GB/T 38616-2020納米定位與掃描平臺(tái)術(shù)語(yǔ)

ICS0104039

N10..

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T38616—2020

納米定位與掃描平臺(tái)術(shù)語(yǔ)

Terminologyfornanopositioningandscanningstage

2020-04-28發(fā)布2020-11-01實(shí)施

國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局發(fā)布

國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/T38616—2020

目次

前言

…………………………Ⅲ

范圍

1………………………1

通用術(shù)語(yǔ)

2…………………1

檢測(cè)術(shù)語(yǔ)

3…………………2

索引

……………………………7

Ⅰ

GB/T38616—2020

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)電子測(cè)量?jī)x器標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出并歸口

(SAC/TC153)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位沈陽(yáng)建筑大學(xué)三英精控天津儀器設(shè)備有限公司廣東工業(yè)大學(xué)中國(guó)計(jì)量科學(xué)

:、()、、

研究院蘇州昊通儀器科技有限公司沈陽(yáng)理工大學(xué)

、、。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人須穎戴敬安冬邵萌施玉書(shū)賈靜戴超文杰王賀

:、、、、、、、、。

Ⅲ

GB/T38616—2020

納米定位與掃描平臺(tái)術(shù)語(yǔ)

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)界定了納米定位與掃描平臺(tái)以下簡(jiǎn)稱(chēng)平臺(tái)的術(shù)語(yǔ)定義

()。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于納米定位與掃描平臺(tái)產(chǎn)品參數(shù)的定義

。

2通用術(shù)語(yǔ)

21

.

壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器piezoactuator

利用縱向壓電效應(yīng)將電能轉(zhuǎn)化為機(jī)械能的陶瓷元件

。

22

.

柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)flexurehingemechanism

利用材料彈性形變產(chǎn)生位移的一種特殊運(yùn)動(dòng)副具有無(wú)機(jī)械摩擦運(yùn)動(dòng)靈敏度高位移分辨力高等

,、、

特點(diǎn)常用于平臺(tái)傳動(dòng)導(dǎo)向機(jī)構(gòu)

,。

注根據(jù)橫截面切口形狀可以將柔性鉸鏈分為直角型橢圓形過(guò)渡圓角型以及正圓形等如圖所示

::、、,1。

a直角型柔性鉸鏈b橢圓形柔性鉸鏈c過(guò)渡圓角型柔性鉸鏈d正圓形柔性鉸鏈

))))

圖1按橫截面切口形狀分類(lèi)的柔性鉸鏈

23

.

納米定位與掃描平臺(tái)nanopositioningandscanningstage

基于壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器和柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)的具有納米量級(jí)定位和掃描功能的平臺(tái)

。

24

.

平臺(tái)材料stagematerial

用于制造平臺(tái)主體機(jī)械結(jié)構(gòu)的物質(zhì)

。

25

.

平臺(tái)尺寸stagesize

表征平臺(tái)外部輪廓的幾何量

。

注通常以毫米為單位

:(mm)。

26

.

平臺(tái)運(yùn)動(dòng)維度stagedegreeoffreedom

獨(dú)立的平臺(tái)運(yùn)動(dòng)空間坐標(biāo)方向的數(shù)目

。

注可分為一維二維六維平臺(tái)

:、、……、。

27