半導(dǎo)體光電檢測(cè)器件_第1頁(yè)
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1、第三節(jié)第三節(jié) 半導(dǎo)體光電檢測(cè)器件半導(dǎo)體光電檢測(cè)器件光電導(dǎo)型光電器件:光敏電阻光電導(dǎo)型光電器件:光敏電阻光生伏型光電器件:光電池光生伏型光電器件:光電池 光電二極管光電二極管 光電三極管光電三極管一、一、光敏電阻光敏電阻(一)光敏電阻的結(jié)構(gòu)及工作原理(一)光敏電阻的結(jié)構(gòu)及工作原理 光敏電阻又稱光導(dǎo)管,為純電阻元件,其光敏電阻又稱光導(dǎo)管,為純電阻元件,其工作原理:工作原理: 基于光電導(dǎo)效應(yīng),其阻值隨光照增強(qiáng)而基于光電導(dǎo)效應(yīng),其阻值隨光照增強(qiáng)而減小。減小。 當(dāng)光照射到光電導(dǎo)體上時(shí),若光電當(dāng)光照射到光電導(dǎo)體上時(shí),若光電導(dǎo)體為導(dǎo)體為本征半導(dǎo)體材料本征半導(dǎo)體材料,為實(shí)現(xiàn)能,為實(shí)現(xiàn)能級(jí)的躍遷,入射光的能量必

2、須大于級(jí)的躍遷,入射光的能量必須大于光導(dǎo)體材料的禁帶寬度光導(dǎo)體材料的禁帶寬度E Eg g,即,即 h hE Eg (eV) g (eV) 式中式中和和入射光的頻率和波長(zhǎng)。入射光的頻率和波長(zhǎng)。從而使光電導(dǎo)體電導(dǎo)率增加從而使光電導(dǎo)體電導(dǎo)率增加半導(dǎo)體吸收光子而產(chǎn)生的光電效應(yīng),半導(dǎo)體吸收光子而產(chǎn)生的光電效應(yīng),只限只限于光照的表面薄層,于光照的表面薄層,雖然產(chǎn)生的載流子雖然產(chǎn)生的載流子也有少數(shù)擴(kuò)散到內(nèi)部,但擴(kuò)散深度有限也有少數(shù)擴(kuò)散到內(nèi)部,但擴(kuò)散深度有限因此光電導(dǎo)體一般都做成薄層因此光電導(dǎo)體一般都做成薄層電極一般采用疏狀圖案電極一般采用疏狀圖案。 由于在間距很近的電極之間有由于在間距很近的電極之間有可能采

3、用大的靈敏面積,可能采用大的靈敏面積,所以提高所以提高了光敏電阻的靈敏度。了光敏電阻的靈敏度。A金屬封裝的硫化鎘光敏電阻結(jié)構(gòu)圖金屬封裝的硫化鎘光敏電阻結(jié)構(gòu)圖光導(dǎo)電材料光導(dǎo)電材料絕緣襯低絕緣襯低引線引線電極電極引線引線光電導(dǎo)體光電導(dǎo)體 1-1-光導(dǎo)層光導(dǎo)層; 4-; 4-電極電極; 7-; 7-電阻引線。電阻引線。 2-2-玻璃窗口玻璃窗口; 5-; 5-陶瓷基座陶瓷基座; ; 3-3-金屬外殼金屬外殼; 6-; 6-黑色絕緣玻璃黑色絕緣玻璃; ;RG1234567( (a a) )結(jié)構(gòu)結(jié)構(gòu) ( (b b) )電極電極 ( (c c) )符號(hào)符號(hào)CdSCdS光敏電阻的結(jié)構(gòu)和符號(hào)光敏電阻的結(jié)構(gòu)和符

4、號(hào) 光敏電阻的靈敏度易受濕度的影響,因光敏電阻的靈敏度易受濕度的影響,因此要將導(dǎo)光電導(dǎo)體此要將導(dǎo)光電導(dǎo)體。如果把光敏電阻連接到外電路中,。如果把光敏電阻連接到外電路中,在外加電壓的作用下,用光照射就能改在外加電壓的作用下,用光照射就能改變電路中電流的大小,其連線電路如下變電路中電流的大小,其連線電路如下圖所示。圖所示。 優(yōu)點(diǎn):光敏電阻具有優(yōu)點(diǎn):光敏電阻具有很高的靈敏度很高的靈敏度,很,很好的好的光譜特性光譜特性,光譜響應(yīng)可從紫外區(qū)到,光譜響應(yīng)可從紫外區(qū)到紅外區(qū)范圍內(nèi)。而且體積小、重量輕、紅外區(qū)范圍內(nèi)。而且體積小、重量輕、性能穩(wěn)定、價(jià)格便宜,因此應(yīng)用比較廣性能穩(wěn)定、價(jià)格便宜,因此應(yīng)用比較廣泛。泛

5、。 (二)光敏電阻的主要(二)光敏電阻的主要參數(shù)和基本特性參數(shù)和基本特性(1 1)暗電阻、亮電)暗電阻、亮電阻、光電流阻、光電流 暗電流暗電流Id :光敏電光敏電阻在室溫條件下,阻在室溫條件下,全暗(無(wú)光照射)全暗(無(wú)光照射)后后經(jīng)過(guò)一定時(shí)間測(cè)量經(jīng)過(guò)一定時(shí)間測(cè)量的電阻值,的電阻值,稱為暗電稱為暗電阻。阻。此時(shí)流過(guò)的電流為此時(shí)流過(guò)的電流為IdRGRLE 連線電路連線電路圖圖 亮電流亮電流IL :光敏電阻在某一光照下的:光敏電阻在某一光照下的阻值,稱為該光照下的亮電阻。此時(shí)阻值,稱為該光照下的亮電阻。此時(shí)流過(guò)的電流。流過(guò)的電流。 光電流光電流I光光:亮電流與暗電流之差。:亮電流與暗電流之差。 光敏

6、電阻的暗電阻越大,而亮電阻越光敏電阻的暗電阻越大,而亮電阻越小則性能越好。也就是說(shuō),暗電流越小則性能越好。也就是說(shuō),暗電流越小,光電流越大,這樣的光敏電阻的小,光電流越大,這樣的光敏電阻的靈敏度越高。靈敏度越高。實(shí)用的光敏電阻的暗電阻往往超過(guò)實(shí)用的光敏電阻的暗電阻往往超過(guò)1M, ,甚甚至高達(dá)至高達(dá)100M,而亮電阻則在幾,而亮電阻則在幾k以下,以下,暗電阻與亮電阻之比在暗電阻與亮電阻之比在10102 210106 6之間,可見(jiàn)之間,可見(jiàn)光敏電阻的靈敏度很高光敏電阻的靈敏度很高. . (2)光照特性)光照特性下圖表示下圖表示CdS光敏電阻的光敏電阻的光照特性:在光照特性:在一定外加電壓下,光敏電

7、阻的光電流一定外加電壓下,光敏電阻的光電流和光通量之間的關(guān)系。光照特性曲線和光通量之間的關(guān)系。光照特性曲線: :在弱光呈線性在弱光呈線性,在強(qiáng)光時(shí)呈非線性。在強(qiáng)光時(shí)呈非線性。不足之處不足之處:不宜作定量檢測(cè)元件不宜作定量檢測(cè)元件,一般在自動(dòng)控制系統(tǒng)中用作:一般在自動(dòng)控制系統(tǒng)中用作:光電開(kāi)關(guān)光電開(kāi)關(guān)。012345I/mA L/lx10002000(3)增益)增益G G=U/L2(4)靈敏度)靈敏度(a) 光電導(dǎo)靈敏度光電導(dǎo)靈敏度 Sg=g/E=gA/ 由歐姆定律,得由歐姆定律,得 I=SgEU(b) 電阻靈敏度電阻靈敏度 SR=(Rd- -R亮亮)/RdR/Rd(c) 比靈敏度比靈敏度 S比比=

8、 SI/U =I光光/( U)(5)光譜特性)光譜特性 光譜特性與光敏電阻的材料有關(guān)。光譜特性與光敏電阻的材料有關(guān)。從圖中可知,從圖中可知,硫化鉛硫化鉛光敏電阻在較寬光敏電阻在較寬的光譜范圍內(nèi)均有較高的靈敏度,的光譜范圍內(nèi)均有較高的靈敏度,峰峰值在紅外區(qū)域值在紅外區(qū)域;硫化鎘、硒化鎘的峰硫化鎘、硒化鎘的峰值在可見(jiàn)光區(qū)域。值在可見(jiàn)光區(qū)域。因此,在選用光敏因此,在選用光敏電阻時(shí),應(yīng)把光敏電阻的材料和光源電阻時(shí),應(yīng)把光敏電阻的材料和光源的種類結(jié)合起來(lái)考慮,才能獲得滿意的種類結(jié)合起來(lái)考慮,才能獲得滿意的效果。的效果。 (6 6) 伏安特性伏安特性 在一定照度下,加在光敏電阻兩在一定照度下,加在光敏電阻

9、兩端的電壓與電流之間的關(guān)系稱為伏安端的電壓與電流之間的關(guān)系稱為伏安特性。特性。 801002040604080120160200240 /m312相相對(duì)對(duì)靈靈敏敏度度1硫化鎘硫化鎘2硒化鎘硒化鎘3硫化鉛硫化鉛圖中曲線圖中曲線1 1、2 2分別表示照度為分別表示照度為零零及照度及照度為為某值某值時(shí)的伏安特性。由曲線可知,時(shí)的伏安特性。由曲線可知,在給定偏壓下在給定偏壓下, ,光照度較大,光電流也光照度較大,光電流也越大。在一定的光照度下,所加的電越大。在一定的光照度下,所加的電壓越大,光電流越壓越大,光電流越大,而且大,而且無(wú)飽和現(xiàn)無(wú)飽和現(xiàn)象。象。但是電壓不能但是電壓不能無(wú)限地增大,因?yàn)闊o(wú)限地增

10、大,因?yàn)槿魏喂饷綦娮瓒际苋魏喂饷綦娮瓒际茴~定功率、最高工額定功率、最高工作電壓和額定電流作電壓和額定電流50100150200 U/V02040 I/ A的限制。超過(guò)最高工作電壓和最大額定的限制。超過(guò)最高工作電壓和最大額定電流,可能導(dǎo)致光敏電阻永久性損壞電流,可能導(dǎo)致光敏電阻永久性損壞(7)頻率特性)頻率特性 當(dāng)光敏電阻受到脈沖光照射時(shí),光電當(dāng)光敏電阻受到脈沖光照射時(shí),光電流要經(jīng)過(guò)一段時(shí)間才能達(dá)到穩(wěn)定值,而在流要經(jīng)過(guò)一段時(shí)間才能達(dá)到穩(wěn)定值,而在停止光照后,光電流也不立刻為零,這就停止光照后,光電流也不立刻為零,這就是光敏電阻的是光敏電阻的延時(shí)特性延時(shí)特性。由于不同材料的。由于不同材料的光敏光敏

11、電阻延時(shí)特性不同,所以它們的頻率電阻延時(shí)特性不同,所以它們的頻率特性也不同,如圖。特性也不同,如圖。 硫化鉛的使用頻硫化鉛的使用頻率比硫化鎘高得率比硫化鎘高得多,但多,但多數(shù)光敏多數(shù)光敏電阻的延時(shí)都比電阻的延時(shí)都比較大,較大,所以,它所以,它不能用在要求快不能用在要求快速響應(yīng)的場(chǎng)合。速響應(yīng)的場(chǎng)合。20406080100I / %f / Hz010102103104硫化鉛硫化鉛硫化鎘硫化鎘(8)穩(wěn)定性)穩(wěn)定性 曲線曲線1、2分別表示兩種型號(hào)分別表示兩種型號(hào)CdS光敏電阻光敏電阻的穩(wěn)定性。初制成的光敏電阻,由于的穩(wěn)定性。初制成的光敏電阻,由于體內(nèi)體內(nèi)機(jī)構(gòu)工作不穩(wěn)定,以及電阻體與其介質(zhì)的機(jī)構(gòu)工作不穩(wěn)

12、定,以及電阻體與其介質(zhì)的作用還沒(méi)有達(dá)到平衡作用還沒(méi)有達(dá)到平衡,所以性能是不夠穩(wěn),所以性能是不夠穩(wěn)定的。但在人為地加溫、光照及加負(fù)載情定的。但在人為地加溫、光照及加負(fù)載情況下,況下,經(jīng)一至二周的老化,性能可達(dá)穩(wěn)定。經(jīng)一至二周的老化,性能可達(dá)穩(wěn)定。光敏電阻在開(kāi)始一段時(shí)間的老化過(guò)程中,光敏電阻在開(kāi)始一段時(shí)間的老化過(guò)程中,有些樣品阻值上有些樣品阻值上升,有些樣品阻值下降,升,有些樣品阻值下降,但最后到一個(gè)穩(wěn)但最后到一個(gè)穩(wěn)定值后達(dá)就不再定值后達(dá)就不再變了。這就是光變了。這就是光敏電阻的主要優(yōu)敏電阻的主要優(yōu)點(diǎn)。點(diǎn)。 光敏電阻的光敏電阻的使用壽使用壽命命在密封良好、使在密封良好、使用合理的情況下,幾乎是用合

13、理的情況下,幾乎是無(wú)限長(zhǎng)無(wú)限長(zhǎng)的。的。 I / %4080120160210400 800 1200(9)溫度特性)溫度特性 靈敏度、暗電阻等受溫度的影響較大。隨靈敏度、暗電阻等受溫度的影響較大。隨著著溫度的升高,其暗電阻和靈敏度下降溫度的升高,其暗電阻和靈敏度下降,光譜特性曲線的光譜特性曲線的峰值向波長(zhǎng)短峰值向波長(zhǎng)短的方向的方向移動(dòng)移動(dòng)。硫化鎘的光電流硫化鎘的光電流I I和溫度和溫度T T的關(guān)系如圖所示。的關(guān)系如圖所示。有時(shí)為了提高靈敏度,或?yàn)榱四軌蚪邮蛰^有時(shí)為了提高靈敏度,或?yàn)榱四軌蚪邮蛰^長(zhǎng)波段的輻射,將元件降溫使用。例如,長(zhǎng)波段的輻射,將元件降溫使用。例如,可利用可利用制冷器使光敏電阻的

14、溫度降低制冷器使光敏電阻的溫度降低。 I / A100150200-50-1030 5010-30 T/ C8020406010001.02.03.04.0/mI/mA+20 C- -20 C(1010)噪聲)噪聲當(dāng)工作頻率當(dāng)工作頻率f1kHz時(shí),主要為時(shí),主要為1/f 噪聲。噪聲。當(dāng)當(dāng)1kHzf =1MHz時(shí),主要為熱噪聲。時(shí),主要為熱噪聲。二、光電池二、光電池 光電池是一種利用光生伏特效應(yīng)制成的不光電池是一種利用光生伏特效應(yīng)制成的不需加偏壓就能將光能轉(zhuǎn)化成電能的光電器需加偏壓就能將光能轉(zhuǎn)化成電能的光電器件。簡(jiǎn)單的說(shuō),其本質(zhì)就是一個(gè)件。簡(jiǎn)單的說(shuō),其本質(zhì)就是一個(gè)PNPN結(jié)。結(jié)。 PNhPNLR

15、GE表示電子表示電子表示空穴表示空穴LIPN結(jié)的光生伏特效應(yīng)結(jié)的光生伏特效應(yīng) PN結(jié)受到光照時(shí):光線足以結(jié)受到光照時(shí):光線足以透過(guò)透過(guò)P P型半導(dǎo)型半導(dǎo)體體入射到入射到PN結(jié),結(jié),對(duì)于對(duì)于能量大于材料禁帶寬度能量大于材料禁帶寬度的光子的光子,由于本征吸收,就,由于本征吸收,就可激發(fā)出電子空可激發(fā)出電子空穴對(duì)穴對(duì)。內(nèi)建電場(chǎng)把內(nèi)建電場(chǎng)把N中的空穴拉向中的空穴拉向P區(qū)區(qū),把把P中的電子拉向中的電子拉向N區(qū)。區(qū)。大量的積累產(chǎn)生一個(gè)與大量的積累產(chǎn)生一個(gè)與內(nèi)建電場(chǎng)相反的光生電場(chǎng),即形成一個(gè)光生內(nèi)建電場(chǎng)相反的光生電場(chǎng),即形成一個(gè)光生電勢(shì)差。電勢(shì)差。 注意:注意:(1)PN結(jié)產(chǎn)生光生伏特的條結(jié)產(chǎn)生光生伏特的條

16、件件與與照射光的強(qiáng)度無(wú)關(guān)照射光的強(qiáng)度無(wú)關(guān); 光生伏特大小與照射光的強(qiáng)度成正比光生伏特大小與照射光的強(qiáng)度成正比 開(kāi)路光電壓、短路光電流與入射光功率之間開(kāi)路光電壓、短路光電流與入射光功率之間的關(guān)系的關(guān)系 :若若入射光作用下產(chǎn)生光生電壓為入射光作用下產(chǎn)生光生電壓為U、光生電流為光生電流為Ip,入射光功率為,入射光功率為P。在。在PN結(jié)兩結(jié)兩端通過(guò)負(fù)載端通過(guò)負(fù)載R RL L構(gòu)成回路及等效電路為構(gòu)成回路及等效電路為gEh 由節(jié)點(diǎn)定律,得由節(jié)點(diǎn)定律,得 光生伏特器件光生伏特器件(1)在零偏壓;在零偏壓; (2) 反向偏壓下工作反向偏壓下工作 (更常見(jiàn))。(更常見(jiàn))。DPLIII 1)(dLRIVkTqSP

17、DPLeIIIII (二)特性參數(shù)(二)特性參數(shù) 1 1輸出特性輸出特性 (1 1)伏安特性)伏安特性 由(由(2 24545)式,)式,當(dāng)當(dāng)I=0=0時(shí),得開(kāi)路電壓時(shí),得開(kāi)路電壓) 1ln(SPOCIIqKTV V=0 時(shí),時(shí),得短路電流得短路電流 ISC=IL=SL (2) 輸出特性輸出特性 最大輸出功率最大輸出功率 負(fù)載功率:負(fù)載功率:PL=VI=I2L RL 當(dāng)當(dāng)RL=0, V=0 , PL=0 當(dāng)當(dāng)RL趨于無(wú)窮大時(shí),趨于無(wú)窮大時(shí), I=0 , PL=0 有最大的有最大的Pmax , 得負(fù)載電阻得負(fù)載電阻RLROPt(一)結(jié)構(gòu)原理(一)結(jié)構(gòu)原理 1、金屬、金屬-半導(dǎo)體接觸型(硒光電池)

18、半導(dǎo)體接觸型(硒光電池) 2、PN結(jié)型結(jié)型 結(jié)型光電池,是在結(jié)型光電池,是在N型(或型(或P型)半導(dǎo)體表面上型)半導(dǎo)體表面上擴(kuò)散一層擴(kuò)散一層P型(或型(或N型)雜質(zhì),形成型)雜質(zhì),形成PN結(jié)。結(jié)。NP)(電極)(電極入射光線(二)分類(二)分類(1)按基底材料分類)按基底材料分類 2DR(P型型Si為基底)為基底) 2CR(N型型Si為基底)為基底)(2 2) 按結(jié)構(gòu)分類按結(jié)構(gòu)分類 陣列式:分立的受光面陣列式:分立的受光面 象限式:參數(shù)相同的獨(dú)立光電池象限式:參數(shù)相同的獨(dú)立光電池 硅藍(lán)光電池:硅藍(lán)光電池:PNPN結(jié)距受光面很近結(jié)距受光面很近 陣列式陣列式 象限式象限式(3 3)按用途分類)按用

19、途分類 太陽(yáng)能光電池:用作電源(效率高,太陽(yáng)能光電池:用作電源(效率高,成本低)成本低) 測(cè)量用光電池:探測(cè)器件(線性、靈測(cè)量用光電池:探測(cè)器件(線性、靈敏度高等)敏度高等)(4 4)按材料分類)按材料分類 硅光電池:光譜響應(yīng)寬,頻率特性好硅光電池:光譜響應(yīng)寬,頻率特性好 硒光電池:波譜峰值位于人眼視覺(jué)內(nèi)硒光電池:波譜峰值位于人眼視覺(jué)內(nèi) 薄膜光電池:薄膜光電池:CdS 增強(qiáng)抗輻射能力增強(qiáng)抗輻射能力 紫光電池:紫光電池:PN結(jié)結(jié) 0.20.3 m, 短波峰值:短波峰值:600nm(三)特性參數(shù)(三)特性參數(shù)1、光照特性、光照特性L為光亮度為光亮度 (書(shū)書(shū)P22)socISLqkTUln02000

20、40006000800010000123454 . 03 . 02 . 01 . 0scIocU)/(2cmmAIsc)(VUoc)(LxESLIILSC2、輸出電流與負(fù)載大小的關(guān)系、輸出電流與負(fù)載大小的關(guān)系3、伏安特性、伏安特性 光電流與電壓的關(guān)系光電流與電壓的關(guān)系(四)應(yīng)用(四)應(yīng)用1、光電池用作太陽(yáng)能電池光電池用作太陽(yáng)能電池 把光能直接轉(zhuǎn)化成電能,需要最大把光能直接轉(zhuǎn)化成電能,需要最大的輸出功率和轉(zhuǎn)化效率。即把受光面的輸出功率和轉(zhuǎn)化效率。即把受光面做得較大,或做得較大,或把多個(gè)光電池作串、把多個(gè)光電池作串、并聯(lián)組成電池組,并聯(lián)組成電池組,與鎳鎘蓄電池配與鎳鎘蓄電池配合,可作為衛(wèi)星、微波站

21、等無(wú)輸電線合,可作為衛(wèi)星、微波站等無(wú)輸電線路地區(qū)的電源供給。路地區(qū)的電源供給。2、光電池用作檢測(cè)元件光電池用作檢測(cè)元件 利用其光敏面大,頻率響應(yīng)高,光利用其光敏面大,頻率響應(yīng)高,光電流與照度線性變化,可制成:電流與照度線性變化,可制成: (1)光開(kāi)關(guān))光開(kāi)關(guān) (2)線性測(cè)量)線性測(cè)量( (如光電讀數(shù)、光柵測(cè)量、如光電讀數(shù)、光柵測(cè)量、激光準(zhǔn)直)等激光準(zhǔn)直)等三、光敏二極管三、光敏二極管1. 與普通二極管相比與普通二極管相比共同點(diǎn):共同點(diǎn):一個(gè)一個(gè)PN結(jié),單向?qū)щ娦越Y(jié),單向?qū)щ娦圆煌c(diǎn):不同點(diǎn):(1)受光面大,)受光面大,PN結(jié)面積更大,結(jié)面積更大,PN結(jié)深結(jié)深度較淺度較淺(2)表面有)表面有防反

22、射防反射的的SiO2保護(hù)層保護(hù)層(3)外加)外加負(fù)偏壓負(fù)偏壓 2. 與光電池相比與光電池相比共同點(diǎn):共同點(diǎn):均為一個(gè)均為一個(gè)PN結(jié),利用光生伏特結(jié),利用光生伏特效應(yīng),效應(yīng), SiO2保護(hù)膜保護(hù)膜。不同點(diǎn)不同點(diǎn):(1)結(jié)面積)結(jié)面積比光電池的小比光電池的小,頻率特性好,頻率特性好(2)光生電勢(shì)與光電池相同,)光生電勢(shì)與光電池相同,但電流比但電流比光電池小光電池?。?)可在零偏壓下工作,)可在零偏壓下工作,更常在更常在反偏壓反偏壓下工作下工作3.3.性能參數(shù)性能參數(shù)(1 1)伏安特性)伏安特性(2)光照特性)光照特性 光電流與照度的關(guān)系光電流與照度的關(guān)系 15V15V反向偏壓時(shí)的光照特性曲線反向偏

23、壓時(shí)的光照特性曲線025050075010001250102030405060E)( AI(3)光譜特性)光譜特性 影響因素:影響因素: 材料:禁帶寬度材料:禁帶寬度 設(shè)計(jì)工藝:設(shè)計(jì)工藝:PN結(jié)深度及表面處理結(jié)深度及表面處理(4)暗電流與噪聲)暗電流與噪聲 在直流偏壓下,暗電流是噪聲的在直流偏壓下,暗電流是噪聲的主要來(lái)源主要來(lái)源gE(5)頻率特性)頻率特性 是半導(dǎo)體光電器件中最好的一種是半導(dǎo)體光電器件中最好的一種,與下列因素有關(guān):與下列因素有關(guān): 結(jié)電容(小于結(jié)電容(小于20F) 和雜散電容和雜散電容 光生載流子在薄層中的擴(kuò)散時(shí)間及光生載流子在薄層中的擴(kuò)散時(shí)間及PN結(jié)中的漂移時(shí)間結(jié)中的漂移時(shí)間

24、 要要提高頻率響應(yīng)提高頻率響應(yīng)必須做到以下幾點(diǎn):必須做到以下幾點(diǎn): 合理的結(jié)面積(小的結(jié)面積可使合理的結(jié)面積(小的結(jié)面積可使Cj減小,減小,但相同光照下,光電流也較?。?;但相同光照下,光電流也較小); 盡可能大的耗盡層厚度;盡可能大的耗盡層厚度; 適當(dāng)加大使用電壓;適當(dāng)加大使用電壓; 減小結(jié)構(gòu)所造成的分布電容。減小結(jié)構(gòu)所造成的分布電容。4、電路、電路 光敏二極管的輸出電路及等效電路:光敏二極管的輸出電路及等效電路: 由等效圖可知:由等效圖可知: SiLLLRSRiU光敏二極管等效電路光敏二極管等效電路5、光敏二極管的分類、光敏二極管的分類 按材料分類:按材料分類: 硅光敏二極管硅光敏二極管 鍺光敏二極管鍺光敏二極管 化合物光敏二極管化合物光敏二極管 按結(jié)的特性:按結(jié)的特性: PN結(jié)(擴(kuò)散層、耗盡層)結(jié)(擴(kuò)散層、耗盡層) PIN結(jié)結(jié) 異質(zhì)結(jié)異質(zhì)結(jié) 肖特基結(jié)肖特基結(jié)6、幾種常見(jiàn)的光敏、幾種常見(jiàn)的光敏二極管二極管(1)肖特基結(jié)光敏二極管)肖特基結(jié)光敏二極管(金屬與半導(dǎo)(金屬與半導(dǎo)體接觸)體接觸) 光敏面小,勢(shì)壘電容小,響應(yīng)快,但光敏面小,勢(shì)壘電容小,響應(yīng)快,但工藝?yán)щy。工藝?yán)щy。(2)擴(kuò)散層)擴(kuò)散層PN結(jié)光

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