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1、微波集成電路電子信息工程2019051796田蕊目錄 簡介 開展 SOC的前景 SOC的挑戰(zhàn)簡介 微波集成電路是工作在微波波段和毫米波波段，由微波無源元件、有源器件、傳輸線和互連線集成在一個基片上，具有某種功能的電路。開展 40年代 60年代 70-90年代 21世紀波導立體電路平面混合集成電路MMICMCMSOC第一代第二代第三代第四代第一代微波電路 微波電路開始于40年代應用的立體微波電路，它是由波導傳輸線、波導元件、諧振腔和微波電子管組成的。第二代微波電路 60年代初，出現(xiàn)了平面微波電路，它是由微帶元件、集總元件、微波固態(tài)器件等無源微波器件和有源微波元件利用擴散、外延、堆積、蝕刻等制造技

2、術，制作在一塊半導體基片上的微波混合集成電路，即HMIC，屬于第二代微波電路。第三代微波電路 70年代起,GaAs技術的問世與GaAs材料的特性促成了由微波集成電路向單片微波集成電路MMIC的過渡。 90年代起,把多塊裸露的IC 芯片組裝在同一塊多層高密度互連基板上，形成一個多芯片功能組件(MCM)。第四代微波電路 21世紀片上系統(tǒng)SOC） 結(jié)構(gòu)示意圖如右所示控制邏輯模塊含有ADC/DAC 的模擬前端模塊電源提供和功耗管理模塊微處理器/微控制器CPU 內(nèi)核模塊外部進行通訊的接口模塊嵌入的存儲器模塊SOCSOC的前景 SOC成為新一代應用電子技術的核心已經(jīng)成為不爭的事實 同時它使使單片機應用技術發(fā)生了革命性的變革SOC的挑戰(zhàn) 資金問題 微波無源電路、

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