工廠無塵車間管理規(guī)定

1、文件名稱文件控制程序版本Rev.1文件編號保密等級制/修訂/日期：校對/日期：審核/日期：核準/日期：發(fā)文/日期：受控狀態(tài)（蓋章）：分發(fā)號：會簽部門會簽人員外延制造部芯片制造部人資行政部采購部銷售管理部生管部廠務(wù)設(shè)備部客服部運宮中心技木中心品管部文件名稱文件控制程序版本Rev.1文件編號保密等級版別日期撰寫者變更要旨Rev.12018-8-5張屏躍新增文件名稱文件控制程序版本Rev.1文件編號保密等級1.0目的：為創(chuàng)建整潔安全生產(chǎn)環(huán)境及規(guī)范人員對無塵室的正確操作，確保無塵室環(huán)境符合生產(chǎn)條件之要求特制定本規(guī)定。2.0范圍：凡進入無塵室內(nèi)所有人、機器、物品、原物料、產(chǎn)品等，均屬本規(guī)范管制范圍3.0

2、權(quán)責：4.0定義：5.0作業(yè)程序：5.1 人員管理規(guī)定5.1.1 不定期對員工進行無塵室的管理規(guī)定培訓。5.1.2 進入無塵室時必須穿戴自己的無塵衣帽和無塵鞋，不可隨意穿戴他人無塵衣帽和 無塵鞋5.1.3 外賓及廠商人員如需進入無塵室時，需要經(jīng)生產(chǎn)部門最高主管許可后并有本司人 員陪同下方可進入5.2 更衣室管理規(guī)定更衣室分為換鞋處、男一更、男二更、女一更、女二更。以下簡述各區(qū)域作用，及員工 進入無塵車間的流程及規(guī)范。5.2.1 各區(qū)域作用：5.2.1.1 換鞋處：為員工放置自己鞋子的區(qū)域。5.2.1.2 一更：為員工放置自己外套及個人物品的區(qū)域。5.2.1.3 二更：為員工更換無塵服、無塵鞋的

3、區(qū)域。5.2.2 更衣室使用流程5.2.2.1 換鞋 員工從樓梯口進入廠房，通過設(shè)備進口通道，進入換鞋區(qū)，在換鞋區(qū)門口先脫鞋，并將鞋子拿起放至鞋柜，如圖1箭頭標示步驟1所示。5.2.2.2 至一更放置外套等個人物品從換鞋區(qū)進入一更，將外套及其他個人物品放置個人柜子，個人柜子不要放置貴重物品以免丟失，如圖1步驟2。5.2.2.3 至二更穿戴無塵服及無塵鞋如圖1步驟3。文件名稱文件控制程序版本Rev.1文件編號保密等級圖15.3 無塵室內(nèi)著裝規(guī)定5.3.1 進入無塵室的人員需穿著合適的無塵服、鞋子等，以免無塵衣服鞋子過小或者過 大而讓穿著者感到不適。5.3.2 進入無塵室穿戴著裝要求：穿無塵服一穿

4、無塵鞋一戴頭套一拉好拉鏈，要求頭發(fā) 無外露、頭套塞入衣帽內(nèi)，拉鏈要拉到頭并貼好魔術(shù)貼、無塵服袖貼要綁好、褲腳要塞入無 塵鞋筒內(nèi)，至風淋門口戴口罩、手套，長頭發(fā)的要帶發(fā)套，防止頭發(fā)露出。5.3.3 戴口罩、手套步驟要求：先戴口罩，口罩需遮住口鼻，再戴手套，選擇合適自己 的手套型號（M S、L）,從手套開口處拿起手套穿戴，過程中手不要碰到手套的指套部分。文件名稱文件控制程序版本Rev.1文件編號保密等級裝套鏈口頭拉圖2進入無塵室穿戴標準5.4 進入風淋室規(guī)定5.4.1 風淋室入口和出口的門不可同時打開5.4.2 空氣吹除未停止時，禁止將風淋室的門打開5.4.3 進入無塵室時，每次進入風淋室的人數(shù)不

5、得超過4人，出來時限制10人以下5.4.4 在風淋室內(nèi)，須按照規(guī)定位置站立，不可移動風口的出風角度5.4.5 空氣沐浴時，須雙手舉高，轉(zhuǎn)動身體并輕拍打無塵服，以利灰塵吹除，無塵服不 可接觸墻壁和地板5.4.6 進出風淋室時，雙腳須多次踩踏粘塵墊，以利清除鞋底灰塵和異物5.4.7 空氣沐浴的吹除時間為20秒/次，吹除結(jié)束3秒后才可開門進入無塵室5.5 無塵室內(nèi)紀律規(guī)定5.5.1 嚴禁攜帶食品、飲料、零食及私人物品進入無塵室5.5.2 進入無塵室的人員不可化濃妝、圖指甲油、留長指甲文件名稱文件控制程序版本Rev.1文件編號保密等級5.5.3 無塵室內(nèi)嚴禁嬉戲打鬧、奔跑、聚眾聊天、大聲喧鬧，聽音樂、

6、打瞌睡、看報刊 雜志等與工作無關(guān)的事項。5.5.4 剛做完劇烈運動，應(yīng)靜止10分鐘后方可進入無塵室，飲酒者嚴禁進入無塵室5.5.5 戴上手套后嚴禁觸膜臉部或人體任何其他裸露的皮膚，防止油脂污染，如不小心 觸摸到須立即更換新手套；5.6 無塵室內(nèi)使用物品規(guī)定5.6.1 進入無塵室的任何物品必須經(jīng)過清潔處理后方可進入5.6.2 原物料進入車間前，必須將外包裝拆除（特殊原因無法拆除外包裝的要將外包裝 擦拭干凈），并將外表面擦拭干凈后通過貨淋進入無塵室，避免將污染源帶進無塵室。5.6.3 設(shè)備、儀器、備件等大件物品無法通過貨淋的，需要在進入車間前進行外表面清 潔，確保干凈后方可進入。5.6.4 未經(jīng)允

7、許嚴禁在車間內(nèi)使用個人電腦、手機、U盤、移動硬盤等可存儲設(shè)備，嚴禁在車間內(nèi)使用相機或者手機拍照和攝像。 必須使用U盤等存儲設(shè)備時需要經(jīng)過我司IT認證 后方可使用。5.6.5 車間內(nèi)所有的USBg口禁止使用，更不允許用 USB口進行充電。5.6.6 未經(jīng)許可嚴禁將車間內(nèi)的物品私自帶出。5.6.7 車間內(nèi)嚴禁明火5.7 無塵室內(nèi)施工規(guī)定5.7.1 進入無塵室施工前要向部門主管提出施工申請，取得同意并發(fā)放施工證（外來人員用訪客證換取施工證，施工結(jié)束后將施工證換回訪客證）后方可進行施工5.7.2 施工人員進入無塵室要按照著裝規(guī)定穿好無塵服，并進行必要的安全防護5.7.3 施工必要的工具和材料須按照無塵

8、室內(nèi)使用物品規(guī)定進行必要的清潔處理后方 可進入無塵室5.7.4 施工房間的設(shè)備、地面和墻壁等要做必要的防護措施，確保房間內(nèi)的設(shè)施不會損 壞。施工期間需要我司人員現(xiàn)場全程陪同。5.7.5 施工結(jié)束后，施工人員要將現(xiàn)場清理干凈，并將施工留下的垃圾一并帶出無塵室。5.7.6 車間內(nèi)施工如需用到明火，必須要廠務(wù)安全部門的人員在場監(jiān)督。5.8 無塵衣、帽、鞋清洗規(guī)定5.8.1 無塵衣帽必須按照要求懸掛在衣架上， 無塵鞋按照編號放置在鞋架上，不得隨意文件名稱文件控制程序版本Rev.1文件編號保密等級放置5.8.2 無塵衣帽和無塵鞋每周清洗一次， 發(fā)現(xiàn)無塵服臟污必須第一時間更換，絕對禁止穿著臟污的無塵服作業(yè)

9、。車間只允許穿著同一種標識顏色的無塵服。5.8.3 品保要定期對無塵服進行檢測，包括清洗后的潔凈度是否合格，無塵服的防靜電 功能是否達標。5.9 無塵室潔凈度規(guī)定5.9.1 溫濕度監(jiān)測程序5.9.1.1 測頻率：2次/天（早晚班各一次）5.9.1.2 監(jiān)測地點：車間正中間位置（勿在排風口附近、人員聚集地）5.9.1.3 記錄員：品保人員5.9.1.4 填寫無塵室環(huán)境監(jiān)測表無塵室溫濕度監(jiān)控標準：溫度：22 c ± 2C 濕度：55%RHt 10%5.9.2 塵埃粒子監(jiān)測程序5.9.2.1 量測頻率：2次/天（早晚班各一次）5.9.2.2 量測地點：車間正中間位置（勿在排風口附近、人員聚

10、集地）5.9.2.3 測量高度：離地1.2米5.9.2.4 測量員及記錄員：品保人員5.9.2.5 測量步驟：見xxxxx文件5.9.2.6 填寫無塵室環(huán)境監(jiān)測表5.9.3 如廠務(wù)系統(tǒng)發(fā)生變化，廠務(wù)要負責通知品保，品保立即對環(huán)境進行監(jiān)測，確保無 異常。5.9.4 無塵室潔凈度定義及監(jiān)控標準無塵室塵埃粒子監(jiān)控點及參考標準粒徑廠區(qū)監(jiān)控點潔凈等級規(guī)格上限0.5um (單位：pcs/m3)光刻T級35,200 (1000pcs/ft3)化學清洗T級352,000 (1000pcs/ft 3)蒸鍍T級352,000 (1000pcs/ft 3)晶圓測試T級352,000 (1000pcs/ft 3)DBRT級352,000 (1000pcs/ft 3)研磨一萬級3,520,000(10,000pcs/ft 3)切割一萬