MOCVD Recipe管控規(guī)定(第二版).doc

合肥彩虹藍(lán)光科技有限公司技術(shù)文件 3/6文件名稱MOCVD Recipe管控規(guī)定文件編號HL/DN-35-00-002-1.0產(chǎn)品型號或材料代號工藝代號生效日期替代版本2011.10.30新發(fā)布一、 目的為明確公司MOCVD Recipe工藝程序的管控，指導(dǎo)外延片生產(chǎn)的規(guī)范作業(yè)，特制定本管控規(guī)定。二、 適用范圍適用于合肥彩虹藍(lán)光科技有限公司量產(chǎn)MOCVD機(jī)臺。三、主要內(nèi)容 一般來說，正常生產(chǎn)情況下，機(jī)臺長的職責(zé)是重復(fù)Recipe的執(zhí)行，維持生產(chǎn)穩(wěn)定性，不可擅自更改Recipe工藝參數(shù)。然考慮生產(chǎn)實際需要，特制定本規(guī)則如下：1、 自主調(diào)機(jī)人員與機(jī)臺長正式完成機(jī)臺交接之日起，原則上機(jī)臺長的權(quán)限范圍僅限于修正量子阱溫度調(diào)節(jié)波 長；2、 若參考快速數(shù)據(jù)結(jié)果，需對Recipe工藝參數(shù)進(jìn)行修正時，（1） 修正幅度要控制在5%之內(nèi)（溫度修正幅度5），若需變動更大幅度，必須與原主調(diào)機(jī)人員協(xié)商，在其確認(rèn)Recipe后方可執(zhí)行；（2） 修正參數(shù)要控制在2個以內(nèi)（量子阱溫度修正波長除外），若需變動更多參數(shù)，必須與原主調(diào)機(jī)人員協(xié)商，在其確認(rèn)Recipe后方可執(zhí)行；（3） 修正項目必須避開量子阱部分，若需變更，必須與原主調(diào)機(jī)人員協(xié)商，在其確認(rèn)Recipe后方可執(zhí)行。3、 若需在機(jī)臺上進(jìn)行產(chǎn)品驗證或提升時， （1） 每5個run允許一次調(diào)整，且為“Y” Run；（2） 必須與原主調(diào)機(jī)人員協(xié)商，在其確認(rèn)Recipe后方可執(zhí)行；（3） 調(diào)整參數(shù)要控制在2個以內(nèi)（量子阱溫度修正波長除外）；4、 若機(jī)臺長未按照以上規(guī)定擅自更改Recipe，將視情節(jié)嚴(yán)重程度對相關(guān)責(zé)任人給予相應(yīng)的績效處罰。更改標(biāo)記更改單編號更改員日期更改標(biāo)記更改單編號