TFC膜系設(shè)計實例教程_最新修正版

1、最新修正版TFC膜系設(shè)計實例教程TFC膜系實例設(shè)計步驟（首先以1.2.3.AR膜三層為例介紹）首選鍍膜材料：AL2O3 ZRO2 MGF2AR膜技術(shù)要求：400700R 1運行TFC軟件（如圖1），選擇“取消”按鈕，如要打開已設(shè)計好的膜系文件，可按“打開”來調(diào)用文件。4.TFCalc打開區(qū)1辜找范圍GL）: 1 口 我的文檔二1ikl Thi n Pi Im Center 收蔵夾芒1圖片收藏 s我的視頻 討我的音樂 己新建文件夾文件名）：11打開1文件類型迂1 Coating File C*. TFD)二1取消J圖1F.lc Edit Mod； fy E-jjl二 f,11 = c 旦廿；在F

2、ile菜單中選擇 New Coating選項（如圖 2）。HlFCalcN«w CoatingCtrH-HOpen Coating.CtrlfOReopen 匚eating1T 11 L-: 1 _.i-l'S二-A二1孔11 f.rl-rPrinter Setup.FileExit TFCalcAbout TFCalc.圖25. 進入環(huán)境編輯界面（Edit Environment ）如圖311丘 y iM ： ，X）Ed.x± £nTxr onKczk±Coaling name: untiled550_0ReJerenee wavelength

3、 (nm)OKIrcidenftMediumAngle尸fDOt L曲乎srsSutrslreCeBack LayersEnil MediumCancellllumirkarit'Incident angle (deg:Incidert mediurriLSubttolu.Thickness (mnnjrEnil Medium:Detector:Fkst Suiface:white 麗1|QLASSglass jlDEALI FrontAnas-is Paramelers.Enviromienr 16在環(huán)境編輯界面中，第一項為監(jiān)控波長（Referenee wavelength ），默認

4、設(shè)制為550 （圖3）。如果設(shè)計400-700波段的AR的話，就可以用這個設(shè)制。如要設(shè)計紅外波段的話，那就要改大點。設(shè)好后，點擊Analysis Parameters.項，進入下一個波段的設(shè)制界面（ Set Analysis Parameters） o （如圖4）Set Analysis Para>etersWavelengths and Angles | Cone-Angle |Ph至e and Colortci300toBoth, rnge of wavelengths at each anglelby pBoth, rnge of angles at each wavelength

5、廠匚empute Lone-Angle AverageOKCancel6. 在Set Analysis Parameters界面中選 Wavelengths and Angles設(shè)計波段范圍，在第一個輸入框里輸入起始波段400,第二輸入框里輸入結(jié)束波段700,第三個輸入框里的為步長，可以不改，其它的不動（如圖4）o輸入完成后，按“0K”鍵確認，返回到如圖 3的界面，再按“ 0K”鍵，進入設(shè)計界面（如圖5）最新修正版4004 SC£0075 DRe fleetance 厲)ETtvironmeH圖5iEnvironin tut.,S. 0 ®區(qū)TFCalcIliumiijMe

6、 dium: SuhstrfiExit: DetectsEB TFCalc - untitledgift：0-0 (deg、f erence zSSO . 0 (ma)larization: Ave twt Sur face:FrontStack Formula.VTU v H'-ny.nAngleTafgSt (tHgrT arget (erd|T oleranceUHITEQ.O伽4i皿；jtrRn« f«r«nc«S£OD (rm)Substrate:&LkSSPolarisation:Ave Exit:GLASSFirs

7、t Surface:FrontDetector:IDEAL£006£0700Uavelength (nu)7在Modify菜單中選Layers Front（如圖6）,然后進入添加膜層。（如圖7）untitledModi £y4.eLayers - Back 拿 oupETargets - DiscreteTegits 一 ContiKuaus Targets - Confi-Ane CommsntsVari able Materials4.6HLiture Materials EnvironmentsH&terielsSubstr at&sIlli

8、uni nulls4.2detectors Distr ibntioiLS4.0400450£00£50600££700750Reflectance C* ) vs Wa.veiengt-h (nu)4.4最新修正版 0圖83代表3層，如圖8£3 Layers - Front7. 選擇Op tio ns Fro nt Layers添加層數(shù)，如圖7,在彈出的輸入框的第一個中輸入ttpti ons More Opti onsLiiierMaterialWOT rhickne? nmj Optimize?Gioup Constrain?Min. Th

9、icknessMaw. ThicknessMeodlftS-?£0S£D6£0Reflectance (%) vs4. 04Q0AddCiiient nimber of front layers: 0Add N starting at 卩eooWavelength (OKCancelKLJJiee u&然后點“ OK”，進入，出現(xiàn)如圖9的畫面。最新修正版EB ltb J* 二-FrodOffc-0一 i _ ons 匕 L Ei Op / J zLaKT123MaterialMGF2MGF2MGF2QWDTi.oroo1.0000i.roooTbcknas

10、s nm)99l2199.219921Optimize?NoNoMo111Constrain?NdNoMoMin ThicknessO.OQW nmtlOOOO nm0.0000 nmMast Thickness0.0000 nmQOOOO nmO.ODOO nmNeedles?YesYesYes4.2File Edit Modify Run Resialts Misc. Help4.0 Ji:；!400450SOO5S06C06S07007S0f<-1 i vf br>v*i4htrth £氏、圖99.現(xiàn)在把MateriaK材料）項中的，改成你所要的材料AL2O3 ZR

11、02 MGF2 ,把Optimize?（優(yōu)化否）項中的NO ,全部改為YES （如圖10）n TFCalc -=_-HLayers - untitled-Front區(qū);Qptiuns More OptionsLa)Kr123Material2R02MGF2OWCTl.OWOLOOOO1.WMBThickness nm64.4167.409921Optinize?YesYesYesGroup111Constrain?NoNoMoMil Thickness0.0000 nmOLOOOO nmO.OOQO nmMan ThickrtftssO.OMO nmOlOOOO nm0.0000 nmNeed

12、les?YesVesYesil J圖1010.選擇Modify菜單中的Targets continuous項來設(shè)定優(yōu)化目標(biāo)（如圖 11）最新修正版SSTFCalc-untitledS. 04.24.040011 .IIlus Hedlv Sub st EKit:DetecMo 11fyEnviroiment. Stack Formula . Layers - Front Layers 一 Eack GroupsTsrgtts - DiscreteTargets - Cone-Angle Commentsy61-1 ills Material? Hlijlture Materi

13、als Environments血teri遼sSubstrates IllwninantsDetectors Distributions4E0E000-®%hngle：0.0 (dey)Ee ference:£S0. 0 (run)Polairisation: Ave First Surface:FrontES06006E07007S0Reflect anca ft) vs Wavelength (rm)圖11選擇Options中的Add Continuous targets.（如圖12），點擊進入，如果是創(chuàng)建一個優(yōu)化目標(biāo)的話 就不用改，如果要創(chuàng)建幾個優(yōu)化目標(biāo)的話，就在第一

14、個輸入框中輸入幾。如圖13圖12最新修正版13.完成后，選 Run菜單的Optimize Design選項進行優(yōu)化，如圖15flIlluMediSuh 5 Exit Date川 ij二 n = >1I 引 get nKindRefl/T rans.oPolorbation4.SWavelength tiegin)Wavelengrh fendjAngle4.eT agelt (beginI argel (end)4.4T oleranceE nvironment4.24.0400450SCOCurrent njmbeir of continuous largels: 0Add 0star

15、tling at fiKCancelsso6007007S0圖13Refleceaucevslength (im)12.ILa如圖14,在 Wavelength(begin)(起始波長)處輸入400,在 Wavelength(end)(結(jié)束波長)處輸入 700 其它不要動。Target s ContirLuous5.0T arget tt1KindIntensityRefl/TranAeflP olarizationAveWavelength (begin)400 0Wavelength end)700.0Angfe0.0T arget (beginj0.0T arget (

16、end0.0T olerance1.0E nvironmentIQ，JMediSubs ExitDetrgOpti ons4.0400450SOO550eoo650700Re f lectaiice ( J vs Wavelaiili Cmi)圖14最新修正版呷g惻File Edit ModifyIrx* ir 11 -r:Li 丄 MHedi Subs HxitDeteTarget 4KirdReJi/I rar4, 34. 64. 44. 2PolarizatiiWavelenWavelenAngleTarget (bT arget (eT olerancialyie OnlyIntera

17、ctive Analysis.Global StarchCompute EFICompute Sensi tivi tyCompute Monitor CurveCompute Layer Sensitivity”.Compute ieli.EnvironnoU-14.優(yōu)化界面如圖16F4F3Set Analysis Parameters. .Sfit Optimi zati cn Feramet&rs.,. Global Search Farameters EFI Parameters. Sensi tivi ty Parameters. Moni toring Faraniet電r

18、 s,.SetSatSetSet圖15Optiwization Progre?I ndex Pgfik3.0 -Layers: 31.0 -2.0 -Target DeviationsPhysical T hickrie$ (nm)： 297.3T argets: 101Iteration:Status:AnalyzeQuitDeviation:0.297Slopping criteria metChange I%:0.000圖1615.優(yōu)化完成后，點擊Analyze查看優(yōu)化后的曲線，如圖17TFCalcunt it ledgSPlotOpti cnsWHITEAIRGLASSGLASSAny"0.0Reference:550.0 (ma)Pfllarisation： AveFirst Siirface; FrontILXuuinanV；Kedtuia: Substrate; Exit;Modify 中選 Layers Front 如圖 18休圖1716.好了，這個AR的膜系已設(shè)計完成了，要查看每層的物理厚度，可以打開菜單SSLayers -