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1、第4章電容式傳感器4.1電容式傳感器可分為哪幾類?各自的主要用途是什么?答:電容式傳感器可分為三類,具體如下:(1)變極距型電容傳感器:在微位移檢測(cè)中應(yīng)用最廣。(2)變面積型電容傳感器:適合測(cè)量較大的直線位移和角位移。(3)變介質(zhì)型電容傳感器:可用來測(cè)量紙張,絕緣薄膜等的厚度,也可用來測(cè)量糧食、紡織品、木材或煤等非導(dǎo)電固體物質(zhì)的濕度。4.2 為什么電容式傳感器的絕緣、屏蔽和電纜問題特別重要?如何解決?答:電容式傳感器由于受結(jié)構(gòu)與尺寸的限制,其電容量都很小,屬于小功率、高阻抗器,因此極易受外界干擾,尤其是受大于它幾倍、幾十倍的、且具有隨機(jī)性的電纜寄生電容的干擾,它與傳感器電容相并聯(lián),嚴(yán)重影響傳感
2、器的輸出特性,甚至?xí)蜎]沒有用信號(hào)而不能使用。解決辦法:采用驅(qū)動(dòng)電纜法、整體屏蔽法、組合式與集成技術(shù)。4.3 試計(jì)算下圖所示各電容傳感元件的總電容表達(dá)式。(極板的有效面積為A,真空介電常數(shù)為無)(c)(a)(b)解(1)圖(a)等效為三個(gè)平板電容器串聯(lián)0樂A_7%A無/ACi-cC2-cC3一did2CI3總電容量為1.工,_di.d2,d3CiC2C3dl;2;3d23d3;1;20'1"23AP;1;23Ad1;2;3.d2;1;3,d3*;2AdI_d_2_ds_;0;1;0;2;0飛(2)圖(b)等效為兩個(gè)平板電容器并聯(lián)C1=C2=C=C222;0AC并=C1C2=d
3、(3)圖等效為兩柱形電容器并聯(lián),總電容量為2二;H.2二;o(L-H)2二;0L2二(二二0)0_Hlnd2/d1ln(d2/d1)ln(d2/d1)ln(d2/d1)4.4在壓力比指示系統(tǒng)中采用差動(dòng)式變間隙電容傳感器和電橋測(cè)量電路。已知:融0.25mm;D=38.2mm;R=5.1kQ;Usr=60V(交流),頻率f=400Hz。試求:該電容傳感器的電壓靈敏度Ku(V/pm);(2)當(dāng)電容傳感器的動(dòng)極板位移曲10pm時(shí),輸出電壓Usc值。,固定電極】活動(dòng)電搬1固定電極UKod解:(1)根據(jù)圖中所示的橋路連接方法,可得ULscUsr2Rj。11RR-jC1jC2UsrC2-C1C1C22jC1
4、C2RUsr2初始電容Ci=C2=Co;0;rA0co2;07:D28.8510二38.2104、040.2510”=40.610"2F=40.6pF當(dāng)極板移動(dòng)時(shí),在線性近似條件下,即當(dāng)AC/C0«1時(shí),兩電容的改變量大小相等,符號(hào)相反,若Ci減小AC,C2增加AC,反之亦然。故ul_C2-Ci®Co;:C-(C0-,C)Ussc一6C22jC1c2R2-C0-:CC0:C2j.(C0-:C)(C0:C)R2:Culsr,C/C0Usr,C/C0Usrsisisi=22=2之C0jC0-(:C)R21j1-(:C/C0)R21jC0R2在線性近似的條件下有C0二0
5、可得UscscUscsc1jC0R2:/-p1(C0R)22,/,0Usr1(RR)22因?yàn)镃°R=2二40040.61。"5.1103=5.21。":二:二1所以Usc=三三',02從而得ku=%工鳴=120V/mm=0.12V/mu.:、.2、:00.5(2)Us"Ku、=0.1210=1.2Vscu4.5 有一臺(tái)變間隙非接觸式電容測(cè)微儀,其傳感器的極板半徑r=4mm,假設(shè)與被測(cè)工件的初始間隙d0=0.3mm。試求:(1)如果傳感器與工件的間隙變化量d=±10pm,電容變化量為多少?(2)如果測(cè)量電路的靈敏度足Ku=100mV/pF
6、,則在d=M師時(shí)的輸出電壓為多少?解:由題意可求(1)初始電容:C0一一二2_=1.4810F8.85410721二(4102)20.3107由竺.=竺則當(dāng)Ad=±10um時(shí)Codo'八八d12_1010C=C0=1.4810J23-=_0.049pFd00.310“(2)當(dāng)Ad=pm時(shí)八八dJ2土110-6C=C0=1.48103k0.0049pFd00.310U0=ku.C=100mV/pF(_0.0049pF)=0.49mV4.6 有一變間隙式差動(dòng)電容傳感器,具結(jié)構(gòu)如下圖所示。選用變壓器交流電橋作測(cè)量電路。差動(dòng)電容器參數(shù):r=12mm;di=d2=do=0.6mm;
7、169;=8.85l0-12F/m,極板間介質(zhì)為空氣。測(cè)量電路參數(shù):Usr=3sincct(V)。試求當(dāng)動(dòng)極板上輸入位移(向上位移)d=0.05mm時(shí),電橋輸出端電壓Usc0解:初始電容C1=C2=C0;0;rA;0r二r128.8510,21二(1210一)3d0d00.610工2_12_=6.6710F變壓器輸出電壓USc2UI-UI=Z乙Z2Z1Z2jC2jC1C1c2其中Z1、Z2分別為差動(dòng)電容傳感器C1、C2的阻抗。當(dāng)動(dòng)極板向上位移時(shí),Ci=C0+AC,C2=C0-AC,且9=包,由此可得C0d0UscCCJ二j)乂CiC2C0Usr-sr0.053sintd0d020.62=0.1
8、25sint(V)4.7 已知平板電容傳感器極板間介質(zhì)為空氣,極板面積S=a>a=(2x2)cm2,間隙d0=0.1mm。求:傳感器的初始電容值。若由于裝配關(guān)系,使傳感器極板一側(cè)問隙do,而另一側(cè)間隙為do+b(b=0.01mm),此時(shí)傳感器的電容值解:初始電容;0;S8.851021(210立)22C0=(3)-35.410F-35.4pFdo0.110x處,寬當(dāng)兩極板不平行時(shí),用積分法計(jì)算傳感器的電容,如上圖所示,位置為度為dx、長(zhǎng)度為a的兩個(gè)狹窄長(zhǎng)條之間的電容為dC;0adxd0bx/a所以,總電容為cc;01a;0;ra2b8.85101(210)20.01C二dC二一0-r-d
9、x=-0-ln(1)=-ln(1)00d0bx/abd00.01100.12_=33.810F=33.8pF4.8 下圖(a)所示差動(dòng)式同心圓筒柱形電容傳感器,其可動(dòng)內(nèi)電極圓筒外經(jīng)d=9.8mm,固定電極外圓筒內(nèi)經(jīng)D=10mm,初始平衡時(shí),上、下電容器電極覆蓋長(zhǎng)度Li=L2=L0=2mm,電極間為空氣介質(zhì)。試求:(1)初始狀態(tài)時(shí)電容器Ci、C2的值;(2)當(dāng)將其接入習(xí)題圖b)所示差動(dòng)變壓器電橋電路,供橋電壓E=10V(交流),若傳感器工作時(shí)可動(dòng)電極筒最大位移&x=±0.2mm,電橋輸出電壓的最大變化范圍為多少?(a)(b)解:(1)初始狀態(tài)時(shí)C1=C2=C0=1232二;0L02二8.8510210lnDd=5.5110,2F=5.51pF9.8(2)當(dāng)動(dòng)電極筒位移x=+0.2mm(向上)時(shí),Li=2+0.2=2.2mm,L2=20.2=1.8mm,Ci2二;。Li2二8.8510122.210C2lnDdin”9.8_12_-6.0610F-6.06pF2二8.851021.810*in2din股9.82_=4.9610F=4.96pF差動(dòng)變壓器電橋輸出為EC1-C2106.06-4.962cle226.064.96-12二二0.5V同理,當(dāng)動(dòng)電極筒位移&x=0.2mm(向下)時(shí),Li=20.
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