電子工廠高級別潔凈室的建造

.⑤利用蓄冰和蓄熱等優(yōu)惠政策。四、電子工廠高級別潔凈室的消防和排煙〔一〕高級別潔凈室消防的重要性1、潔凈室尤其是高級別潔凈室,多居于建筑的中心部位,是無外墻、無外窗、無外門又極為密閉的無窗廠房或密閉廠房。這樣的建筑一旦發(fā)生火災給人員的疏散帶來極大地困難,處理不好會給人員和財產(chǎn)帶來極大的損失。2、微電子和光電子用的高級別潔凈室在生產(chǎn)過程中使用和產(chǎn)生大量的有毒有害、易燃、易爆的特氣、烷類、有機物質(zhì)和酸堿氣體〔如上節(jié)所訴〕,這些物質(zhì)不僅是助燃、爆炸的物質(zhì)而且還會傷與人員的生命。一旦產(chǎn)生火災,后果不堪設想。3、如前所述,高級別潔凈室的初投資十分昂貴,單就其基建本身單位造價就要25000~50000元/㎡；其中的生產(chǎn)設備價格貴的更加驚人,有的設備一臺就數(shù)百萬美元,因此,消防對保護這樣的建筑的財產(chǎn)損失就更加重要了。4、潔凈室內(nèi)的靜電也是誘發(fā)火災的隱患,因此要重視靜電的消除?！捕碀崈羰业南来胧┌?潔凈產(chǎn)房設計規(guī)XGB50073-2001"規(guī)定：1、在潔凈室的建筑和裝修上面規(guī)定："潔凈產(chǎn)房的耐火等級不應低于二級。"潔凈室的頂棚和壁板〔包括夾心材料〕應為不燃燒體,且不得采用有機復合材料。""頂棚的耐火極限不應低于0.4h,疏散走道的頂棚的耐火極限不應低于1.0h,在同一個防火區(qū)分區(qū)內(nèi)潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間應設置不燃燒體隔斷,其墻和頂棚的耐火極限不應低于1h,其墻上門、窗的耐火極限不應低于0.6h。"2、在消防條文中還規(guī)定,"在潔凈室的生產(chǎn)層、上技術(shù)夾層和下技術(shù)夾層均應設室內(nèi)消火栓滅火系統(tǒng)。消火栓用水量≥10L/S,潔凈廠房內(nèi)各場所必須設置滅火器"。并且還規(guī)定,"潔凈廠房宜設置預作用式制動噴水滅火系統(tǒng)"。"潔凈廠房的疏散走廊,應設置機械防排煙設施。""潔凈室機械防排煙系統(tǒng)宜與通風和凈化空調(diào)系統(tǒng)合用,但必須采取可靠的防火安全措施。"3、還規(guī)定,"潔凈室使用可燃氣體處于應設可燃氣體的報警裝置和事故排風裝置,報警裝置應與相應的事故排風機聯(lián)鎖,""潔凈室的地面應具有導靜電性,地面表層應采用靜電耗散性材料制作,其表面電阻率應為105-1012歐姆,并且設置有導電泄放和接地措施。對地的泄放電阻值應為105-109歐姆。""潔凈室的凈化空調(diào)系統(tǒng)應采取防靜電接地措施等。"〔三〕高級別潔凈室的防排煙前面已敘述過,在"潔凈產(chǎn)房設計規(guī)X"GB50073-2001中明確規(guī)定："潔凈廠房的疏散走廊應設置機械防排煙設施。""潔凈室機械防排煙系統(tǒng)宜與通風、凈化空調(diào)系統(tǒng)合用,但必須采取可靠的防火安全措施,并應符合現(xiàn)行的國家標準"建筑設計防火規(guī)X〔GBJ-16〕"。而在兩規(guī)X中均沒有明確要求潔凈室一定要設置機械排煙系統(tǒng)。而且,這樣的潔凈室凈化級別高,頂棚滿布高效過濾器〔HEPA〕,面積很大〔大多在4000㎡-10000㎡〕,又因生產(chǎn)工藝的原因,不可能劃分成若干個防煙分區(qū),因此排煙量極大,設置排煙系統(tǒng)的難度很大。而且各地方的消防部門對這一要求的掌握也不盡一致。但這一類型的潔凈室往往都投保于國外的保險公司,這些保險公司為了自身的的利益都要求對潔凈室設置排煙系統(tǒng),否則就要提高投保費用。一般對這一的潔凈室設置排煙系統(tǒng),目前常用的有下排煙和上排煙的兩種方式：下排煙方式：下排煙一般是在潔凈室的回風技術(shù)夾層〔下技術(shù)夾層〕或回風豎井內(nèi)設置排煙口,當潔凈室發(fā)生火災時,開啟排煙口,聯(lián)鎖啟動排煙風機進行排煙。此時新風機組繼續(xù)進行補充新風,新風由FFU送入潔凈室。但是,采用下排煙方式時應特別注意,FFU向下送風的風速應大于煙氣上升的速度排煙效果好,否則煙氣就會在潔凈室的頂部集聚,影響煙氣的排除。一般情況下,FFU的送風速度為0.25~0.5m/s,而火災的熱釋放只要大于3kw時煙氣的上升速度就會大于0.5m/s。故一般下排煙的方式只有在火災剛剛發(fā)生時排煙效果才好。下排煙方式在國外的集成電路參數(shù)廠采用的較多,但國內(nèi)的消防部門一般不容易接受。上排煙方式：上排煙一般是潔凈室吊頂上設置排煙口,當潔凈室發(fā)生火災時,開啟排煙口,聯(lián)鎖啟動排煙機,此時新風機組照常運行,補充新風。因排煙氣流方向與煙氣上升方向一致,因此排煙效果好。但最大的問題是排煙口的設置問題,對于非單向流潔凈室高效過濾器在吊頂上不是滿布的,這一問題還容易解決,但對于高級別垂直單向流潔凈室而言,吊頂上滿布了高效過濾器或FFU,排煙口的設置就成了一個大問題。還好,目前已有一些凈化設備公司已經(jīng)開發(fā)了FFU和排煙口相結(jié)合的產(chǎn)品,這就很巧妙地解決了這一難題。還有一個由于工藝的要求不能將整個大面積的潔凈室劃分為若干個防煙分區(qū)的問題,目前還只能將4000~10000m2的潔凈室看作一個防煙分區(qū)。因此排煙量非常大,為了減少排煙量,通常把工藝設備的局部排風系統(tǒng)也兼作排煙系統(tǒng)來滿足偌大的排煙量的要求。我國某TFT-LCD高級別潔凈室消防的設計實例設計前與當?shù)叵乐鞴懿块T聯(lián)系,提前匯報,加強溝通,介紹工程情況和消防設計方案并申訴道理,征求消防主管部門意見,如有困難,分析原因,取得理解,找到出路,保證安全。消防的設計原則是以防為主,與時發(fā)現(xiàn)火情,將火災消滅在初期,盡量減少損失。具體消防措施①報警措施：·重要的工藝設備本身自帶消防設備和溫感、煙感探頭,能做到與時報警,與時滅火?！崿F(xiàn)早期報警。采用空氣采樣器和溫感探頭聯(lián)合報警,能做到對明火和陰火都能早期預測,早期報警。因為,采用空氣采樣器的探測來采集空氣中的粒子來進行分析,對于陰火要比煙感和溫感早預知、早報警。對于明火溫感探頭要比空氣采樣器和煙感探頭早預知、早報警。②采用自動噴淋滅火系統(tǒng)和消火栓滅火系統(tǒng)·在潔凈室和上下技術(shù)夾層內(nèi)均設消火栓滅火系統(tǒng)。·在潔凈室和上下技術(shù)夾層內(nèi)均設預作用自動噴淋滅火系統(tǒng)。③設防排煙系統(tǒng)·疏散走廊設置機械防排煙系統(tǒng),保證人員疏散安全?！だ霉に囋O備的局部排風兼作火災時的排煙系統(tǒng),并采用雙速排風機。④對于工藝生產(chǎn)用的易燃易爆的火災危險物品〔特氣、烷類、有機物質(zhì)〕做到火災時能迅速撤離現(xiàn)場,有毒有害的全部迅速排空,一般排風不間斷運行,與時啟動事故排風系統(tǒng)。⑤對于易燃易爆、有毒有害氣體而言,在氣源和使用氣體的生產(chǎn)設備之間設中間分配箱。分配箱與氣源和設備之間均設有切斷閥門。在正常狀態(tài)下,分配箱內(nèi)的氣體與氣源是斷開的,即使發(fā)生事故也不至于造成危險氣體的大量泄漏?；馂臅r還要切斷分配箱與使用設備之間的聯(lián)系,以利滅火和排空。⑥火災時的自動控制程序·早期工作一切正?！せ馂陌l(fā)生,即空氣采樣器和溫感探頭提前感知和報警后：▲組織人員立即疏散▲關(guān)閉著火處的FFU,防止火災時煙氣順氣流到處蔓延。非著火處的FFU繼續(xù)運行,HEPA可過濾煙塵冷盤管可降低煙氣溫度?！?/p>