ESD管理系統(tǒng)要求規(guī)范及測(cè)量實(shí)用標(biāo)準(zhǔn)

1、Vipstecrf./深圳市微浦技術(shù)有限公司文件名稱ESD控制程序文件編號(hào)WI PE 001頁數(shù)3-#實(shí)用標(biāo)準(zhǔn)文檔深圳市微浦技術(shù)有限公司作指弓文件名稱：ESD管理規(guī)范及測(cè)量標(biāo)準(zhǔn) 部門：工程部本：A/0核:生效日期:文件編號(hào):VP-QA-004編 寫：譚桂批 準(zhǔn):修訂日期修訂 內(nèi)容修訂者原版本會(huì)簽部門工程部 PMC倉管部生產(chǎn)部產(chǎn)品部采購部品質(zhì)部銷售部行政部分發(fā)份數(shù)共份文案大全文件類別工作指引制訂日期2015-12-01版本A/01.0目的本公司規(guī)定了產(chǎn)品和電子組件在制造過程中的靜電防護(hù)，防止因靜電的力學(xué)和放電效應(yīng)而產(chǎn)生或可能產(chǎn)生 的危害，或?qū)⑦@些危害限制在最小程度。以確保產(chǎn)品的設(shè)計(jì)性能及使用性能

2、不致因靜電作用受到損害，保證產(chǎn) 品質(zhì)量、提咼產(chǎn)品壽命 。2.0適用范圍適用于本公司所有產(chǎn)品物料的采購、驗(yàn)收、儲(chǔ)存、搬運(yùn)、加工、包裝及生產(chǎn)裝配、產(chǎn)品測(cè)試等全過程。3.0定義3.1 ESD(Electro-Static discharge):主要是指兩個(gè)帶有不同靜電電位之物體，當(dāng)它們接近并能夠發(fā)生電荷傳送，由于電荷的傳送產(chǎn)生了電流，使器件損壞或造成壽命上的傷害，一般稱為靜電泄放或簡(jiǎn)稱ESD4.05.03.2 SSD(Static Sen sitive Device):凡對(duì)靜電敏感的電子元器件一般稱為靜電敏感元器件或簡(jiǎn)稱SSD職責(zé)4.14.24.3工程部依據(jù)本程序要求實(shí)施靜電用具的進(jìn)料檢測(cè)和電線、接

3、地線、靜電墊等防靜電設(shè)施測(cè)試和記錄以及日常維護(hù)。品質(zhì)部負(fù)責(zé)制定防靜電措施要求和標(biāo)準(zhǔn)及監(jiān)督執(zhí)行狀態(tài)。各部門經(jīng)理負(fù)責(zé)本部門工作區(qū)域、生產(chǎn)制造過程中的靜電防護(hù)措施的執(zhí)行。工作程序本文主要從靜電控制的五個(gè)方面 (即人員、設(shè)備、物料、方法和環(huán)境)來論述ESD規(guī)范，貫穿了公司產(chǎn)品設(shè)計(jì)、制造、貯存、包裝等各個(gè)環(huán)節(jié)防靜電控制。5.1靜電敏感區(qū)域的界定:5.1.1ESD敏感器件的生產(chǎn)區(qū)域-一- 生產(chǎn)線等。5.1.2ESD敏感器件的前加工區(qū)域 前加工房。5.1.3ESD敏感器件的貯存區(qū)域-倉庫5.1.4ESD敏感器件的返修區(qū)域- 返修區(qū)及返修工位。5.1.5ESD敏感器件的老化區(qū)域- 老化房。Vipstechi/

4、深圳市微浦技術(shù)有限公司文件名稱ESD控制程序文件編號(hào)WI PE 001頁數(shù)3-3文件類別工作指引制訂日期2015-12-01版本A/05.2靜電敏感區(qū)域的標(biāo)識(shí):5.2.1510CM這兩種斜條紋是靜電敏感區(qū)的區(qū)域界限應(yīng)該用黃黑相間的斜條紋來標(biāo)識(shí)，線條寬度為 專門用來標(biāo)識(shí)靜電敏感區(qū)的區(qū)域界限的，不可作為其它標(biāo)識(shí)用。5.2.2從靜電敏感區(qū)域的入口處開始，在明顯處還應(yīng)貼上靜電敏感區(qū)的警示標(biāo)志。如圖A:5.2.3防靜電容器（防靜電周轉(zhuǎn)箱，防靜電元件盒等），元件架和運(yùn)輸車等器材上應(yīng)有防靜電標(biāo)志,志應(yīng)置于明顯且不易受到磨損的地方。如圖B:5.2ts *期riLEiiif <的物品和場(chǎng)所也應(yīng)有防靜電標(biāo)志

5、。如圖C:5.2.5 含有SSD的圖紙資料,應(yīng)有SSD標(biāo)志。GJB1649中條要求。5.2.6設(shè)備的外部端口、整機(jī)包裝、交付文件標(biāo)志應(yīng)符合 5.3靜電敏感區(qū)域的工程環(huán)境防靜電規(guī)范5.3.1防靜電工程環(huán)境在設(shè)計(jì)時(shí)，為達(dá)到靜電防護(hù)的要求應(yīng)遵循以下原則1）抑制靜電荷的積累和靜電壓的產(chǎn)生 2）安全、迅速、有效的消除已產(chǎn)生的靜電荷Vipstech"./深圳市微浦技術(shù)有限公司文件名稱ESD控制程序文件編號(hào)WI PE 001頁數(shù)3-5文件類別工作指引制訂日期2015-12-01版本A/05.4.1.3防靜電工作區(qū)應(yīng)按電子元器件靜電敏感度確定防護(hù)所應(yīng)達(dá)到的級(jí)別和程度。一般的要求靜電防護(hù)區(qū)內(nèi)靜電電壓絕

6、對(duì)值應(yīng)小于100V。防靜電區(qū)域應(yīng)標(biāo)明區(qū)域界限并在明顯處懸掛警示標(biāo)志。在防靜電工作區(qū)內(nèi)禁止使用易產(chǎn)生靜電荷的電荷源。表一為常見的電荷源5.3.2防靜電工程環(huán)境的溫度和濕度要求:溫度應(yīng)在15C至30C之間，濕度應(yīng)在45%至 75%之間，環(huán)境內(nèi)應(yīng)配備溫度計(jì)和濕度計(jì) ，并按要求 做好點(diǎn)檢記錄。如果環(huán)境內(nèi)的空氣過于干燥，應(yīng)使用加濕器或其它辦法來滿足濕度要求，但應(yīng)以 不對(duì)產(chǎn)品造成有害影響為前提。如果濕度高了應(yīng)該開空調(diào)或抽濕機(jī)來使其滿足要求。5.3.3溫度計(jì)和濕度計(jì)使用要求對(duì)溫度、濕度做監(jiān)測(cè)的溫濕度儀，必須放置在水平穩(wěn)定的平面上。2)有溫濕度測(cè)量?jī)x的場(chǎng)所應(yīng)由專人定期檢查溫濕度自動(dòng)儀測(cè)試狀況,并記錄該時(shí)間段的

7、最高和最低值。3)遇有休息、節(jié)假日等特殊情況，在上班后的第一時(shí)間內(nèi)要檢查溫濕度自動(dòng)記錄儀的記錄情況。4)發(fā)現(xiàn)溫度濕度有超標(biāo)應(yīng)立即采取有效措施予以改善,并確認(rèn)超標(biāo)情況是否有對(duì)產(chǎn)品或材料造成損壞，采取的改善措施應(yīng)予以記錄。5)每月的溫濕度儀記錄的測(cè)試結(jié)果由負(fù)責(zé)記錄的部門歸類保存。5.4靜電敏感區(qū)域的人員防靜電規(guī)范:5.4.1各類人員的防靜電知識(shí)培訓(xùn)要求及職責(zé):有可能進(jìn)入靜電敏感區(qū)域的人員或有可能接觸靜電敏感器件的人員都應(yīng)接受防靜電知識(shí)培訓(xùn)，這既是對(duì)每位員工的基本要求，也是減少靜電危害的根本方法和途徑之一。5.4.1.1所有新員工（職員）在接受入廠培訓(xùn)時(shí)，必須接受ESD知識(shí)的培訓(xùn)。5.4.1.2在靜

8、電敏感區(qū)域內(nèi)工作的生產(chǎn)人員及與靜電敏感器件有直接或間接接觸（包括靜電 感應(yīng)）的作業(yè)人員，必須接受 ESD知識(shí)的培訓(xùn)，作為上崗考核的必考內(nèi)容之一。工藝人員必須接受并通過ESD較為專業(yè)知識(shí)培訓(xùn)，掌握電子工業(yè)產(chǎn)品的防靜電工藝技術(shù)，在生產(chǎn)過程中指導(dǎo)生產(chǎn)作業(yè)人員落實(shí)防靜電措施，并對(duì)他們進(jìn)行靜電防護(hù)日Vipstecrf./深圳市微浦技術(shù)有限公司文件名稱ESD控制程序文件編號(hào)WI PE 001頁數(shù)3-7文件類別工作指引制訂日期2015-12-01版本A/0541.45.4.1.55.4.1.65.4.1.75.4.1.8常教育。品質(zhì)控制管理人員必須接受并通過ESD較為專業(yè)知識(shí)培訓(xùn)，熟悉各類感性能及其防護(hù)知識(shí)

9、，監(jiān)督防靜電工藝規(guī)程的貫徹執(zhí)行，評(píng)估防靜電工程實(shí)施效果。SSD的靜電敏檢驗(yàn)和試驗(yàn)人員（包括外購件入廠檢驗(yàn)試驗(yàn)和產(chǎn)品檢驗(yàn)人員）必須接受較為 ESD專業(yè)知識(shí)培訓(xùn)，熟練掌握ESSD勺檢測(cè)知識(shí)和防靜電器件的檢測(cè)方法，嚴(yán)格按設(shè)計(jì)技術(shù)文件 要求和工藝規(guī)程進(jìn)行檢驗(yàn)和試驗(yàn)。設(shè)備部負(fù)責(zé)防靜電接地和布生產(chǎn)線的人員，應(yīng)接受較為專業(yè)的 ESD知識(shí)培訓(xùn)，熟悉防靜電接地系統(tǒng)要求，掌握地樁、地線、及其它防靜電設(shè)施的敷設(shè)或安裝。生產(chǎn)管理人員應(yīng)了解 ESD基本知識(shí)，嚴(yán)格按靜電敏感器件的設(shè)計(jì)文件要求和工藝規(guī)程 組織生產(chǎn)，并開展對(duì)生產(chǎn)員工的靜電防護(hù)日常教育。計(jì)量部門也應(yīng)了解 ESD基本知識(shí)，尤其是關(guān)于防靜電儀器的校驗(yàn)知識(shí)，要定期調(diào)

10、校防靜電檢測(cè)器材，保證其安全、有效。5.4.2 采購ESD控制:采購部人員必須接受 ESD基本知識(shí)培訓(xùn)，熟悉ESSD的品種、型號(hào)、標(biāo)志方法和靜電防護(hù)常 識(shí),嚴(yán)格遵守物料或產(chǎn)品在采購和運(yùn)輸過程中靜電防護(hù)的規(guī)范。5.4.2.1依據(jù)ME之規(guī)定，物料采購按零件承認(rèn)書對(duì) SSD組件采購時(shí)，須在采購單注明 ESD防 護(hù)要求；其它ESD防護(hù)器材采購時(shí)，須按 ME測(cè)試工程師制定的標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行采購。5.4.2.2須向經(jīng)認(rèn)可的ESD產(chǎn)品供貨商采購，并保持最新的ESD認(rèn)可供應(yīng)商清單。5.4.2.3要求供貨商提供合乎規(guī)格之包裝、標(biāo)示及正確的發(fā)票。5.4.3 倉庫防ESD控 制:5.4.3.15.4.3.2倉儲(chǔ)，轉(zhuǎn)運(yùn)人員必

11、須接受 ESD基本知識(shí)培訓(xùn)，懂得在儲(chǔ)存和轉(zhuǎn)運(yùn)過程中防護(hù)ESSD靜電器件及相關(guān)的存放操作要求。對(duì)ESD零件進(jìn)行清點(diǎn)驗(yàn)收時(shí)， 檢查是否有外包裝或（及）發(fā)票確認(rèn)為ESD組件。ESD組 件與非SSD應(yīng)分區(qū)存放（ESD存放架要有接地處理），并做顯著標(biāo)示。開啟ESD組件包裝的區(qū)域應(yīng)配置適當(dāng)?shù)?ESD防護(hù)設(shè)備，如防靜電桌墊，ESD手環(huán)等。5.4.3.3直接接觸組件須在有良好的靜電防護(hù)下方可接觸組件。在存放區(qū)搬運(yùn)SSD須使用專用工具（防靜電車），并使包裝完整。Vipstecrf./深圳市微浦技術(shù)有限公司文件名稱ESD控制程序文件編號(hào)WI PE 001頁數(shù)3-9文件類別工作指引制訂日期2015-12-01版本A

12、/05.4.6IPQC稽核:543.45.4.4進(jìn)料檢驗(yàn)(IQC)的 ESD控制:5.4.55.4.4.15.4.4.25.4.4.3檢驗(yàn)時(shí)確認(rèn)靜電防護(hù)及標(biāo)示是否正確，要求在靜電防護(hù)良好的區(qū)域（工作場(chǎng)所）進(jìn)行，須有ESD手環(huán)，ESDX作衣、手套、防靜電桌墊，工作桌須接靜電地。檢驗(yàn)員需對(duì)不當(dāng)標(biāo)示或不當(dāng)包裝的組件，依不合格品處理程序執(zhí)行。檢驗(yàn)員對(duì)防靜電氣泡袋、靜電桌面、靜電手套、周轉(zhuǎn)車、料箱、料盒等防靜電材料 需按要求對(duì)其進(jìn)行靜電檢測(cè)。制造過程中的ESD控制:5.4.5.1SSD加工區(qū)域，作業(yè)員須穿好防靜電衣、防靜電鞋，戴好靜電帽，戴好防靜電手環(huán)， 并確保防靜電手環(huán)可靠接地，需走動(dòng)的工位作業(yè)員須戴

13、好防靜電腳環(huán)；未做好靜電 防護(hù)者不能接觸SSD工作臺(tái)鋪防靜電桌墊， 靜電接地良好，作業(yè)中正確使用防靜電 各種工具。（如ESD電烙鐵，靜電排除裝置等）。5.4.5.2對(duì)SSD加工中若須離開原包裝，操作人員須做靜電防護(hù)，戴好接地良好靜電手環(huán)并 于加工后放回原包裝或其它防靜電容器內(nèi)。5.4.5.3SSD在組裝中，依據(jù) ME工藝工程師作業(yè)指導(dǎo)書進(jìn)行特殊防護(hù)及使用其規(guī)定工具，并 定期點(diǎn)檢其有效性。5.4.5.4制程工作人員所使用的靜電環(huán)和防靜電鞋均需每天二次用“人體靜電綜合測(cè)試儀” 加以測(cè)試，確認(rèn)功能正常，并作好記錄。5.4.5.5定期對(duì)操作員工進(jìn)行使用 ESDX具、設(shè)施及取用 SSD程序的完整訓(xùn)練，并

14、作記錄。5.4.5.6每個(gè)工作臺(tái)須有 ESD防護(hù)料件（如袋、乳棉海綿、箱等）。5.4.5.7所有進(jìn)入車間人員，必須經(jīng)過 ESD靜電鞋測(cè)試儀測(cè)試人體綜合阻值，通過方可進(jìn)入, 否則一律不準(zhǔn)進(jìn)入車間，生產(chǎn)作業(yè)人員每天上班測(cè)一次防靜電鞋，以確定防靜電鞋 的有效性，并做好記錄。5.4.5.8做好每日的日常點(diǎn)檢工作，并將點(diǎn)檢情況記錄在靜電插座 /卡扣線及靜電線末端點(diǎn)檢表中。物料周轉(zhuǎn)區(qū)須嚴(yán)格按材料存放區(qū)ESD控制規(guī)范進(jìn)行作業(yè)。Vipstecrf./深圳市微浦技術(shù)有限公司文件名稱ESD控制程序文件編號(hào)WI PE 001頁數(shù)3-11文件類別工作指引制訂日期2015-12-01版本A/05.4615.4.6.25

15、.4.75.4.6.35.4.6.45.4.6.55.4.6.65.4.6.7品管部生產(chǎn)測(cè)試及測(cè)試工程須使用ESDX作臺(tái)。清除測(cè)試區(qū)內(nèi)靜電源。定期檢查ESD設(shè)施，保證有效性。SSD組件傳送至下一個(gè)工作區(qū)時(shí)，設(shè)有防護(hù)袋裝。當(dāng)施加工作電壓時(shí)，設(shè)備接地應(yīng)良好。ESD控 制:IPQC須協(xié)助生產(chǎn)單位檢查作業(yè)員靜電防護(hù)措施是否正確及抽測(cè)各防靜電設(shè)施是否正常;IPQC每日上班前監(jiān)督員工進(jìn)行靜電鞋和靜電手腕帶的測(cè)試。5.4.9ESD點(diǎn)檢5.4.9.25.4.7.15.4.7.2定期審核供貨商是否符合 ESD規(guī)定。5.4.7.3ESDX作須經(jīng)QA檢驗(yàn)確認(rèn)。定期審核各部門是否依照 ESD控制程序進(jìn)行作業(yè)，定期進(jìn)行

16、 ESD點(diǎn)檢并做好記錄。5.4.7.4定期審核ESD訓(xùn)練計(jì)劃，工程圖是否有正確的ESD警告條文或警告。5.4.8ME ESD控制 :5.4.8.1定期檢查及測(cè)試ESD設(shè)備設(shè)施是否完好、性能及可靠性。5.4.8.2對(duì)ESD設(shè)備檢驗(yàn)測(cè)試、定期測(cè)試、校正并作好記錄ESD故障有關(guān)的資料須經(jīng)常維護(hù),問題范圍與故障趨勢(shì)所需調(diào)查校正措施須向相關(guān)主管報(bào)告。5.4.8.3ME須測(cè)試SSD組件，以對(duì)它們的 ESD敏感度進(jìn)行分類。5.4.8.4ME負(fù)責(zé)所有ESD測(cè)試項(xiàng)目之SOP及相關(guān)記錄表單的編寫。5.4.9.1點(diǎn)檢條件：全部點(diǎn)檢均在生產(chǎn)場(chǎng)地內(nèi)進(jìn)行，環(huán)境溫度20-25 C,相對(duì)濕度40%-60%點(diǎn)檢儀器：非接觸式和

17、接觸式靜電電壓表、接地電阻測(cè)量?jī)x、兆歐表及標(biāo)準(zhǔn)電極、靜 電電量表、腕帶測(cè)試儀、人體綜合電阻測(cè)試儀、離子平衡分析儀、摩擦起電機(jī)、法拉第筒、靜電屏蔽測(cè)試儀、直流電壓（表），直流電壓源。Vipstecrf./深圳市微浦技術(shù)有限公司文件名稱ESD控制程序文件編號(hào)WI PE 001頁數(shù)3-13文件類別工作指引制訂日期2015-12-01版本A/05%均應(yīng)驗(yàn)定、 允許使用符合測(cè)試要求的同類儀表。注：所使用的儀器精度不低于圍20%計(jì)量合格和在有效期內(nèi)，量程大于實(shí)際測(cè)試范549.3測(cè)試技術(shù)指標(biāo)：見附錄 A.3)5.4.9.45.4.9.4.1防靜鞋與人體綜合阻值(2次/天）5.4.9.4.2防靜電手環(huán)連接電阻

18、(2次/天）5.4.9.4.3ESDX作臺(tái)（臺(tái)墊）靜電電阻(1次/月）5.4.9.4.4防靜電母線接地電阻(1次/周）5.4.9.4.5貨架靜電電阻(1次/月）5.4.9.4.6料車臺(tái)面對(duì)車輪電阻(1次/月）5.4.9.4.7周轉(zhuǎn)箱，零件料盒表面電阻(1次/月）5.4.9.4.8工作服（工作帽，手套）表面電阻(1次/月，5.4.9.4.9流水線傳送帶表面電阻(1次/月）5.4.9.4.10防靜電地板表面電阻(1次/1年）點(diǎn)檢項(xiàng)目&周期:抽查）繼續(xù)抽查10個(gè)點(diǎn)，不合格率高于0%提出不良改善方注：抽查項(xiàng)目抽查結(jié)果高于 30%合格，案，且抽查結(jié)果高于30%不合格，繼續(xù)抽查20個(gè)點(diǎn)，不合格率高

19、于0%提出不良改善方案, 抽查結(jié)果須做好記錄，填寫相應(yīng)表單。5.4.9.5點(diǎn)檢方法表面電阻測(cè)試時(shí)，對(duì)每車間靜電地板不得少于五點(diǎn)，接地電阻、傳送帶不得少于三點(diǎn)，周轉(zhuǎn)箱不少于三只，靜電鞋不少于三雙，靜電衣不少于10件，工作臺(tái)不少于三張。點(diǎn)檢周期：見5.4.9.4 。該點(diǎn)檢方法根據(jù)中華人民共和國電子行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)（SJ/T10694-2006）電子產(chǎn)品制造與應(yīng)用系統(tǒng)防靜電檢測(cè)通用規(guī)范所制定。5.5 摩擦起電電壓測(cè)試:Vipstecrf./深圳市微浦技術(shù)有限公司文件名稱ESD控制程序文件編號(hào)WI PE 001頁數(shù)3-15文件類別工作指引制訂日期2015-12-01版本A/05.5.1使用摩擦起電機(jī)摩擦起電，

20、 并利用非接觸式靜電電壓表測(cè)試摩擦起電電壓。摩擦起電機(jī)的摩擦起電極呈圓柱狀，直徑 50mrrr 60mm重量1kg，體積電阻大于1 x 1013 Q,并用高絕緣尼龍布（表面電阻不低于 1x 1013Q）包裹以增加摩擦 （見圖1）。測(cè)試時(shí)，開動(dòng)摩擦起電機(jī)使摩擦 起電極與被測(cè)試物體摩擦，單向摩擦 20次（時(shí)間20s）停止，10s內(nèi)用非接觸式靜電電壓表測(cè) 試摩擦軌跡起電電壓。5.5.2測(cè)試工作臺(tái)面、地面、工作椅面、運(yùn)轉(zhuǎn)車表面摩擦電壓時(shí)，應(yīng)將被測(cè)物接地后利用摩擦起電機(jī)直接測(cè)試。對(duì)于板、片材（包括薄膜），應(yīng)在底面放置一塊邊長(zhǎng)不小于270mm厚度不小于0.5mm的正方形不繡鋼電極板并良好接觸，將極板接地后

21、測(cè)試。5.5.3對(duì)于產(chǎn)品（材料），以每個(gè)樣品不同點(diǎn)測(cè)試3次的平均值為結(jié)果。5.6電阻測(cè)試：點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻和系統(tǒng)電阻測(cè)試5.6.1所用電極結(jié)構(gòu)尺寸：柱電極直徑63mn± 3mm電極材料為不銹鋼或銅；電極接觸端材料導(dǎo)電橡膠，硬度60± 10（邵氏A級(jí)），厚度6mn± 1mm其體積電阻小于 500 Q；電極單重2.25kg2.5kg。5.6.2測(cè)試電壓要求見表1.測(cè)試點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻時(shí)，應(yīng)將產(chǎn)品（材料）放置在絕緣臺(tái)面上或以實(shí)際使用狀態(tài)放置。臺(tái)面表面電阻、體積電阻分別大于 1X 1013Q,其幾何周邊尺寸均大于被測(cè)材料10cm。電極之間距離300mm地面測(cè)試時(shí)，電極之間距離900m

22、m- 1000mm 測(cè)試系統(tǒng)電阻時(shí)，將被檢樣品（地面）按實(shí)際使用狀態(tài)測(cè)試。工程測(cè)試時(shí)，電極拒被測(cè)材料邊緣大于10cm35.6.35.6.4Vipstecrf./深圳市微浦技術(shù)有限公司文件類別工作指引制訂日期2015-12-01版本A/05.6.55.6.6初始施加的測(cè)試電壓為 10V:如果RxW 1 X 105 Q，則測(cè)量值為結(jié)果;如果Rx>1X 105 Q,則把電壓改為 100V（見注1）。5.6.7施加電壓為100V:由于測(cè)出的電阻取決于施加的電壓，且電阻為未知數(shù)，所以應(yīng)該執(zhí)行以下程序:5.6.8注2:如果（1 X 105<RxW 1 X 1012）Q,則測(cè)量值為結(jié)果;如果Rx

23、W 1 X 105Q，則測(cè)量值可看作為結(jié)果。為確保測(cè)試的準(zhǔn)確性，應(yīng)采用極性電極測(cè)試。對(duì)某些材料來說，薄絕緣層的電介質(zhì)有可能被擊 穿。在這種情況下不能采用這種測(cè)量方法，測(cè)試報(bào)告中應(yīng)予以說明。當(dāng)有安全性要求時(shí)，電阻 測(cè)試電壓應(yīng)為500V。對(duì)產(chǎn)品（材料）檢測(cè)，以每個(gè)樣品不同點(diǎn)測(cè)試3次的平均值為結(jié)果。上述情況表示電阻取決于施加的電壓。如果電阻小于1X 104Q，應(yīng)考慮電極本身電阻對(duì)測(cè)試結(jié)果的影響。地板和工作表面的電阻超岀本規(guī)范的范圍時(shí)，有必要采用較高的電壓來測(cè)量電阻，點(diǎn)不適用于EPA的測(cè)量。后動(dòng)地板工程檢測(cè)指標(biāo)中的系統(tǒng)電阻為 5X 104Q1 X 1010Q。5.7.1使用接地電阻測(cè)試儀測(cè)試防靜電接地

24、電阻。5.7.2測(cè)試步驟:文件類別工作指引制訂日期2015-12-01版本A/0文件名稱ESD控制程序文件編號(hào)WI PE 001頁數(shù)3-11a)將被測(cè)地極用導(dǎo)線與儀器端子E連接;在相同直線方向20m 40m潮濕土地處，分別插入電位探測(cè)針及電流探測(cè)針，個(gè)接于儀器端子 P、C； 設(shè)置“倍率盤”倍數(shù);自緩至塊搖動(dòng)儀器手柄，達(dá)到約120r/min，調(diào)整“測(cè)量標(biāo)度盤”，指針指于零位時(shí)，讀數(shù)乘以倍率標(biāo)度，即為接地電阻； 按測(cè)試步驟c ）、d ）反復(fù)測(cè)試35次，取平均值;若有其它適用儀器，可按相應(yīng)儀器所規(guī)定的方法進(jìn)行測(cè)試。5.8 表面電阻（率）和體積電阻（率）的測(cè)量5.8.1測(cè)試時(shí)，需將產(chǎn)品（材料）放在絕緣

25、臺(tái)面或測(cè)試架上，絕緣臺(tái)面或測(cè)試架上，絕緣臺(tái)面表面電10cm。阻、體積電阻分別大于1 X 1013Q，其幾何周邊尺寸均大于被測(cè)材料5.8.2表面電阻、體積電阻測(cè)試方法和測(cè)試測(cè)試電極按照1410規(guī)定執(zhí)行。表面電阻率和體積電阻率按GB 1410中規(guī)定計(jì)算,IEC 61340-5-1有關(guān)規(guī)定執(zhí)行，或者按 GE 測(cè)試電壓按照表1要求。5.9表面電阻、體積電阻測(cè)試電極5.9.1電極組件由2個(gè)導(dǎo)電材料制作的同心環(huán)電極和1個(gè)直徑70mn85mm厚4口0圓柱狀反向電極（電極面層有3mn厚導(dǎo)電材料，其邵氏硬度 60± 10）組成（見圖2）,電極被施以10V電壓，在不 銹鋼、非腐蝕性金屬板（不是鋁）是測(cè)試

26、時(shí)，接觸電阻應(yīng)小于103Q。電極材料應(yīng)在測(cè)量條件下腐蝕，并不與被測(cè)材料起反應(yīng)。文件類別工作指引制訂日期2015-12-01版本A/05.9.2測(cè)試程序5.9.2.1被測(cè)試材料應(yīng)放在 1個(gè)光滑、平面的架子（或平面）上。當(dāng)用500V電壓進(jìn)行測(cè)試時(shí), 其體積和表面電阻要大于1 < 1013q。相對(duì)與被測(cè)試樣品尺寸而言，比被測(cè)試材料的長(zhǎng)和寬大10mm厚度至少應(yīng) 1mm592.2被測(cè)樣品應(yīng)未經(jīng)化學(xué)、物料處理。電極與地面之間的漏泄電流對(duì)儀表的讀數(shù)不應(yīng)有重 要的影響。要注意在放電極和裝樣品時(shí)要盡量減少電流漏泄，以免影響測(cè)量結(jié)果。5.9.2.3樣品的形狀最好為片狀，尺寸不小于110mm< 120m

27、m592.4應(yīng)準(zhǔn)備3塊樣品材料。樣品應(yīng)標(biāo)明清楚，以便鑒別被測(cè)表面。 電極按照?qǐng)D3與儀器連 接，然后把樣品放在絕緣臺(tái) （架）上，面朝上。把電極組件放在樣品距邊緣至少 的距離處。10mm5.9.2.5給儀器施加表1規(guī)定電壓，15s后記錄讀數(shù)。5.9.2.6對(duì)每個(gè)樣品（材料），以不同點(diǎn)測(cè)試3次平均值為結(jié)果。文件類別工作指引制訂日期2015-12-01版本A/0文件名稱ESD控制程序文件編號(hào)WI PE 001頁數(shù)3-135.10靜電電壓衰減時(shí)間的測(cè)試U1減少到約定的5.10.1靜電電壓衰減時(shí)間是指把樣品放置在靜電率衰減測(cè)試儀充電板上，初始電壓 百分比電壓水平 U21 X 1013Q,其示意圖5.10.

28、2的時(shí)間。測(cè)試儀器使用離子平衡分析儀，充電極板與接地之間電阻大于（見圖4）。文件類別工作指引制訂日期2015-12-01版本A/0測(cè)試方法：將待測(cè)試樣品放置在充電極板上，并良好接觸。在充電電極板上充電，使電壓達(dá)到± 1000V后，斷開儀器充電高壓電源的同時(shí)，將待測(cè)樣品可靠接地，記錄極板電壓衰減到± 時(shí)的時(shí)間。在測(cè)試時(shí)，接地極不得與充電極板相接。100V5.11靜電屏蔽性能的檢測(cè)：本方法可評(píng)估柔韌性包裝袋的靜電屏蔽性能。5.11.1檢測(cè)儀器：靜電屏蔽檢測(cè)儀的設(shè)計(jì)電壓為指標(biāo)應(yīng)符合IEC 61340-5-1 中規(guī)定1000V,由一個(gè)放電器和一組電極構(gòu)成。儀器技術(shù)5.11.2樣品（

29、袋）的尺寸要求：袋的最小尺寸不小于 200mm< 250mm要有開口使電極能夠完全裝入。 電極放進(jìn)袋中的尺寸不小于100mm并居中。對(duì)其它尺寸的袋來說，應(yīng)該使電極放置在袋的中心。5.11.3測(cè)試要求：將至少 6個(gè)要測(cè)樣品放置在相對(duì)濕度12%± 3%或50%± 3%）的環(huán)境中預(yù)置 48h,然后將儀器電容電極放入袋中居中位置，接通放電器電源后， 讀出與電流傳感器連接的電壓顯示器上的示值。5.12靜電電量測(cè)試：利用物體摩擦起電和其對(duì)大地的分布電容，測(cè)試出物體所帶靜電電量。5.12.1測(cè)試設(shè)備：法拉第筒、摩擦起電器具、靜電電量表 第內(nèi)筒、靜電電量表輸入端對(duì)接地端電阻大于（接觸

30、式靜電電壓表、電容器）。要求法拉121< 10 Qo5.12.2測(cè)試：將被測(cè)物用摩擦器具摩擦后，放入與靜電電量表電氣連接的法拉第筒內(nèi)，測(cè)出帶電 量。Vip航噸深圳市微浦技術(shù)有限公司文件名稱ESD控制程序文件編號(hào)WI PE 001頁數(shù)3-25文件類別工作指引制訂日期2015-12-01版本A/05.13各類防靜電產(chǎn)品（材料）的測(cè)試5.13.1防靜電活動(dòng)地板測(cè)試5.13.2防靜電活動(dòng)地板測(cè)試按照SJ/T 107965.13.3防靜電貼面板（高離子有機(jī)類）測(cè)試5.13.45.13.5防靜電地坪涂料測(cè)試5.13.6防靜電地坪涂料測(cè)試按照SJ/T 112945.13.7腕帶測(cè)試:防靜電貼面板（高離

31、子有機(jī)類）測(cè)試按照SJ/ 112365.13.7.1所需儀器：腕帶可通過 1個(gè)兼容的插頭終端，1個(gè)能夠保證良好接觸、尺寸足夠大 的金屬或?qū)щ姷氖钟|摸板來實(shí)現(xiàn)電源的連接。5.13.7.2測(cè)試a)b)6);虛A盒S1豌帶內(nèi)袁面對(duì)電縊扣電阻測(cè)試團(tuán)0腕帶連按電纜兩端電K前測(cè)遺腕帶穿戴狀態(tài)下電阻（系統(tǒng)電阻）：操作者以正常方式戴上腕帶，把線端插入 測(cè)試器。壓住手觸摸板，直至儀器可以穩(wěn)定的測(cè)量為止（見圖腕帶內(nèi)表面對(duì)電纜扣電阻（點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻）：將兩測(cè)試電極分別接觸腕帶內(nèi)表面和電纜扣與測(cè)試儀連接測(cè)量（見圖7）腕帶接地電纜兩端電阻（點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻）：用測(cè)試電極連接電纜兩端測(cè)試 （見圖8）。圖fi E陽06帯寡«

32、;下電阻的測(cè)誡 Vipstecrf./深圳市微浦技術(shù)有限公司文件名稱ESD控制程序文件編號(hào)WI PE 001頁數(shù)3-29文件類別工作指引制訂日期2015-12-01版本A/05.13.8人體綜合電阻測(cè)試:5.13.7.3穿著工作鞋、服和手套（指套）的人站在人體綜合電阻測(cè)試儀的金屬導(dǎo)電極板上,9)手觸摸板電極測(cè)出電阻值。（如圖5.13.9防靜電鞋電阻的測(cè)試方法：實(shí)驗(yàn)室測(cè)試時(shí)采用GB 4385規(guī)定測(cè)試。5.13.10手套、指套、帽、襪、腳束和工具（刷）的測(cè)試:5.13.10.2用兩個(gè)直徑為電阻（見下圖） 述電極不適合,5.13.10.1 用兩個(gè)直徑為20mm勺電極良好接觸在手套、指套、帽、襪、腳束

33、內(nèi)與外任意點(diǎn)上，測(cè)試出內(nèi)外兩點(diǎn)間電阻（見下圖）。測(cè)試襪子時(shí)，電極應(yīng)放置在襪底內(nèi)外 兩點(diǎn)。10mm勺銅箔電極鏈接在工具（刷）兩頭任意兩點(diǎn)，測(cè)試出兩點(diǎn)間 時(shí)，被測(cè)物品應(yīng)放在一塊絕緣電阻大于1X1013Q的板上。若上可以使用連接夾，電極與被測(cè)物良好接觸。5.13.11防靜電服裝的測(cè)試方法5.13.10.3帶電量測(cè)試：在實(shí)驗(yàn)室測(cè)試時(shí)應(yīng)符合GB 12014有關(guān)規(guī)定5.13.10.4電阻的測(cè)試：測(cè)量點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻，服裝要放在絕緣臺(tái)上。絕緣臺(tái)的表面電阻要大于1X1014Q,要有足夠的尺寸。點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻測(cè)量至少要測(cè)量3個(gè)不同位置的值。要注意兩級(jí)之間的間距不小于300mm（見圖11）服裝點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻測(cè)試是指內(nèi)表面與外表

34、之間電阻。5.13.10.5摩擦起電電壓測(cè)試：工作服摩擦起電電壓測(cè)試應(yīng)符合GB/T 12703的規(guī)定。文件類別工作指引制訂日期2015-12-01版本A/05.13.12集成電路防靜電包裝管測(cè)試方法：防靜電包裝管摩擦起電電壓、電荷量測(cè)試應(yīng)分別符合SJ/T5.13.135.13.145.13.155.13.165.13.175.13.185.13.191047Z中的要求。柔韌性包裝類的測(cè)試方法：靜電衰減期、靜電屏蔽性能、表面電阻率測(cè)試方法應(yīng)分別符合GJB 2605中的要求。周轉(zhuǎn)容器、盒的測(cè)試方法： 靜電衰減期、靜電屏蔽性能、表面電阻率和體積電阻率測(cè)試方法應(yīng)符合SJ/T 11277有關(guān)規(guī)定。窗簾的

35、測(cè)試方法：點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻、靜電摩擦起電電壓測(cè)試方法應(yīng)符合規(guī)定。防靜電存放架測(cè)試方法：點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻、系統(tǒng)電阻測(cè)試方法應(yīng)符合規(guī)定，所用電極直徑為10mm工位與物流傳送器具測(cè)試方法：表面和體積電阻、點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻、靜電摩擦起電電壓測(cè)試方法應(yīng)符合規(guī)定。墻體：墻面表面電阻測(cè)試方法應(yīng)符合規(guī)定。防靜電劑（液、蠟、膠）的測(cè)試方法1X 1012Q 的絕5.13.19.1 將防靜電劑（液、蠟、膠）噴灑在一塊體積電阻和表面電阻大于緣板上，在相對(duì)濕度 RH40%r 50%的環(huán)境中放置 48h后，測(cè)試其表面電阻。5.13.20座椅的測(cè)試方法:深圳市微浦技術(shù)有限公司文件名稱ESD控制程序文件編號(hào)WI PE 001頁數(shù)3-31文件類

36、別工作指引制訂日期2015-12-01版本A/055.13.19.2 椅面與靠背之間點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻測(cè)試方法符合“點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻和系統(tǒng)電阻測(cè)試”規(guī)定,測(cè)試位置（見圖12 ）。5.13.19.3 椅面與腳輪之間系統(tǒng)電阻測(cè)試方法符合“點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻和系統(tǒng)電阻測(cè)試”規(guī)定。測(cè)試時(shí)，腳輪下放置一塊 200mmX200m導(dǎo)電板并良好接觸。一個(gè)電極與導(dǎo)電板接觸， 另一個(gè)與椅面良好接觸（見圖13）4 a電扭S12椅面與靠»之間慮對(duì)點(diǎn)電陽測(cè)試方法圖ffi伯 翔面于起鞄之同系擁電隠測(cè)試國5.13.21運(yùn)轉(zhuǎn)車的測(cè)試方法:5.13.19.4車臺(tái)面表面點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻測(cè)試符合 “點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻和系統(tǒng)電阻測(cè)試”規(guī)定（見圖14）。5.1

37、3.19.5車臺(tái)面與腳輪之間系統(tǒng)電阻的測(cè)試方法和座椅測(cè)試方法一樣（見圖 測(cè)量?jī)x器、設(shè)備同所用圖14車會(huì)面表面點(diǎn)對(duì)點(diǎn)單阻測(cè)試圖5.6規(guī)定。電W電拱7*S44.WA車VtES1I5軍臺(tái)歯與曲輪才間黑馥宦足萌溝試fflVipstecrf./深圳市微浦技術(shù)有限公司的規(guī)定（見圖18、33）。文件類別工作指引制訂日期2015-12-01版本A/0文件名稱ESD控制程序文件編號(hào)WI PE 001頁數(shù)3-195.13.22 工作臺(tái)的測(cè)試方法:16)5.13.19.6工作臺(tái)表面點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻測(cè)試符合“點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻和系統(tǒng)電阻測(cè)試”規(guī)定（見圖5.13.19.7測(cè)試系統(tǒng)電阻時(shí)，一個(gè)電極與臺(tái)面良好接觸，另一個(gè)電極（夾子）與工

38、作臺(tái)接地線連接（見圖17）。5.13.23地面、地墊的測(cè)試方法:“點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻和系統(tǒng)電阻測(cè)試”5.13.19.8地面、地墊點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻和系統(tǒng)電阻測(cè)試應(yīng)符合Vipstecrf./深圳市微浦技術(shù)有限公司文件類別工作指引制訂日期2015-12-01版本A/0文件名稱ESD控制程序文件編號(hào)WI PE 001頁數(shù)3-205.13.24離子靜電消除器的測(cè)試方法5.13.19.9測(cè)試用設(shè)備：測(cè)試離子靜電消除器消靜電能力的儀器采用離子平衡儀，充電板的尺寸應(yīng)該為 150mmX150mm最小電容為 15 pF，測(cè)試電路的總電容量應(yīng)為（20 ± 2 ）p F。附件沒有接地導(dǎo)體，當(dāng)充電時(shí)，充電板在5min內(nèi)的自

39、然放電不應(yīng)超過測(cè)試電壓的10%應(yīng)能精準(zhǔn)地測(cè)量充電板的電壓變化及時(shí)間變化。5.13.19.10測(cè)試時(shí)臺(tái)式離子靜電消除器與測(cè)試儀充電板之間的相對(duì)位置（見圖20）。測(cè)試方法：將測(cè)試儀和離子靜電消除器按（圖20）所示放置（壓縮氣體離子槍測(cè)試位置（見圖21）,高駕電離子測(cè)試位置（見圖22）,將測(cè)試儀充電板充規(guī)定電壓，打開靜電消除器電源，使充電極板暴露在電離氣流中，關(guān)閉充電電源 同時(shí)監(jiān)測(cè)極板電壓降至約定電壓時(shí)的靜電衰減時(shí)間。然后在中心線每個(gè)測(cè)試點(diǎn) 監(jiān)測(cè)殘余電壓。5.13.19.11Vipstecrf./深圳市微浦技術(shù)有限公司7.0相關(guān)文件:文件類別工作指引制訂日期2015-12-01版本A/0文件名稱ESD控制程序文件編號(hào)WI PE 001頁數(shù)3-216.0相關(guān)表單:6.1FORM/VP-QA-004#01ESD點(diǎn)檢記錄表6.2F0RM/VP-QA-004#02靜電插座/卡扣線及靜電線末端點(diǎn)檢表6.3F0RM/VP-QA-004#03靜電手環(huán)點(diǎn)檢表6.4F0RM/VP-QA-004#04靜電鞋測(cè)試記錄表7.1ANSI_ESD_S20.20-2014 ESD 靜電放電（ESD 協(xié)會(huì)標(biāo)準(zhǔn)7.2 SJ/T 10694-2006電子產(chǎn)品制造與應(yīng)用系統(tǒng)防靜電檢測(cè)通用規(guī)范文件類別工作指引制訂日期2015-12-