高真空的和檢漏改_第1頁
高真空的和檢漏改_第2頁
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文檔簡介

高真空的獲得和檢 007系07 12、用靜態(tài)升壓法和氦質(zhì)譜法檢漏，并對比兩種方法的特點(diǎn)1n,p，故產(chǎn)生的正離子數(shù)N＋正比于壓強(qiáng)p.規(guī)管的結(jié)構(gòu)如圖2.6.3-l所示,它主要由發(fā)射電子的熱陰極2.6.3－2F接零電位,為UK為熱陰極加熱電壓；加速極GUG（幾百伏）;離子收集極接負(fù)電位UC（幾十伏）,其FUGG加,大部分電子通過加速極GC,2.6.3－3向G、C空間時(shí),電子又在拒斥場作用下,直到速度為零又返向G極，向GCGC極Ce形成的正離子流I+正比于發(fā)射電子電流I和氣體的壓強(qiáng)p，即eeI+=KIe其中比例常數(shù)K1／Pa，KIe等于常數(shù).對于不同氣體,K或氮?dú)舛?普通型熱陰極電離規(guī)的測量范圍為1.33X10－1~1.33X10-5Pa,超出此范圍,離子流與壓強(qiáng)便不再是線性關(guān)系而不能進(jìn)量.2p－t2.6.3－42.6.3-4l）直線a平行于t軸，說明壓強(qiáng)是恒量,它不隨時(shí)間而變化,表明系統(tǒng)既無2）曲線b開始上升較快而后漸漸變成平行于t軸的直線.這說明系統(tǒng)只有3)cp漏Q=V漏式中V4）曲線d開始上升較快,而后漸漸減慢,最后變成直線.這說明系統(tǒng)既有放氣也有漏氣.曲線dbc實(shí)驗(yàn)儀器：FZH-2B型復(fù)合真空計(jì)，DM-30012閥（235開始。50.13pa65min7108、抽至極限真空度后，關(guān)高閥，測P-t910、待擴(kuò)散泵冷卻至室溫（40分鐘1205p/102p/102p/102放氣曲線B放氣曲線BLinearFitofyy=a+NoResidualSumofAdj.R-StandardB0002009-4-19value0.25641standarderrorvaluestandarderror4.13347E-1答：測量完放氣曲線后,壓強(qiáng)已經(jīng)增加到了4.5101Pa,近電離計(jì)的工作極限容器內(nèi)部已經(jīng)出于壓強(qiáng)較高的水平(10-1pa)接近電離計(jì)的工作范圍的上限,若不立即關(guān)閉電離計(jì),因?yàn)閴簭?qiáng)較高,氣體濃度較大,極容易電離形成濃度比較大的電流,從而會(huì)損壞電子儀表。因而測量完畢后,應(yīng)立即關(guān)閉電離計(jì).2答

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