傳感器與檢測技術第六章課件

1、23 七月 2022第6章 霍爾傳感器23 七月 20226.2 霍爾傳感器的測量轉換電路26.1 霍爾傳感器的工作原理16.3 霍爾傳感器的應用3目 錄23 七月 2022知識目標：（1）了解霍爾元件的結構和不同參數(shù)。 （2）掌握霍爾傳感器的工作原理及測量轉換電路。（3）熟悉霍爾傳感器在工程上的應用。教學目標技能目標：（1）能夠使用常用儀器檢查霍爾傳感器性能，判別其好壞。（2）能夠運用所學知識設計制作基本檢測單元模塊電路。（3）能夠對制作的模塊電路進行簡單的測試。23 七月 2022情感目標：（1）養(yǎng)成良好的工作責任心、堅強的意志力和嚴謹?shù)墓ぷ髯黠L。 （2）具有工作與學習良好的交流與團隊合作

2、能力。教學重難點教學重點：霍爾傳感器的工作原理和應用。教學難點：霍爾傳感器的測量電路。23 七月 2022（a）外形結構 （b）圖形符號圖6-1 霍爾元件6.1 霍爾傳感器的工作原理6.1.1 霍爾效應霍爾元件是一種半導體四端薄皮，1、1端稱為激勵電流端，2、2端稱為霍爾電動勢的輸出端，其中2、2端一般應處于霍爾元件側面的中點 23 七月 2022圖6-2 霍爾效應的原理當把霍爾元件置于磁感應強度為B的磁場中時，磁場方向垂直于霍爾元件，當有電流I流過霍爾元件時，在垂直于電流和磁場的方向上將產生感應電動勢EH，這種現(xiàn)象稱為霍爾效應 23 七月 2022霍爾效應演示cdab 當磁場垂直于元件時，電

3、子受到洛侖茲力的作用，向內側偏移，在霍爾元件c、d方向的端面之間建立起霍爾電勢。23 七月 2022I 控制電流（A）B 磁感應強度（T）KH 霍爾元件的靈敏度流入霍爾元件激勵電流端的輸入電流I越大，作用在霍爾元件上的磁感應強度B就越強，霍爾電動勢EH也就越高?；魻栯妱軪H可用下式表示： EH=KH IB23 七月 2022霍爾元件靈敏度的表達式為 （6-2）式中，RH為霍爾常數(shù)；d為霍爾元件的厚度（m）。 霍爾常數(shù)的表達式為 RH = （6-3）式中，為霍爾元件所用材料的電阻率；為霍爾元件所用材料載流子的遷移率。23 七月 2022磁場不垂直于霍爾元件時的霍爾電動勢 若磁感應強度B不垂直于霍

4、爾元件，而是與其法線成某一角度 時，實際上作用于霍爾元件上的有效磁感應強度是其法線方向（與薄片垂直的方向）的分量，即Bcos，這時的霍爾電勢為 EH=KHIBcos 結論：霍爾電勢與輸入電流I、磁感應強度B成正比，且當B的方向改變時，霍爾電勢的方向也隨之改變。如果所施加的磁場為交變磁場，則霍爾電勢為同頻率的交變電勢。23 七月 20226.1.2 霍爾元件主要參數(shù)當霍爾元件自身的溫度升高10 時，流過自身的激勵電流稱為額定激勵電流，用符號Ic表示。由于霍爾電勢隨激勵電流增大而增大，故在應用中總希望選用較大的激勵電流。但激勵電流增大，霍爾元件的功耗增大，元件的溫度升高，從而引起霍爾電勢的溫漂增大

5、，因此每種型號的元件均規(guī)定了相應的最大激勵電流Im ，它的數(shù)值從幾毫安至十幾毫安不等。 以下哪一個激勵電流的數(shù)值較為妥當？5A 0.1mA 2mA 80mA 1.額定激勵電流和最大允許激勵電流23 七月 20222.輸入電阻和輸出電阻輸入電阻Ri是指霍爾元件兩個激勵電流端的電阻。輸出電阻Ro是兩個霍爾電動勢輸出端之間的電阻。輸入電阻和輸出電阻的阻值從幾十歐姆到幾百歐姆。23 七月 2022 3.不等位電勢和不等位電阻 3.不等位電勢和不等位電阻不等位電動勢是指當霍爾元件在額定激勵電流下，當外加磁場為零時，霍爾元件輸出端之間的開路電壓，用符號UM表示。產生這一現(xiàn)象的原因有: 霍爾電極安裝位置不對

6、稱或不在同一等電位面上; 半導體材料不均勻造成了電阻率不均勻或是幾何尺寸不均勻; 激勵電極接觸不良造成激勵電流不均勻分布等。 不等位電勢也可用不等位電阻表示 23 七月 20224.寄生直流電動勢5.霍爾電動勢的溫度系數(shù)當沒有外加磁場，霍爾元件用交流控制電流時，霍爾電極的輸出有一個寄生直流電動勢，它主要是由控制電極和基片之間的非完全歐姆接觸所產生的整流效應造成的?；魻栯妱觿莸臏囟认禂?shù)是指在一定磁感應強度和控制電流下，溫度每變化1 ，霍爾電動勢的變化率。23 七月 2022通過霍爾傳感器的額定激勵電流為6.2 霍爾傳感器的測量轉換電路6.2.1 霍爾傳感器的基本電路23 七月 2022（a）無外

7、接偏置電阻 （b）有外接偏置電阻（c）電源負極與霍爾元件之間 串聯(lián)電阻圖6-5 霍爾傳感器的偏置電路23 七月 20226.2.2 霍爾傳感器的集成電路霍爾傳感器的集成電路具有體積較小、靈敏度高、輸出幅度較大、溫漂小、對電源的穩(wěn)定性要求較低等優(yōu)點，它可分為線性型霍爾傳感器的集成電路和開關型霍爾傳感器的集成電路。23 七月 20221.線性型霍爾傳感器的集成電路線性型霍爾傳感器的集成電路的內部電路是將霍爾元件、恒流源、線性差動放大器制作在同一個芯片上，輸出電壓的單位為V，比直接使用霍爾元件要方便很多。比較典型的線性型霍爾傳感器有UGN3501。 圖6-6 UG3501線性型霍爾傳感器的外形及其內

8、部集成電路23 七月 2022請畫出線性范圍線性型霍爾特性 右圖示出了具有雙端差動輸出特性的線性霍爾器件的輸出特性曲線。當磁場為零時，它的輸出電壓等于零；當感受的磁場為正向（磁鋼的S極對準霍爾器件的正面）時， 輸出為正；磁場反向時，輸出為負。 23 七月 20222.開關型霍爾集成電路 開關型霍爾集成電路是將霍爾元件、穩(wěn)壓電路、放大器、施密特觸發(fā)器、OC門（集電極開路輸出門）等電路做在同一個芯片上。當外加磁場強度超過規(guī)定的工作點時，NPN型OC門由高阻態(tài)（或高電平）變?yōu)閷顟B(tài)，輸出變?yōu)榈碗娖?；當外加磁場強度低于釋放點時，OC門重新變?yōu)楦咦钁B(tài)，輸出高電平。較典型的開關型霍爾器件如UGN3020

9、等。23 七月 2022圖6-9 開關型霍爾傳感器的外形及其內部集成電路圖6-10 施密特觸發(fā)電路的輸出特性曲線23 七月 2022開關型霍爾集成電路的史密特輸出特性 回差越大，抗振動干擾能力就越強。 當磁鐵從遠到近地接近霍爾IC，到多少特斯拉時輸出翻轉？當磁鐵從近到遠地遠離霍爾IC，到多少特斯拉時輸出再次翻轉？回差為多少特斯拉？23 七月 20226.2.3 基本誤差及補償1.不等位電動勢誤差的補償不等位電動勢是霍爾元件誤差中最主要的一種。它產生的原因是（1）制造工藝不可能保證兩個霍爾電極絕對對稱地焊接在霍爾元件的兩側，致使霍爾元件的兩個電極點不能完全位于同一個等位面上。（2）由于半導體的電

10、阻特性（等勢面傾斜）所造成。23 七月 2022不等位電勢誤差的補償可以把霍爾元件視為一個四臂電阻電橋，不等位電勢就相當于電橋的初始不平衡輸出電壓。 23 七月 2022圖6-12 不等位電動勢的補償電路不等位電勢的補償電路23 七月 20222.溫度特性 霍爾元件的溫度特性是指它的內阻及輸出電壓（霍爾電動勢）與溫度之間的關系。 圖6-13 霍爾內阻與溫度的關系 圖6-14 霍爾電動勢與溫度的關系23 七月 20223.溫度誤差及其補償溫度誤差產生的原因主要包括以下兩種：（1）由于霍爾元件是由半導體材料組成的，因此，它對溫度的變化非常敏感。其中，載流子的濃度、遷移率、電阻率等參數(shù)都是溫度的函數(shù)

11、。（2）當溫度發(fā)生變化時，霍爾元件的一些特性參數(shù)，如霍爾電動勢、輸入電阻和輸出電阻等都會發(fā)生變化，從而使霍爾傳感器產生溫度誤差。23 七月 2022溫度補償?shù)姆椒?減小霍爾元件的溫度誤差的方法1.恒溫措施補償2.恒流源溫度補償（1）恒溫措施補償。包括以下兩種： 將霍爾元件放在恒溫器中。將霍爾元件放在恒溫的空調房中。 23 七月 2022(2）恒流源溫度補償?；魻栐撵`敏度與溫度的關系為 （6-5）式中， 為溫度為t0時霍爾元件的靈敏度； 為霍爾電動勢的溫度系數(shù)； 為溫度的變化量（）。 常見的大多數(shù)霍爾元件霍爾電動勢的溫度系數(shù)都是正值，它們的霍爾電動勢將會隨著溫度的升高而增加。如果讓激勵電流端

12、的電流I相應地減小，就能使 的結果保持不變. 23 七月 2022 圖6-15 恒流源溫度補償電路23 七月 20226.3 霍爾傳感器的應用 霍爾電勢是關于I、B、 三個變量的函數(shù)，即 EH=KHIBcos 。利用這個關系可以使其中兩個量不變，將第三個量作為變量，或者固定其中一個量，其余兩個量都作為變量。這使得霍爾傳感器有許多用途。23 七月 2022圖6-16 霍爾位移傳感器的工作原理6.3.1 霍爾位移傳感器23 七月 2022圖6-17 霍爾壓力傳感器的工作原理 1彈簧管； 2磁鐵； 3霍爾壓力傳感器 6.3.2 霍爾壓力傳感器23 七月 2022圖6-18 霍爾加速度傳感器的工作原理6.3.3 霍爾加速度傳感器23 七月 2022 圖6-19 霍爾轉速傳感器的工作原理6.3.4 霍爾轉速傳感器 只要黑色金屬旋轉體的表面存在缺口或突起，就可產生磁場強度的脈動，從而引起霍爾電勢的變化，產生轉速信號。 23 七月 2022霍爾轉速表原理 當齒對準霍爾元件時，磁力線集中穿過霍爾元件，可產生較大的霍爾