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等離子體的特性探究

核科學與技術系張鴻玉2019年2月26日

直流輝光等離子體Ar氣抽真空通氬氣擊穿氣體輝光放電等離子體的伏安特性曲線剛開機時測量的等離子體的擊穿電壓帕邢定律[1]氣壓p、極板間距d正離子的表面電離系數(shù)γ引起原子電離的最小電子能量[1]侯清潤,茅衛(wèi)紅,陳宜保.氣體放電實驗與帕邢定律[J].物理實驗,2004,24(1):3-4,8.DOI:10.3969/j.issn.1005-4642.2004.01.001.

不同條件下的擊穿電壓系統(tǒng)氣壓無法更低最小擊穿電壓~450V雙探針法測量等離子體參數(shù)[2]葛萌,張莉莉,蔡惠華,等.利用靜電雙探針對輝光放電等離子體診斷分析[J].宇航計測技術,2017,37(2):68-72.DOI:10.12060/j.issn.1000-7202.2017.02.14.探針的伏安特性曲線等離子體電子溫度和等離子體密度[2]雙探針法測量等離子體參數(shù)

雙探針法測量等離子體參數(shù)改變氣壓改變功率雙探針法測量等離子體參數(shù)改變氣壓改變功率等離子體光譜波長定標公式查找NIST原子光譜數(shù)據(jù)庫二價氬離子其余為一價氬離子實驗結論直流輝光等離子體的電流隨放電管電壓增大而增大，隨氣壓增大而增大；在10-100Pa氣壓范圍內(nèi)，直流輝光等離子體的擊穿電壓滿足帕邢定律；氣壓22Pa，功率為8.2w時，由雙探針法測得等離子體電子溫度

等離子體密度；根

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