GB/T 38614-2020基于柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)和壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器的納米定位與掃描平臺(tái)測(cè)量方法

ICS0104039

N10..

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T38614—2020

基于柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)和壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器的

納米定位與掃描平臺(tái)測(cè)量方法

Measurementmethodfornanopositioningandscanningstage

basedonflexurehingemechanismandpiezoactuator

2020-04-28發(fā)布2020-11-01實(shí)施

國家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局發(fā)布

國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/T38614—2020

目次

前言

…………………………Ⅲ

范圍

1………………………1

規(guī)范性引用文件

2…………………………1

術(shù)語和定義

3………………1

測(cè)量條件

4…………………1

測(cè)量儀器

5…………………1

測(cè)量方法

6…………………1

軸向行程

6.1……………1

準(zhǔn)確度

6.2………………2

單向重復(fù)定位精度

6.3…………………2

雙向重復(fù)定位精度

6.4…………………3

遲滯誤差

6.5……………4

線性度

6.6………………5

位移分辨力

6.7…………………………6

角擺偏差

6.8……………6

直線度

6.9………………8

平面度

6.10………………9

正交誤差

6.11…………………………10

Ⅰ

GB/T38614—2020

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國電子測(cè)量儀器標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出并歸口

(SAC/TC153)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位沈陽建筑大學(xué)三英精控天津儀器設(shè)備有限公司廣東工業(yè)大學(xué)中國計(jì)量科

:、()、、

學(xué)研究院蘇州昊通儀器科技有限公司沈陽理工大學(xué)

、、。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人須穎戴敬邵萌安冬施玉書賈靜戴超文杰石懷濤

:、、、、、、、、。

Ⅲ

GB/T38614—2020

基于柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)和壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器的

納米定位與掃描平臺(tái)測(cè)量方法

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了基于柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)和壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器的納米定位與掃描平臺(tái)以下簡稱為平臺(tái)的測(cè)

()

量條件測(cè)量系統(tǒng)和測(cè)量方法

、。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于平臺(tái)的研究設(shè)計(jì)生產(chǎn)檢測(cè)及使用

、、、。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

直線度誤差檢測(cè)

GB/T11336─2004

納米定位與掃描平臺(tái)術(shù)語

GB/T38616—2020

3術(shù)語和定義

界定的術(shù)語和定義適用于本文件

GB/T38616—2020。

4測(cè)量條件

平臺(tái)的測(cè)量應(yīng)滿足如下條件

:

測(cè)量場(chǎng)地應(yīng)無影響測(cè)量精度的灰塵振動(dòng)氣流擾動(dòng)和較強(qiáng)磁場(chǎng)

a)、、;

測(cè)量時(shí)的環(huán)境溫度為其變化應(yīng)不大于

b)(20±1)℃,0.5℃/h;

測(cè)量時(shí)的環(huán)境相對(duì)濕度為

c)(50±5)%;

測(cè)量前應(yīng)確認(rèn)平臺(tái)無影響測(cè)量正確性實(shí)施和測(cè)量結(jié)果的外觀缺陷

d);

測(cè)量時(shí)平臺(tái)處于正常工作狀態(tài)

e)。

5測(cè)量儀器

本標(biāo)準(zhǔn)中推薦使用激光干涉儀以下簡稱干涉儀角擺偏差也可使用自準(zhǔn)直儀測(cè)量儀器精度應(yīng)滿

(),