特氣系統(tǒng)培訓

1、特氣系統(tǒng)培訓 特氣系統(tǒng)培訓 Gas Cabinet的用途 實現(xiàn)安全的連續(xù)的供應某種特殊氣體,供機臺制程使用,滿足生產用氣要求. 為保證供氣的聯(lián)系性,一般左右盤面均為獨立的操作執(zhí)行體. 能夠在保證一邊供氣的前提下,另外一邊實現(xiàn)Purge, 更換鋼瓶,并直至到Standby. 等待被自動切換當另外一邊氣體被用完后.1.可以實現(xiàn)跟VMB, Scrubber 等設備的聯(lián)動根據(jù)客戶的要求.NH3&SiH4Psi-pounds per square inch 磅/平方英寸（1Mpa=145psi=10.2kg）無水氨氣是一種刺激性、無無水氨氣是一種刺激性、無色儲存于鋼瓶的液化壓縮氣色儲存于鋼瓶的液

2、化壓縮氣體。其存儲壓力為其蒸汽壓體。其存儲壓力為其蒸汽壓114 psi 需避免的情況：需避免的情況： 高溫高溫(大于大于426)，鋼瓶儲存溫度不可，鋼瓶儲存溫度不可高于高于52比重：比重：(空氣空氣1) 0.59不可燃氣體不可燃氣體!但當它在空氣但當它在空氣中的濃度超過中的濃度超過15%時有立即時有立即造成火災及爆炸的危險造成火災及爆炸的危險可自燃氣體可自燃氣體! 硅烷是一種無色、與硅烷是一種無色、與空氣反應并會引起窒息的氣體。該空氣反應并會引起窒息的氣體。該氣體通常與空氣接觸會引起燃燒并氣體通常與空氣接觸會引起燃燒并放出很濃的白色的無定型二氧化硅放出很濃的白色的無定型二氧化硅煙霧煙霧。 其存

3、儲壓力為其蒸汽壓其存儲壓力為其蒸汽壓9001100psi 。如果泄放硅烷時壓力過高或速度如果泄放硅烷時壓力過高或速度過快會引起滯后性的爆炸。泄漏的過快會引起滯后性的爆炸。泄漏的硅烷如沒有自燃會非常危險，不要硅烷如沒有自燃會非常危險，不要靠近?？拷１戎兀海諝獗戎兀海諝?) 1.2不要用鹵化物類滅火器。從最遠不要用鹵化物類滅火器。從最遠的距離用水冷卻暴露在火的距離用水冷卻暴露在火 焰中的焰中的鋼瓶。鋼瓶。特氣系統(tǒng)培訓 硅烷和氨氣主要在太陽能生產上用于等離子化學氣相沉積(PEVCD) 之中. 等離子化學氣相沉積(PEVCD)：PEVCD被使用來在硅片上沉積氮化硅材料，是在300-900的溫度下

4、通過化學反應產生Si3N4的過程。 典型的化學反應為：SiH4 + NH3 Si3N4 + NH3 + N2全自動氣柜安全配置 Fire Sensor(火焰?zhèn)蓽y) High Temp Sensor(高溫傳感器) Auto Guard(鋼瓶接口處的安全裝置) Sprinkler(噴淋裝置) Seismic Detector(防震探測器) Gas Leak Detector(毒氣偵測器) Fire Sensor(火焰?zhèn)蓽y) 定義:此設備是針對一些易燃氣體,易爆氣體或因為其他原因而設 工作原理:當氣柜里面有火焰時氣柜內部會有個超聲波檢測模塊(UV-TRON)探測到一個特殊的頻段,產生報警信號High

5、 Temp Sensor(高溫傳感器) 定義:此設備的目的是為了防止氣柜內部溫度過高而導致危險 工作原理:這是一個雙金屬開關,它由兩個受熱膨脹綠不同的金屬片組成,從而控制電信號開關. 規(guī)格:工作溫度是72,超過72度便產生報警信號.Auto Guard(鋼瓶接口處的安全裝置) 定義:這個裝置的目的是為了保證換鋼瓶的安全.為了防止在沒有進行換瓶前吹掃便把鋼瓶卸下從而導致毒氣泄漏. 工作原理:這是一個氣動裝置.裝置內部有一個控制開關的電磁閥.這個裝置保證了鋼瓶接口處的安全,操作者無法輕易卸下鋼瓶接口,除非是在安全流程下才會打開此裝置,允許操作者卸下接口Sprinkler(噴淋裝置) 定義:當氣柜內

6、部由于火焰或其他原因導致內部溫度超過72時噴淋啟動 工作原理:當氣柜內部溫度上升到一定極限(72)時消防水便會被開啟Gas Leak Detector(毒氣偵測器) 定義:此設備是偵測大氣中毒氣含量的裝置,根據(jù)所設定值來產生報警 工作原理:公司常用的是電化學式的偵測器,通過采樣管從氣柜風管里抽取少量氣體從如偵測器分析毒氣含量,之后排出大氣.(采樣管必須接在排氣管的下面) 安裝:可以采集氣柜內部的氣體進行分析,也可以采集環(huán)境中的氣體進行分析特氣系統(tǒng)培訓各零部件的簡圖及名稱氣柜閥門及零件概述AV1低壓吹掃閥AV9氮氣吹掃微漏閥PT1高壓供氣閥REG調壓閥PT3低壓供氣閥CV單向閥AV4低壓端抽空閥

7、GF墊片式過濾器AV5高壓端抽空閥MV供氣確認手動閥AV6高壓保壓閥AV7氮氣吹掃閥AV8抽空微漏閥氣柜運作流程圖供電 參數(shù)設定 傳感器校零 END 泄壓吹掃 PT1設定值 負壓保壓 供氣 前吹掃 后吹掃 換瓶 正壓保壓系統(tǒng)參數(shù)含義及作用(1)NOITEMDESCRIPTION1Pre-purge 1st time(允許參數(shù):109999)這三次吹掃的目的都是在換鋼瓶前將管道內殘留的有毒氣體排出管道以外. 根據(jù)氣體的屬性來決定, 將這三個吹掃的總和設在不低于150次較合理2Pre-2st LPT Purge(109999)3Pre-purge 2st time(109999)4post-pur

8、ge 1st time(109999)此兩種是發(fā)生在換鋼瓶以后的吹掃,目的是將管道中可能存在的顆粒進行吹掃以達到去除這些顆粒的目的5post purge 2st time(109999)6PositiveL/C Low limit(159999)正壓保壓最低底線值.檢查鋼瓶與豬尾巴有沒有完全被密封.若保壓失敗一般都是鋼瓶接頭沒有旋緊.但也有特殊情況,比如SIH4可能會受溫度的影響系統(tǒng)參數(shù)含義及作用(2)7Vacuum low limit(-159999Psi)吹掃時真空端的壓力底線吹掃時真空端的壓力底線,低于此設定值便產生報低于此設定值便產生報警警.8Positve L/C Time(0999

9、9)正壓保壓時間,檢查鋼瓶與連接頭有沒有完全被密封.若保壓失敗一般都是鋼瓶接頭沒有旋緊.但也有特殊情況,比如SIH4保高壓可能會受溫度的影響9Negative L/C Time(09999)負壓保壓時間.檢查鋼瓶閥門是否關緊,若保壓失敗一般情況下可以確認是鋼瓶閥沒有關緊10P-N2 Low Limit(-159999)高純氮吹掃最低壓力值,低于此設定值產生報警11Leak Check stable time(09999)保壓穩(wěn)壓時間.經過穩(wěn)壓可以讓PT SENSOR保持穩(wěn)定,待數(shù)分鐘穩(wěn)定后方開始保壓,高壓時建議穩(wěn)壓30分鐘以上12Leak change pressure(09999)保壓時允許

10、降低/升高的壓力值.超過此設定值保壓失敗,須重新走保壓流程13Torque wrench pressure力矩扳手提示壓力,只供操作者參考系統(tǒng)參數(shù)含義及作用(3)14PT1 1st Low limit(-159999)當當PT1的顯示值低于這個參數(shù)時的顯示值低于這個參數(shù)時,屏幕會出屏幕會出現(xiàn)字幕提醒用戶做好換鋼瓶的準備現(xiàn)字幕提醒用戶做好換鋼瓶的準備15PT1 2nd Low limit(-159999)當PT1的顯示值低于這個參數(shù)時并且滿足切換條件時.系統(tǒng)會進行鋼瓶的切換,報警消失16PT1 1st High limit(-159999)此參數(shù)是為了防止一些受加熱的氣體由于溫度太高導致壓力過高

11、(如NH3)設定的報警點17PT3 1st Low limit(-159999)供氣調壓之后PT3端的壓力1段報警,這時請調節(jié)調壓閥增大壓力18PT3 2st Low limit(-159999)供氣調壓之后PT3端的壓力2段報警,這時請調節(jié)調壓閥增大壓力系統(tǒng)參數(shù)含義及作用(4)19PT3 1st High limit(-15999)PT3低壓端壓力過高產生的一段報警低壓端壓力過高產生的一段報警.此此時屏幕會指示操作者調節(jié)調壓閥來解決時屏幕會指示操作者調節(jié)調壓閥來解決此問題此問題20PT3 2st High limit(-15999)PT3低壓端壓力過高產生的二段報警低壓端壓力過高產生的二段報

12、警.此此時供氣將被臨時停止時供氣將被臨時停止,系統(tǒng)會進行短暫的系統(tǒng)會進行短暫的泄壓步驟泄壓步驟.待壓力正常后才恢復工作待壓力正常后才恢復工作21W/S 1st Low limit(0999.9)此參數(shù)多用于以重量來切換的氣體如NH3,當達到此設定值時系統(tǒng)報警提示即將切換鋼瓶22W/S 2st Low limit(0999.9)此參數(shù)為重量切換的臨界值參數(shù).當重量低于此值時,并且滿足切換條件,系統(tǒng)正常切換左右鋼瓶氣柜的安全性能(1)各類安全裝置各類安全裝置(切斷氣柜切斷氣柜)供氣狀態(tài)供氣狀態(tài)系統(tǒng)執(zhí)行的命令系統(tǒng)執(zhí)行的命令UVIR（光感應器）任何供氣狀態(tài)所有氣動閥關閉/氣柜頂部紅色指示燈閃爍/蜂鳴器

13、持續(xù)報警/屏幕上出現(xiàn)報警字幕且無法被消除(重啟電源并排除故障后方能開機)Emergency StopHi-temperature sensorPT3 2st High Limit 氣柜安全性能(2)各類安全裝置各類安全裝置(提示報警提示報警)供氣狀態(tài)供氣狀態(tài)系統(tǒng)執(zhí)行的命令系統(tǒng)執(zhí)行的命令 所有供氣狀態(tài)氣柜頂燈:橙色指示燈亮/蜂鳴器間歇性報警/屏幕上出現(xiàn)報警提示(待問題解決后可消除報警字幕)Exhaust Fail（抽風失?。㎜/D 1st alarmL/D 2st alarmPLC CPU memory errorPLC battery low error常見的故障及處理方法(1)NO狀況狀況原

14、因原因措施措施12st壓力高于設定值由于顆粒導致調壓閥內漏PT不穩(wěn)定或損壞氣柜內部溫度突然變化更換調壓閥進行PT校準或更換調整氣柜內部溫度2在供氣之前(備用狀態(tài))PT1壓力下降由于顆粒導致氣動閥門內漏PT不穩(wěn)定或損壞氣柜內部溫度突然變化更換調壓閥進行PT校準或更換調整氣柜內部溫度3在1st調壓時壓力達不到設定值鋼瓶內壓力過低PT不穩(wěn)定或損壞報警設定的值有問題更換鋼瓶進行PT校準或更換重新調整設定值4排風負壓表沒有讀數(shù)主排風的負壓力過低排風閥被關閉負壓表損壞調排風的壓力值打開排風閥更換負壓表5設備運行壓力過低調壓閥沒調整到正常壓力過濾器被堵塞在2st減壓時有泄漏調整調壓閥壓力更換過濾器進行保壓確

15、認2st是否存在問題NO狀況狀況原因原因措施措施6在通電運行的狀態(tài)輸送壓力沒有變化沒有氣供給氣動閥驅動供給氣動閥驅動的壓力過低由于電磁閥損壞導致沒有氣體檢查供給氣動閥的氣源是否充足調整供給氣動閥驅動的壓力值檢查電磁閥,并更換7在吹掃的時候低壓報警發(fā)生氮氣吹掃的閥沒打開特氣室內氮氣吹掃端壓力過低打開氮氣吹掃的閥調整氮氣吹掃壓力8管道內有發(fā)生泄露當你沒有為管道做保壓測試時可能會由于某些原因導致泄漏此時高溫,煙霧,火焰?zhèn)蓽y會啟動當更換零件,鋼瓶后未做壓力測試如果是毒性氣體必須裝備偵測器9在鋼瓶接口處發(fā)生泄漏火焰,高溫報警探測到高溫后產生報警.鋼瓶接口處沒有安裝墊片或沒有密封將鋼瓶接口處加入新墊片在操

16、作時裝備PPE等安全裝備10在更換零件的時候發(fā)生泄漏當更換零件時沒有經過置換管路直接拆卸裝置時會發(fā)生泄漏在操作時必須兩人同時在場,并裝備PPE常見的故障及處理方法(2)常見電信號故障及處理方法NO狀況狀況原因原因措施措施1電源出現(xiàn)錯誤主電源被打斷電路保護跳確認主電源工作狀態(tài)（AC100-240 50/60Hz）重新打開空氣開關電源2觸摸屏電源被停止主電源出現(xiàn)問題線路出線問題檢查電源和線路的狀態(tài)3零點值顯示不正確電源錯誤磅秤損壞信號連接出錯零度值出錯檢查是否輸入24V輸出4-20MA重新調整零點值檢查信號線連接處磅秤顯示值不對電源錯誤磅秤損壞信號連接出錯輸出范圍錯誤檢查是否輸入24V輸出4-20

17、MA重新調整零點值檢查信號線連接處4氣動閥錯誤N2輸送問題電磁閥出現(xiàn)問題檢查N2驅動的壓力時5-7公斤檢查是否24V輸入報警提示及相應設備的狀態(tài)(1)報警提示信息狀態(tài)參數(shù) EMSEmergency StopShut-down 設備出場已設定 安全裝置Safety Module FailShut-down設備出場已設定Exhaust FailAlarm設備出場已設定High Temp Sensor Alarm(UV/IR)Shut-down可自行設定High Temp Sensor AlarmShut-down可自行設定Smoke Sensor AlarmShut-downN/AL/D 2st

18、AlarmAlarm可自行設定Remote Shutdown OnShut-downN/A報警提示及相應設備的狀態(tài)(2)報警提示信息狀態(tài)參數(shù) 報警提示裝置GMS ShutdownShut-down設備出場已設定CDA Low AlarmAlarm設備出場已設定Z-purge FailAlarm設備出場已設定Heater Low Temp AlarmAlarm可自行設定Heater High Temp AlarmAlarm可自行設定L/H A Sensor ErrorAlarm可自行設定L/H B Sensor ErrorAlarm可自行設定L/D 1st AlarmAlarm可自行設定報警提示及相應設備的狀態(tài)(3)報警提示信息狀態(tài)參數(shù) 供氣狀態(tài)的報警W/S 1st Low LimitAlarm可自行設定W/S 2st Low LimitAlarm可自行設定PT1 1st Low AlarmAlarm可自行設定PT1 2st Low AlarmAlarm可自行設定PT3 1st Low AlarmAlarm可自行設定