(zhuǎn)移（Electro-Static-Discharge）．通常指在靜電場的能量達到一定程度之后，擊穿其間介質(zhì)而進行放電的現(xiàn)象.a.ESD產(chǎn)生原理具有不同靜電電位的物體由于直接接9b.現(xiàn)實生活中的ESD現(xiàn)象·閃電·冬天脫掉化纖面料衣服，聽到啪啪的響聲·冬天或干燥天氣碰到金屬部件（門鎖）,人體被電到·干燥的氣候里﹐人梳頭發(fā)時﹐頭發(fā)順著梳子飄動·塑膠片吸附碎紙片接觸門鎖被電碎紙片吸附在塑膠紙上雷電b.現(xiàn)實生活中的ESD現(xiàn)象·閃電接觸門鎖被電碎紙片吸附在塑膠10b.放電與電極特性之關(guān)系b.放電與電極特性之關(guān)系11二、EPA、ESD標(biāo)識二、EPA、ESD標(biāo)識12二、EPA、ESD標(biāo)識1、EPA（ElectrostaticProtectedAreas）中文意思：靜電防護區(qū)生產(chǎn)線ESD防護區(qū)警示線ESD防護區(qū)警示牌2、ESD標(biāo)識：（靜電敏感器件標(biāo)識、靜電防護標(biāo)識）靜電敏感器件標(biāo)識靜電防護標(biāo)識此2種標(biāo)識均表示接觸此材料前需做好防靜電工作二、EPA、ESD標(biāo)識1、EPA（Electrostati13三、靜電的產(chǎn)生三、靜電的產(chǎn)生141、摩擦：如接觸、操作、移動產(chǎn)品均會發(fā)生摩擦，均產(chǎn)生了靜電。三、靜電的產(chǎn)生1、摩擦：如接觸、操作、移動產(chǎn)品均會發(fā)生摩擦，均產(chǎn)生了靜電。152、感應(yīng):如產(chǎn)品放在緣絕體旁邊時，產(chǎn)品會感應(yīng)到靜電并發(fā)生靜電放電2、感應(yīng):如產(chǎn)品放在緣絕體旁邊時，產(chǎn)品會感應(yīng)到靜電并發(fā)生靜電163、低濕度:濕度低于30%RH時極易產(chǎn)生靜電3、低濕度:濕度低于30%RH時極易產(chǎn)生靜電174、分離:膠布、標(biāo)簽紙的分離均會產(chǎn)生極高的靜電4、分離:膠布、標(biāo)簽紙的分離均會產(chǎn)生極高的靜電18四、靜電的危害四、靜電的危害19四、靜電的危害?主要分為3類：–電子產(chǎn)品的危害（損壞/損傷）–人身安全（人體電擊）–火災(zāi)、爆炸（油庫起火爆炸）?電子產(chǎn)品的危害分類2種：–突發(fā)性（損壞）：當(dāng)時就破壞產(chǎn)品導(dǎo)致不良產(chǎn)生（主要現(xiàn)象有：功能失效、測試不良等），發(fā)生機率占ESD損壞率為的10%。–潛在性（損傷）：當(dāng)時發(fā)現(xiàn)不了（主要現(xiàn)象有：測試數(shù)據(jù)不穩(wěn)定、產(chǎn)品的壽命縮短、而造成不滿意的客戶），發(fā)生機率占ESD損壞率為的90%。?ESD損壞電子產(chǎn)品最小電壓為20Ｖ四、靜電的危害?主要分為3類：20電子產(chǎn)品受ESD損壞的4個特點?隱蔽性：人體帶電是電子產(chǎn)品靜電損傷主因，但因為人體所感知的靜電放電電壓為2~~3KV﹐小于3KV的人體靜電，對人而言幾乎無法感知。?復(fù)雜性：電子產(chǎn)品有精，細(xì)，小的結(jié)構(gòu)特點而失效分析相當(dāng)復(fù)雜,如此有些靜電損傷現(xiàn)象難以與其它原因造成的損傷加以區(qū)別?隨機性：只要電壓超過或接近靜電敏感電壓閥值,就可能對零件造成損壞;靜電的產(chǎn)生和放電都是瞬間發(fā)生的，及難預(yù)測和防護;在生產(chǎn)的各個環(huán)節(jié)均可能發(fā)生。?潛在性：有些元器件在損傷后并不馬上表現(xiàn)出來,只是性能下降,并不馬上失效;但多次累加放電會給器件造成內(nèi)傷而形成隱患電子產(chǎn)品受ESD損壞的4個特點?隱蔽性：人體帶電是電子產(chǎn)品靜21?主要損壞模式分為3類：–人體模型(HBM)：人員未接地接觸產(chǎn)品,造成產(chǎn)品損壞–機器模型(MM)：產(chǎn)品接觸\放置在未接地的工裝、儀器、設(shè)備上,造成產(chǎn)品損壞–帶電器件模型(CDM)：本身帶電的材料或產(chǎn)品接觸\放置于導(dǎo)體上,造成產(chǎn)品損壞ESD損壞途徑／模式?主要損壞模式分為3類：ESD損壞途徑／模式22人體與靜電電壓的判定標(biāo)準(zhǔn)小于3000V的靜電是看不見、摸不著的可感受的ESD電壓都在±3,000volts以上可感受的ESD電壓都在±6,000volts以上可看到的ESD電壓都在±8,000volts以上人體與靜電電壓的判定標(biāo)準(zhǔn)小于3000V的靜電是看不見、摸不著23各種組件的靜電敏感度各種組件的靜電敏感度24ESD靜電防護知識培訓(xùn)課件25ESD靜電防護知識培訓(xùn)課件26五、靜電的消除方法五、靜電的消除方法27五、靜電的消除方法靜電的消除方法?消除方法主要分為２類：–減少、防止靜電的產(chǎn)生1、屏蔽（靜電衣、帽、包裝袋、周轉(zhuǎn)容器等）2、耗散（ESD防護設(shè)施）3、加濕（溫濕度控制）–消除靜電1、接地（人體、工裝、儀器、設(shè)備、周轉(zhuǎn)設(shè)施接地）2、中和（離子風(fēng)機）五、靜電的消除方法靜電的消除方法28靜電衣帽、包裝袋、周轉(zhuǎn)容器等1、屏蔽靜電衣帽、包裝袋、周轉(zhuǎn)容器等1、屏蔽29ESD防護設(shè)施2、耗散ESD防護設(shè)施2、耗散30溫濕度計＼溫濕度記錄表3、加濕（溫濕度控制）:溫度：23±4℃濕度：60±15%RH溫濕度計＼溫濕度記錄表3、加濕（溫濕度控制）:溫度：23±431人體、工裝、儀器、設(shè)備、周轉(zhuǎn)設(shè)施4、接地人體、工裝、儀器、設(shè)備、周轉(zhuǎn)設(shè)施4、接地32離子風(fēng)機5、中和離子風(fēng)機5、中和33ESD防護裝備?人體防護用品(靜電衣帽、鞋、手環(huán)、手環(huán)報警器、手套、手指套)?生產(chǎn)防護施設(shè)（靜電皮、地板、箱、盒、框、托盤、袋）?工裝、儀器、設(shè)備、設(shè)施接地（烙鐵、電批、設(shè)備、儀器、工裝、臺墊）?周轉(zhuǎn)、包裝防護用品(靜電包裝袋、物料車、物料架)?輔助工具、材料(靜電鑷子、刷子、IC吸筆、棉簽等)?靜電消除設(shè)備（離子風(fēng)機）?生產(chǎn)環(huán)境控制（溫濕度控制）?檢測儀器（人體綜合測試儀、靜電手環(huán)測試儀、表面靜電壓測試儀、離子風(fēng)機測試儀、表面電阻測試儀、萬用表等）ESD防護裝備?人體防護用品(靜電衣帽、鞋、手環(huán)、手環(huán)報警34六、ESD防護要求六、ESD防護要求35ESD防護總要求1.所有進入ESD防護區(qū)域的人員必須按要求穿戴好防靜電著裝，接觸ESD敏感元器件或組件的時必須先做好防靜電工作。2.所有生產(chǎn)過程中使用的工裝、儀器、設(shè)備、工作桌等均必須接地以防止漏電傷人,或損壞晶體材料3.靜電敏感元器件或組件在包裝、儲存、周轉(zhuǎn)等過程中必須使用防靜電袋、箱、盒、框、托盤等,所有ESD包裝相關(guān)材料必須張貼明顯的ESD標(biāo)簽。4.所有靜電防護區(qū)域必須用EPA標(biāo)識牌或ESD膠布標(biāo)示,靜電敏感元器件或組件必須與非ESD材料的工作須用品相隔30CM以上，靜電電壓低于+/-100V。5.所有ESD防護設(shè)施必須定期檢測并做好相應(yīng)的測試記錄,如靜電手環(huán)、鞋、烙鐵等的測試。6.物料車、架等周轉(zhuǎn)車均需接地并有接地鐵鏈及導(dǎo)電輪7.EPA內(nèi)凡涉及到操作靜電敏感元器件或組件的所有桌面都必須是防靜電的桌面。8.靜電敏感元器件或組件的操作、處理區(qū)域不得使用未經(jīng)ESD負(fù)責(zé)人認(rèn)可的非ESD材料，新進、更換新的ESD材料需通知ESD負(fù)責(zé)人檢測，判定合格后方可使用。9.所有從事ESD相關(guān)工作之人員,皆必須接受ESD訓(xùn)練,并經(jīng)檢定考試認(rèn)證合格者方可從事該項工作,認(rèn)證有效期為一年,違反ESD兩次為認(rèn)證失效需重新培訓(xùn)與考核。ESD防護總要求1.所有進入ESD防護區(qū)域的人員必須按要求36靜電衣、帽、鞋穿戴要求?頭發(fā)、衣服、手鐲、手表、戒指等個人物品或非ESD物品不得外露，均需放入靜電衣帽內(nèi)靜電衣、帽、鞋穿戴要求?頭發(fā)、衣服、手鐲、手表、戒指等個人37靜電手環(huán)的佩戴及測試記錄要求?靜電手環(huán)佩戴時，金屬鐵片必須緊貼皮膚，金屬鐵片最好是佩戴在手腕內(nèi)側(cè)部位，使其接觸更加良好。?靜電手環(huán)測試時，佩戴好靜電手環(huán)，手環(huán)插頭插至測試的插孔內(nèi)。?靜電手環(huán)接ESD接地線時，先佩戴好靜電手環(huán)，將鱷魚夾的牙齒部分夾至ESD接地線上（注意：有靜電手環(huán)報警器的區(qū)域不得使用此接地方法）?每班上班前測試（上下午上班前各測試1次）?不良者及時通知組長更換并重新測試及記錄?使用靜電手環(huán)單獨測試靜電手環(huán)靜電手環(huán)的佩戴及測試記錄要求?靜電手環(huán)佩戴時，金屬鐵片必須緊38靜電臺墊接地要求?每班班前檢查自己崗位上的靜電皮接地是否良好，否則通知組長處理?清洗時不得使用酒精、洗水等高強性溶劑，應(yīng)使用DI水、清水等柔性溶劑,更不得在靜電臺墊上亂涂亂劃靜電臺墊接地要求?每班班前檢查自己崗位上的靜電皮接地是否良39靜電物料車、臺車、箱、框接地要求?檢查并保持靜電物料車接地鐵鏈、導(dǎo)電輪直接與靜電地板接觸靜電物料車、臺車、箱、框接地要求?檢查并保持靜電物料車接地40工裝、儀器、設(shè)備接地要求?每班班前檢查自己崗位上的工裝、儀器、設(shè)備接地是否良好，否則通知組長處理工裝、儀器、設(shè)備接地要求?每班班前檢查自己崗位上的工裝、儀41非ESD材料、高靜電材料?面臺上或ESD敏感材料存放區(qū)不得使用非ESD材料?生產(chǎn)須用的物品必須與ESD敏感材料保持30CM以上非ESD材料、高靜電材料?面臺上或ESD敏感材料存放區(qū)不得42包裝、存儲、周轉(zhuǎn)用品的使用要求?包裝、存儲、周轉(zhuǎn)產(chǎn)品時需用靜電箱、袋、刀卡、泡棉、物料架、盒、托盤、框、車等防靜電設(shè)施包裝、存儲、周轉(zhuǎn)用品的使用要求?包裝、存儲、周轉(zhuǎn)產(chǎn)品時需用43人體防護用品的使用要求?所有人員(包括員工、管理人員、客戶、供應(yīng)商、開發(fā)人員等外來人員)接觸靜電敏感元器件或組件時需佩戴靜電手環(huán)，特殊產(chǎn)品需使用防靜電手套與防靜電手指套?生產(chǎn)使用輔助材料需用靜電刷子、鑷子、IC吸筆、棉簽等人體防護用品的使用要求?所有人員(包括員工、管理人員、客戶、44EPA標(biāo)識的張貼要求?EPA標(biāo)識靜電防護區(qū)警示牌：用于大區(qū)域的劃分與標(biāo)識，起警示作用–生產(chǎn)線ESD防護區(qū)警示線：用于規(guī)劃生產(chǎn)線的部分EPA,起警示作用EPA標(biāo)識的張貼要求?EPA標(biāo)識靜電防護區(qū)警示牌：用于大區(qū)45ESD防護標(biāo)識的張貼要求?靜電箱、袋、放置架、盒、托盤、框上均需張貼ESD防護標(biāo)識，沒有ESD標(biāo)識的防護靜電箱、袋、放置架、盒、托盤、框（即無經(jīng)ESD認(rèn)可的）不可用于存儲、包裝靜電敏感元器件、組件ESD防護標(biāo)識的張貼要求?靜電箱、袋、放置架、盒、托盤、框46ESD防護操作要求產(chǎn)品運輸操作要求–物料、產(chǎn)品必須使用有接地鐵鏈、接地線、靜電臺墊的物料車周轉(zhuǎn)或運輸，靜電敏感元器件、組件必須放入靜電箱、盒、袋內(nèi)再周轉(zhuǎn)或運輸，取放時先將物料車接地并佩戴靜電手環(huán)，再操作或處理ESD防護操作要求產(chǎn)品運輸操作要求47ESD防護操作要求清洗操作要求–清洗時需使用防靜電刷，不可使用非ESD刷子，且清洗的動作不易過快,同時需佩戴靜電手環(huán)接觸或操作IC、晶體管等靜電敏感材料前必須佩戴好靜電手環(huán)，再使用防靜電鑷子，不可使用全金屬鑷子,以免出現(xiàn)CDM帶電器件模型放電，損壞產(chǎn)品ESD防護操作要求清洗操作要求接觸或操作IC、晶體管等靜電敏48七、靜電檢測儀器七、靜電檢測儀器49靜電檢測儀器靜電檢測儀器50靜電材料分類?靜電屏蔽材料：表面電阻小于10^4Ω,表面電阻率小于10^4Ω,體積電阻小于10^3Ω,體積電阻率小于10^3Ω的材料?靜電導(dǎo)電材料:表面電阻10^4Ω-10^6Ω,表面電阻率10^4Ω-10^6Ω，體積電阻10^3Ω-10^5Ω,體積電阻率10^3Ω-10^5Ω的材料?靜電耗散材料：表面電阻10^6-10^11Ω，表面電阻率10^6Ω-10^12Ω，體積電阻10^5Ω-10^11Ω,體積電阻率10^5Ω-10^11Ω的材料?絕緣材料：表面電阻值在10^12Ω以上的材料?抗靜電材料：指摩擦不產(chǎn)生靜電，或摩擦產(chǎn)生的靜電電壓小于+/-100V的材料?防靜電材料：耗散材料與導(dǎo)電材料統(tǒng)稱靜電材料分類?靜電屏蔽材料：表面電阻小于10^4Ω,表面電51常用防靜電材料檢測標(biāo)準(zhǔn)?靜電接地棒接地電阻值≤1Ω?EPA的線體、工裝、儀器、設(shè)備接地電阻值≤10Ω?靜電手環(huán)、防靜電臺墊接地扣電阻為0.8-1.2MΩ?烙鐵、電批對地電阻小于20Ω，漏電壓值≤5VAC?靜電臺墊的表面、對地電阻值10^6Ω～10^9Ω?靜電箱、盒、、托盤、物料架表面電阻值10^5Ω～10^11Ω?集成電路包裝管表面電阻值10^4Ω～10^10Ω?防靜電海綿、泡棉、包裝袋表面電阻值10^5Ω～10^11Ω?防靜電鞋系統(tǒng)電阻值10^5Ω～10^8Ω?防靜電手套、手指套表面電阻10^5Ω～10^11Ω?防靜電地板的表面電阻值10^5Ω～10^9Ω?防靜電服的表面電阻值10^5Ω～10^10Ω?防靜電鑷子、刷子、吸筆表面電阻值10^5Ω～10^11Ω常用防靜電材料檢測標(biāo)準(zhǔn)?靜電接地棒接地電阻值≤1Ω52ESD標(biāo)準(zhǔn)?國際靜電放電協(xié)會(ESDA)–國際認(rèn)可的規(guī)范ESDS20.20,ANSI/ESDSX.X-200X,etc..?美國軍標(biāo)–建立較早且嚴(yán)格MIL-STD-1686B(1992)?其它國際標(biāo)準(zhǔn)IEC,IEEE,IPC,etc.?國內(nèi)標(biāo)準(zhǔn)：國標(biāo)，國軍標(biāo)和行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)GB,GJB,SJ,etc.?開發(fā)內(nèi)部ESD文件系統(tǒng)PI-M002-001“ESDControlSpecifications&Requirements”?客戶標(biāo)準(zhǔn)和要求ESD標(biāo)準(zhǔn)?國際靜電放電協(xié)會(ESDA)–國際認(rèn)可53ESD標(biāo)準(zhǔn)?國際靜電放電協(xié)會(ESDA)–國際認(rèn)可的規(guī)范ESDS20.20,ANSI/ESDSX.X-200X,etc..?美國軍標(biāo)–建立較早且嚴(yán)格MIL-STD-1686B(1992)?其它國際標(biāo)準(zhǔn)IEC,IEEE,IPC,etc.?國內(nèi)標(biāo)準(zhǔn)：國標(biāo)，國軍標(biāo)和行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)GB,GJB,SJ,etc.?開發(fā)內(nèi)部ESD文件系統(tǒng)PI-M002-001“ESDControlSpecifications&Requirements”?客戶標(biāo)準(zhǔn)和要求ESD標(biāo)準(zhǔn)?國際靜電放電協(xié)會(ESDA)–國際認(rèn)可54ESD防護文件與記錄表單1.LX/文件-2.記錄表單-3.ESD小組組織架構(gòu)及功能4.ESD巡檢計劃、清單、報告ESD防護文件與記錄表單1.LX/文件-2.記錄表單-3.E55接受培訓(xùn)人員?領(lǐng)導(dǎo)管理人員?設(shè)計工程師?現(xiàn)場工程師?維護、修理技術(shù)人員?倉儲人員?質(zhì)量控制和檢測人員接受培訓(xùn)人員?領(lǐng)導(dǎo)管理人員56八、ESD相關(guān)技術(shù)要求八、ESD相關(guān)技術(shù)要求57八、ESD相關(guān)技術(shù)要求環(huán)境要求?ESD區(qū)域溫濕度要求范圍為：溫度23±4℃，濕度45%~75%。如果環(huán)境的相對濕度降低到40%，高ESD敏感元器件、組件必須包裝和保護。八、ESD相關(guān)技術(shù)要求環(huán)境要求?ESD區(qū)域溫濕度要求范圍為58ESD接地要求?ESD接地分系統(tǒng)可利用故障保護地線或信號參考地線（直流工作地線）作為接地母線，不可用防雷接地線做為接地母線，ESD接地電阻≤1Ω。?不允許交流線路與ESD線路平行鋪設(shè)，條件困難時不允許平行鋪設(shè)長度大于3.5米，以防交流信號對ESD地線造成干擾。?每半年對靜電接地棒檢測1次并記錄ESD接地要求?ESD接地分系統(tǒng)可利用故障保護地線或信號參59設(shè)施要求?人體防護:進入ESD敏感區(qū)域的作業(yè)員工必須穿防靜電服、防靜電鞋，作業(yè)時必須戴好防靜電手環(huán)?設(shè)備要求:ESD區(qū)域所有可能會接觸到ESD敏感物料的設(shè)備及工裝金屬部分必須良好接地，非金屬工裝、工具也必須是防靜電材料制作，表面摩擦電壓不超過+/-100V，靜電電壓不超過+/-10V，并做好定期檢測?作業(yè)區(qū)周邊要求:所有不必要的絕緣體如塑料制成的杯子和個人物品都不準(zhǔn)進入ESD保護區(qū)。在ESD保護區(qū)內(nèi)，所有必要絕緣體，如果靜電大于2kV的，應(yīng)該與低靜電敏感器件保持至少30cm距離；靜電大于10V的物體應(yīng)距離高靜電敏感產(chǎn)品至少30cm。2kV及10V是指，在測量位置處測得的電場值（反映為電壓量）。測試靜電用的手持式儀器與被測物體的距離應(yīng)在儀器標(biāo)定的有效范圍內(nèi)，該測試距離將保證測試結(jié)果的準(zhǔn)確性。?地板:ESD工作區(qū)域地板使用防靜電地板或?qū)щ姷匕澹匕灞砻骐娮栊∮?09Ω，每3個月檢測1次。?工作臺、座椅:ESD區(qū)域工作臺使用耗散臺墊并良好接地，ESD作業(yè)區(qū)域員工使用的座椅要使用防靜電椅或?qū)щ娨?，且與地板直接接觸，其表面電阻小于109Ω?大手推車、小轉(zhuǎn)件車和貨架：ESD保護區(qū)域里所有的大手推車、小轉(zhuǎn)件車和貨架都必須有接地措施，并且在貨架表面的任何一點對地電阻須小于109Ω,如果貨架正被用于ESD敏感器件的測試，必須用一條地線將貨架連接到地以減少電荷積累。用在ESD保護區(qū)域的手推車必須每臺車至少安裝一個接地裝置、一根接地鐵鏈、2只導(dǎo)電轉(zhuǎn)?可移動物料架或轉(zhuǎn)件車ESD防護方式:防靜電轉(zhuǎn)件車除了處于轉(zhuǎn)移或運輸中，應(yīng)將安裝的防靜電專用鄂魚夾，夾持臨近的防靜電專用線（黃綠色）上或?qū)Ｓ媒拥嘏派?，使其可靠接地，卸放掉因移動而產(chǎn)生的靜電；沒有鋪設(shè)防靜電皮的金屬轉(zhuǎn)件車，不可以直接放置裸體ESD物料，設(shè)施要求?人體防護:進入ESD敏感區(qū)域的作業(yè)員工必須穿防靜60ESD區(qū)域標(biāo)識ESD物料存儲與ESD物料生產(chǎn)區(qū)域用靜電保護條與其它區(qū)域分割開來，且在作業(yè)場所有明顯的ESD保護標(biāo)志。?如受條件限制，非ESD物料進入ESD管理區(qū)域，必須要有明確標(biāo)識，且距ESD物料30cm以上獨立存放。?如使用防靜電屏蔽材料包裝的ESD物料，存放和運輸過程中對ESD無特別要求?如使用防靜電材料包裝的ESD物料，可以直接放置在金屬貨架上，但金屬貨架必須良好接地。?對使用防靜電袋封裝的、且已裝箱的ESD物料，貼上防靜電標(biāo)識單獨存放即可。?當(dāng)沒有ESD保護標(biāo)志和敏感標(biāo)志符號的物料應(yīng)視為靜電敏感材料進行操作ESD區(qū)域標(biāo)識ESD物料存儲與ESD物料生產(chǎn)區(qū)域用靜電保護條61來料管理?對具有ESD要求的物料，供應(yīng)商供貨時需采用ESD袋包裝，且包裝袋上需有明顯的ESD保護標(biāo)志，對每一批來料必須經(jīng)IQC抽樣檢測合格后才可接收。?拆具有ESD要求的周轉(zhuǎn)箱或ESD袋時，必須放在具有防靜電措施的工作臺上進行，操作員作業(yè)時要佩戴好合格的靜電手環(huán)才可以進行相關(guān)作業(yè)。?來料檢驗；IQC按照相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)對來料進行檢驗,檢驗項目為：外形,P/N，REV與圖紙一致,外包裝的袋子不能有損壞，ESD袋無臟污、變形、油污和損壞；ESD袋不允許有針孔?當(dāng)沒有ESD保護標(biāo)志和敏感標(biāo)志符號的物料應(yīng)視為靜電敏感材料進行操作。?檢驗儀器、設(shè)備需確保接地良好。來料管理?對具有ESD要求的物料，供應(yīng)商供貨時需采用ESD62ESD防護設(shè)計概述?用戶接觸的區(qū)域，如按鍵和I/O口易于受到ESD影響，因此需要保護。?一種簡單技術(shù)就是把電容放置于通信線來吸收ESD脈沖，它減低了信號速率，增加了驅(qū)動電流消耗。?相比之下，連接地和電源端的快速、低容二極管是個很好的方案。它們可以處理大的峰值電流，具有很小的反向泄漏電流，可以抗多次ESD沖擊而不損壞；它成功地把ESD脈沖從敏感保護器件引開，具有很長的壽命。然而，每一防護線需要一個二極管對。盡管每個器件的價格很低，總的安裝成本和所需的空間使分離方案不適合。?解決電荷注入問題的一個方法是在人體和電子器件之間放置一塊絕緣屏障。只要這個屏障不被擊穿，就不會發(fā)生放電。ESD防護設(shè)計概述?用戶接觸的區(qū)域，如按鍵和I/O口易63靜電防護標(biāo)志靜電防護標(biāo)志64靜電管理難點?靜電無時不在，無處不在?認(rèn)證靜電破壞困難，成本高?防靜電管理需要全員參與，管理層更重要?對防靜電技術(shù)的復(fù)雜性容易被忽視?實施成本高?缺乏精確性?測量技術(shù)限制?靜電固有隨機性強靜電管理難點?靜電無時不在，無處不在65提問時間？提問時間？66ESD靜電防護培訓(xùn)課程Createdby:顏林ESD靜電防護培訓(xùn)課程Createdby:顏林67序言隨著電子科技的高速發(fā)展，我們電子產(chǎn)品的體積也越來越細(xì)小,工藝越來越復(fù)雜,半導(dǎo)體材料的質(zhì)量要求也是越來越高.而靜電對半導(dǎo)體的破壞卻因半導(dǎo)體的高集成化而變得更加容易.靜電防護是一個全員參與的系統(tǒng)工程。為了確保產(chǎn)品的質(zhì)量和提升客戶的滿意度,我們必須在靜電的防護方面作出更有效的行動,來達成我們的質(zhì)量目標(biāo),才能更好地提升公司聲譽、增加公司利潤。序言68ESD防護體系ESD防護體系69ESD防護系統(tǒng)構(gòu)成硬件部分1.人體靜電防護用品2.生產(chǎn)防護設(shè)施3.周轉(zhuǎn)防護用品4.包裝防護用品5.ESD環(huán)境控制系統(tǒng)6.靜電消除設(shè)備7.生產(chǎn)設(shè)備接地8.特殊防靜電用具(品)9.靜電測試設(shè)備軟件部分1.人員培訓(xùn)2.ESD防護文件3.相關(guān)防靜電專業(yè)標(biāo)準(zhǔn)4.規(guī)章制度/操作規(guī)范5.完整的質(zhì)量保證體系6.各種防靜電警示標(biāo)志7.零件/產(chǎn)品儲存和運輸要求ESD防護系統(tǒng)構(gòu)成70ESD防護系統(tǒng)的組成ESD防護系統(tǒng)的組成71ESD課程簡介1、ESD的定義2、ESD標(biāo)識3、靜電的產(chǎn)生4、靜電的危害5、靜電的消除方法6、ESD防護要求7、ESD檢測儀器8、ESD相關(guān)技術(shù)要求ESD課程簡介72一、ESD的定義一、ESD的定義731、ESD中文意思：靜電放電或靜電釋放英文全稱：ElectroStaticDischarge2、什么是靜電？簡單講就是靜止不動的電荷就是靜電3、什么是ESD（靜電放電）？電荷在不同電位物體間相互轉(zhuǎn)移而出現(xiàn)瞬間放電的現(xiàn)象4、ESDS(ElectrostaticDischargeSensitive)靜電敏感度是一種描述產(chǎn)品受ESD損害的敏感程度5、SSD（staticsensitivitydevice）靜電敏感器件是一種易受ESD損壞的靜電敏感元器件(如IC、晶體管等)一、ESD的定義1、ESD中文意思：靜電放電或靜電釋放一、ESD的定義74a.ESD產(chǎn)生原理具有不同靜電電位的物體由于直接接觸或靜電感應(yīng)所引起的物體之間靜電電荷的轉(zhuǎn)移（Electro-Static-Discharge）．通常指在靜電場的能量達到一定程度之后，擊穿其間介質(zhì)而進行放電的現(xiàn)象.a.ESD產(chǎn)生原理具有不同靜電電位的物體由于直接接75b.現(xiàn)實生活中的ESD現(xiàn)象·閃電·冬天脫掉化纖面料衣服，聽到啪啪的響聲·冬天或干燥天氣碰到金屬部件（門鎖）,人體被電到·干燥的氣候里﹐人梳頭發(fā)時﹐頭發(fā)順著梳子飄動·塑膠片吸附碎紙片接觸門鎖被電碎紙片吸附在塑膠紙上雷電b.現(xiàn)實生活中的ESD現(xiàn)象·閃電接觸門鎖被電碎紙片吸附在塑膠76b.放電與電極特性之關(guān)系b.放電與電極特性之關(guān)系77二、EPA、ESD標(biāo)識二、EPA、ESD標(biāo)識78二、EPA、ESD標(biāo)識1、EPA（ElectrostaticProtectedAreas）中文意思：靜電防護區(qū)生產(chǎn)線ESD防護區(qū)警示線ESD防護區(qū)警示牌2、ESD標(biāo)識：（靜電敏感器件標(biāo)識、靜電防護標(biāo)識）靜電敏感器件標(biāo)識靜電防護標(biāo)識此2種標(biāo)識均表示接觸此材料前需做好防靜電工作二、EPA、ESD標(biāo)識1、EPA（Electrostati79三、靜電的產(chǎn)生三、靜電的產(chǎn)生801、摩擦：如接觸、操作、移動產(chǎn)品均會發(fā)生摩擦，均產(chǎn)生了靜電。三、靜電的產(chǎn)生1、摩擦：如接觸、操作、移動產(chǎn)品均會發(fā)生摩擦，均產(chǎn)生了靜電。812、感應(yīng):如產(chǎn)品放在緣絕體旁邊時，產(chǎn)品會感應(yīng)到靜電并發(fā)生靜電放電2、感應(yīng):如產(chǎn)品放在緣絕體旁邊時，產(chǎn)品會感應(yīng)到靜電并發(fā)生靜電823、低濕度:濕度低于30%RH時極易產(chǎn)生靜電3、低濕度:濕度低于30%RH時極易產(chǎn)生靜電834、分離:膠布、標(biāo)簽紙的分離均會產(chǎn)生極高的靜電4、分離:膠布、標(biāo)簽紙的分離均會產(chǎn)生極高的靜電84四、靜電的危害四、靜電的危害85四、靜電的危害?主要分為3類：–電子產(chǎn)品的危害（損壞/損傷）–人身安全（人體電擊）–火災(zāi)、爆炸（油庫起火爆炸）?電子產(chǎn)品的危害分類2種：–突發(fā)性（損壞）：當(dāng)時就破壞產(chǎn)品導(dǎo)致不良產(chǎn)生（主要現(xiàn)象有：功能失效、測試不良等），發(fā)生機率占ESD損壞率為的10%。–潛在性（損傷）：當(dāng)時發(fā)現(xiàn)不了（主要現(xiàn)象有：測試數(shù)據(jù)不穩(wěn)定、產(chǎn)品的壽命縮短、而造成不滿意的客戶），發(fā)生機率占ESD損壞率為的90%。?ESD損壞電子產(chǎn)品最小電壓為20Ｖ四、靜電的危害?主要分為3類：86電子產(chǎn)品受ESD損壞的4個特點?隱蔽性：人體帶電是電子產(chǎn)品靜電損傷主因，但因為人體所感知的靜電放電電壓為2~~3KV﹐小于3KV的人體靜電，對人而言幾乎無法感知。?復(fù)雜性：電子產(chǎn)品有精，細(xì)，小的結(jié)構(gòu)特點而失效分析相當(dāng)復(fù)雜,如此有些靜電損傷現(xiàn)象難以與其它原因造成的損傷加以區(qū)別?隨機性：只要電壓超過或接近靜電敏感電壓閥值,就可能對零件造成損壞;靜電的產(chǎn)生和放電都是瞬間發(fā)生的，及難預(yù)測和防護;在生產(chǎn)的各個環(huán)節(jié)均可能發(fā)生。?潛在性：有些元器件在損傷后并不馬上表現(xiàn)出來,只是性能下降,并不馬上失效;但多次累加放電會給器件造成內(nèi)傷而形成隱患電子產(chǎn)品受ESD損壞的4個特點?隱蔽性：人體帶電是電子產(chǎn)品靜87?主要損壞模式分為3類：–人體模型(HBM)：人員未接地接觸產(chǎn)品,造成產(chǎn)品損壞–機器模型(MM)：產(chǎn)品接觸\放置在未接地的工裝、儀器、設(shè)備上,造成產(chǎn)品損壞–帶電器件模型(CDM)：本身帶電的材料或產(chǎn)品接觸\放置于導(dǎo)體上,造成產(chǎn)品損壞ESD損壞途徑／模式?主要損壞模式分為3類：ESD損壞途徑／模式88人體與靜電電壓的判定標(biāo)準(zhǔn)小于3000V的靜電是看不見、摸不著的可感受的ESD電壓都在±3,000volts以上可感受的ESD電壓都在±6,000volts以上可看到的ESD電壓都在±8,000volts以上人體與靜電電壓的判定標(biāo)準(zhǔn)小于3000V的靜電是看不見、摸不著89各種組件的靜電敏感度各種組件的靜電敏感度90ESD靜電防護知識培訓(xùn)課件91ESD靜電防護知識培訓(xùn)課件92五、靜電的消除方法五、靜電的消除方法93五、靜電的消除方法靜電的消除方法?消除方法主要分為２類：–減少、防止靜電的產(chǎn)生1、屏蔽（靜電衣、帽、包裝袋、周轉(zhuǎn)容器等）2、耗散（ESD防護設(shè)施）3、加濕（溫濕度控制）–消除靜電1、接地（人體、工裝、儀器、設(shè)備、周轉(zhuǎn)設(shè)施接地）2、中和（離子風(fēng)機）五、靜電的消除方法靜電的消除方法94靜電衣帽、包裝袋、周轉(zhuǎn)容器等1、屏蔽靜電衣帽、包裝袋、周轉(zhuǎn)容器等1、屏蔽95ESD防護設(shè)施2、耗散ESD防護設(shè)施2、耗散96溫濕度計＼溫濕度記錄表3、加濕（溫濕度控制）:溫度：23±4℃濕度：60±15%RH溫濕度計＼溫濕度記錄表3、加濕（溫濕度控制）:溫度：23±497人體、工裝、儀器、設(shè)備、周轉(zhuǎn)設(shè)施4、接地人體、工裝、儀器、設(shè)備、周轉(zhuǎn)設(shè)施4、接地98離子風(fēng)機5、中和離子風(fēng)機5、中和99ESD防護裝備?人體防護用品(靜電衣帽、鞋、手環(huán)、手環(huán)報警器、手套、手指套)?生產(chǎn)防護施設(shè)（靜電皮、地板、箱、盒、框、托盤、袋）?工裝、儀器、設(shè)備、設(shè)施接地（烙鐵、電批、設(shè)備、儀器、工裝、臺墊）?周轉(zhuǎn)、包裝防護用品(靜電包裝袋、物料車、物料架)?輔助工具、材料(靜電鑷子、刷子、IC吸筆、棉簽等)?靜電消除設(shè)備（離子風(fēng)機）?生產(chǎn)環(huán)境控制（溫濕度控制）?檢測儀器（人體綜合測試儀、靜電手環(huán)測試儀、表面靜電壓測試儀、離子風(fēng)機測試儀、表面電阻測試儀、萬用表等）ESD防護裝備?人體防護用品(靜電衣帽、鞋、手環(huán)、手環(huán)報警100六、ESD防護要求六、ESD防護要求101ESD防護總要求1.所有進入ESD防護區(qū)域的人員必須按要求穿戴好防靜電著裝，接觸ESD敏感元器件或組件的時必須先做好防靜電工作。2.所有生產(chǎn)過程中使用的工裝、儀器、設(shè)備、工作桌等均必須接地以防止漏電傷人,或損壞晶體材料3.靜電敏感元器件或組件在包裝、儲存、周轉(zhuǎn)等過程中必須使用防靜電袋、箱、盒、框、托盤等,所有ESD包裝相關(guān)材料必須張貼明顯的ESD標(biāo)簽。4.所有靜電防護區(qū)域必須用EPA標(biāo)識牌或ESD膠布標(biāo)示,靜電敏感元器件或組件必須與非ESD材料的工作須用品相隔30CM以上，靜電電壓低于+/-100V。5.所有ESD防護設(shè)施必須定期檢測并做好相應(yīng)的測試記錄,如靜電手環(huán)、鞋、烙鐵等的測試。6.物料車、架等周轉(zhuǎn)車均需接地并有接地鐵鏈及導(dǎo)電輪7.EPA內(nèi)凡涉及到操作靜電敏感元器件或組件的所有桌面都必須是防靜電的桌面。8.靜電敏感元器件或組件的操作、處理區(qū)域不得使用未經(jīng)ESD負(fù)責(zé)人認(rèn)可的非ESD材料，新進、更換新的ESD材料需通知ESD負(fù)責(zé)人檢測，判定合格后方可使用。9.所有從事ESD相關(guān)工作之人員,皆必須接受ESD訓(xùn)練,并經(jīng)檢定考試認(rèn)證合格者方可從事該項工作,認(rèn)證有效期為一年,違反ESD兩次為認(rèn)證失效需重新培訓(xùn)與考核。ESD防護總要求1.所有進入ESD防護區(qū)域的人員必須按要求102靜電衣、帽、鞋穿戴要求?頭發(fā)、衣服、手鐲、手表、戒指等個人物品或非ESD物品不得外露，均需放入靜電衣帽內(nèi)靜電衣、帽、鞋穿戴要求?頭發(fā)、衣服、手鐲、手表、戒指等個人103靜電手環(huán)的佩戴及測試記錄要求?靜電手環(huán)佩戴時，金屬鐵片必須緊貼皮膚，金屬鐵片最好是佩戴在手腕內(nèi)側(cè)部位，使其接觸更加良好。?靜電手環(huán)測試時，佩戴好靜電手環(huán)，手環(huán)插頭插至測試的插孔內(nèi)。?靜電手環(huán)接ESD接地線時，先佩戴好靜電手環(huán)，將鱷魚夾的牙齒部分夾至ESD接地線上（注意：有靜電手環(huán)報警器的區(qū)域不得使用此接地方法）?每班上班前測試（上下午上班前各測試1次）?不良者及時通知組長更換并重新測試及記錄?使用靜電手環(huán)單獨測試靜電手環(huán)靜電手環(huán)的佩戴及測試記錄要求?靜電手環(huán)佩戴時，金屬鐵片必須緊104靜電臺墊接地要求?每班班前檢查自己崗位上的靜電皮接地是否良好，否則通知組長處理?清洗時不得使用酒精、洗水等高強性溶劑，應(yīng)使用DI水、清水等柔性溶劑,更不得在靜電臺墊上亂涂亂劃靜電臺墊接地要求?每班班前檢查自己崗位上的靜電皮接地是否良105靜電物料車、臺車、箱、框接地要求?檢查并保持靜電物料車接地鐵鏈、導(dǎo)電輪直接與靜電地板接觸靜電物料車、臺車、箱、框接地要求?檢查并保持靜電物料車接地106工裝、儀器、設(shè)備接地要求?每班班前檢查自己崗位上的工裝、儀器、設(shè)備接地是否良好，否則通知組長處理工裝、儀器、設(shè)備接地要求?每班班前檢查自己崗位上的工裝、儀107非ESD材料、高靜電材料?面臺上或ESD敏感材料存放區(qū)不得使用非ESD材料?生產(chǎn)須用的物品必須與ESD敏感材料保持30CM以上非ESD材料、高靜電材料?面臺上或ESD敏感材料存放區(qū)不得108包裝、存儲、周轉(zhuǎn)用品的使用要求?包裝、存儲、周轉(zhuǎn)產(chǎn)品時需用靜電箱、袋、刀卡、泡棉、物料架、盒、托盤、框、車等防靜電設(shè)施包裝、存儲、周轉(zhuǎn)用品的使用要求?包裝、存儲、周轉(zhuǎn)產(chǎn)品時需用109人體防護用品的使用要求?所有人員(包括員工、管理人員、客戶、供應(yīng)商、開發(fā)人員等外來人員)接觸靜電敏感元器件或組件時需佩戴靜電手環(huán)，特殊產(chǎn)品需使用防靜電手套與防靜電手指套?生產(chǎn)使用輔助材料需用靜電刷子、鑷子、IC吸筆、棉簽等人體防護用品的使用要求?所有人員(包括員工、管理人員、客戶、110EPA標(biāo)識的張貼要求?EPA標(biāo)識靜電防護區(qū)警示牌：用于大區(qū)域的劃分與標(biāo)識，起警示作用–生產(chǎn)線ESD防護區(qū)警示線：用于規(guī)劃生產(chǎn)線的部分EPA,起警示作用EPA標(biāo)識的張貼要求?EPA標(biāo)識靜電防護區(qū)警示牌：用于大區(qū)111ESD防護標(biāo)識的張貼要求?靜電箱、袋、放置架、盒、托盤、框上均需張貼ESD防護標(biāo)識，沒有ESD標(biāo)識的防護靜電箱、袋、放置架、盒、托盤、框（即無經(jīng)ESD認(rèn)可的）不可用于存儲、包裝靜電敏感元器件、組件ESD防護標(biāo)識的張貼要求?靜電箱、袋、放置架、盒、托盤、框112ESD防護操作要求產(chǎn)品運輸操作要求–物料、產(chǎn)品必須使用有接地鐵鏈、接地線、靜電臺墊的物料車周轉(zhuǎn)或運輸，靜電敏感元器件、組件必須放入靜電箱、盒、袋內(nèi)再周轉(zhuǎn)或運輸，取放時先將物料車接地并佩戴靜電手環(huán)，再操作或處理ESD防護操作要求產(chǎn)品運輸操作要求113ESD防護操作要求清洗操作要求–清洗時需使用防靜電刷，不可使用非ESD刷子，且清洗的動作不易過快,同時需佩戴靜電手環(huán)接觸或操作IC、晶體管等靜電敏感材料前必須佩戴好靜電手環(huán)，再使用防靜電鑷子，不可使用全金屬鑷子,以免出現(xiàn)CDM帶電器件模型放電，損壞產(chǎn)品ESD防護操作要求清洗操作要求接觸或操作IC、晶體管等靜電敏114七、靜電檢測儀器七、靜電檢測儀器115靜電檢測儀器靜電檢測儀器116靜電材料分類?靜電屏蔽材料：表面電阻小于10^4Ω,表面電阻率小于10^4Ω,體積電阻小于10^3Ω,體積電阻率小于10^3Ω的材料?靜電導(dǎo)電材料:表面電阻10^4Ω-10^6Ω,表面電阻率10^4Ω-10^6Ω，體積電阻10^3Ω-10^5Ω,體積電阻率10^3Ω-10^5Ω的材料?靜電耗散材料：表面電阻10^6-10^11Ω，表面電阻率10^6Ω-10^12Ω，體積電阻10^5Ω-10^11Ω,體積電阻率10^5Ω-10^11Ω的材料?絕緣材料：表面電阻值在10^12Ω以上的材料?抗靜電材料：指摩擦不產(chǎn)生靜電，或摩擦產(chǎn)生的靜電電壓小于+/-100V的材料?防靜電材料：耗散材料與導(dǎo)電材料統(tǒng)稱靜電材料分類?靜電屏蔽材料：表面電阻小于10^4Ω,表面電117常用防靜電材料檢測標(biāo)準(zhǔn)?靜電接地棒接地電阻值≤1Ω?EPA的線體、工裝、儀器、設(shè)備接地電阻值≤10Ω?靜電手環(huán)、防靜電臺墊接地扣電阻為0.8-1.2MΩ?烙鐵、電批對地電阻小于20Ω，漏電壓值≤5VAC?靜電臺墊的表面、對地電阻值10^6Ω～10^9Ω?靜電箱、盒、、托盤、物料架表面電阻值10^5Ω～10^11Ω?集成電路包裝管表面電阻值10^4Ω～10^10Ω?防靜電海綿、泡棉、包裝袋表面電阻值10^5Ω～10^11Ω?防靜電鞋系統(tǒng)電阻值10^5Ω～10^8Ω?防靜電手套、手指套表面電阻10^5Ω～10^11Ω?防靜電地板的表面電阻值10^5Ω～10^9Ω?防靜電服的表面電阻值10^5Ω～10^10Ω?防靜電鑷子、刷子、吸筆表面電阻值10^5Ω～10^11Ω常用防靜電材料檢測標(biāo)準(zhǔn)?靜電接地棒接地電阻值≤1Ω118ESD標(biāo)準(zhǔn)?國際靜電放電協(xié)會(ESDA)–國際認(rèn)可的規(guī)范ESDS20.20,ANSI/ESDSX.X-200X,etc..?美國軍標(biāo)–建立較早且嚴(yán)格MIL-STD-1686B(1992)?其它國際標(biāo)準(zhǔn)IEC,IEEE,IPC,etc.?國內(nèi)標(biāo)準(zhǔn)：國標(biāo)，國軍標(biāo)和行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)GB,GJB,SJ,etc.?開發(fā)內(nèi)部ESD文件系統(tǒng)PI-M002-001“ESDControlSpecifications&Requirements”?客戶標(biāo)準(zhǔn)和要求ESD標(biāo)準(zhǔn)?國際靜電放電協(xié)會(ESDA)–國際認(rèn)可119ESD標(biāo)準(zhǔn)?國際靜電放電協(xié)會(ESDA)–國際認(rèn)可的規(guī)范ESDS20.20,ANSI/ESDSX.X-200X,etc..?美國軍標(biāo)–建立較早且嚴(yán)格MIL-STD-1686B(1992)?其它國際標(biāo)準(zhǔn)IEC,IEEE,IPC,etc.?國內(nèi)標(biāo)準(zhǔn)：國標(biāo)，國軍標(biāo)和行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)GB,GJB,SJ,etc.?開發(fā)內(nèi)部ESD文件系統(tǒng)PI-M002-001“ESDControlSpecifications&Requirements”?客戶標(biāo)準(zhǔn)和要求ESD標(biāo)準(zhǔn)?國際靜電放電協(xié)會(ESDA)–國際認(rèn)可120ESD防護文件與記錄表單1.LX/文件-2.記錄表單-3.ESD小組組織架構(gòu)及功能4.ESD巡檢計劃、清單、報告ESD防護文件與記錄表單1.LX/文件-2.記錄表單-3.E121接受培訓(xùn)人員?領(lǐng)導(dǎo)管理人員?設(shè)計工程師?現(xiàn)場工程師?維護、修理技術(shù)人員?倉儲人員?質(zhì)量控制和檢測人員接受培訓(xùn)人員?領(lǐng)導(dǎo)管理人員122八、ESD相關(guān)技術(shù)要求八、ESD相關(guān)技術(shù)要求123八、ESD相關(guān)技術(shù)要求環(huán)境要求?ESD區(qū)域溫濕度要求范圍為：溫度23±4℃，濕度45%~75%。如果環(huán)境的相對濕度降低到40%，高ESD敏感元器件、組件必須包裝和保護。八、ESD相關(guān)技術(shù)要求環(huán)境要求?ESD區(qū)域溫濕度要求范圍為124ESD接地要求?ESD接地分系統(tǒng)可利用故障保護地線或信號參考地線（直流工作地線）作為接地母線，不可用防雷接地線做為接地母線，ESD接地電阻≤1Ω。?不允許交流線路與ESD線路平行鋪設(shè)，條件困難時不允許平行鋪設(shè)長度大于3.5米，以防交流信號對ESD地線造成干擾。?每半年對靜電接地棒檢測1次并記錄ESD接地要求?ESD接地分系統(tǒng)可利用故障保護地線或信號參125設(shè)施要求?人體防護:進入ESD敏感區(qū)域的作業(yè)員工必須穿防靜電服、防靜電鞋，作業(yè)時必須戴好防靜電手環(huán)?設(shè)備要求:ESD區(qū)域所有可