標(biāo)準(zhǔn)解讀
《GB/T 16943-2009 電子工業(yè)用氣體 氦》相比于《GB/T 16943-1997 電子工業(yè)用氣體 氦》,主要在以下幾個(gè)方面進(jìn)行了調(diào)整和更新:
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范圍與規(guī)范性引用文件:2009版標(biāo)準(zhǔn)更新了規(guī)范性引用文件,納入了最新發(fā)布的國家和行業(yè)標(biāo)準(zhǔn),確保了技術(shù)內(nèi)容的時(shí)效性和準(zhǔn)確性。
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術(shù)語和定義:新增或修訂了一些專業(yè)術(shù)語的定義,以便更準(zhǔn)確地描述氦氣的質(zhì)量要求和技術(shù)參數(shù),增強(qiáng)了標(biāo)準(zhǔn)的可讀性和適用性。
-
產(chǎn)品分類與等級(jí):對(duì)氦氣的純度等級(jí)進(jìn)行了細(xì)化或調(diào)整,可能增設(shè)了新的質(zhì)量級(jí)別,以滿足電子工業(yè)不斷發(fā)展的高精度、高純度需求。
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技術(shù)要求:提高了對(duì)氦氣中雜質(zhì)含量的限制要求,特別是對(duì)氧、氮、水等關(guān)鍵雜質(zhì)的控制更加嚴(yán)格,確保氦氣品質(zhì)符合現(xiàn)代電子工業(yè)的高標(biāo)準(zhǔn)要求。
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試驗(yàn)方法:引入了更為先進(jìn)、精確的檢測(cè)技術(shù)和分析方法,提升了檢測(cè)效率和結(jié)果的準(zhǔn)確性,便于企業(yè)更好地執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行質(zhì)量控制。
-
檢驗(yàn)規(guī)則與包裝、標(biāo)志、運(yùn)輸和儲(chǔ)存:這部分內(nèi)容也得到了補(bǔ)充和完善,明確了更詳細(xì)的檢驗(yàn)流程、合格判定準(zhǔn)則以及產(chǎn)品在包裝、標(biāo)識(shí)、運(yùn)輸和儲(chǔ)存過程中的具體要求,增強(qiáng)了實(shí)際操作的規(guī)范性。
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安全要求:雖然不是所有標(biāo)準(zhǔn)更新都會(huì)涉及,但2009版可能會(huì)根據(jù)當(dāng)時(shí)的安全標(biāo)準(zhǔn)和實(shí)踐,增加了關(guān)于氦氣使用、存儲(chǔ)的安全注意事項(xiàng)或警示信息,以提高使用過程中的安全性。
如需獲取更多詳盡信息,請(qǐng)直接參考下方經(jīng)官方授權(quán)發(fā)布的權(quán)威標(biāo)準(zhǔn)文檔。
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- 現(xiàn)行
- 正在執(zhí)行有效
- 2009-10-30 頒布
- 2010-05-01 實(shí)施
文檔簡(jiǎn)介
犐犆犛71.100.20
犌86
中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)
犌犅/犜16943—2009
代替GB/T16943—1997
電子工業(yè)用氣體氦
犌犪狊犳狅狉犲犾犲犮狋狉狅狀犻犮犻狀犱狌狊狋狉狔—犎犲犾犻狌犿
20091030發(fā)布20100501實(shí)施
中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局
發(fā)布
中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)
書
犌犅/犜16943—2009
前言
本標(biāo)準(zhǔn)代替GB/T16943—1997《電子工業(yè)用氣體氦》。
本標(biāo)準(zhǔn)與GB/T16943—1997相比主要變化如下:
———修改氦的適用范圍(GB/T16943—1997的第1章,本版的第1章);
———修改規(guī)范性引用文件(GB/T16943—1997的第2章,本版的第2章);
———修改技術(shù)指標(biāo)內(nèi)容:增加一類產(chǎn)品純度和雜質(zhì)含量(GB/T16943—1997的第3章,本版的第
3章);
———修改瓶裝氦抽樣方法(GB/T16943—1997的4.1,本版的4.1.1);
———增加集裝閣裝、大容積鋼質(zhì)無縫氣瓶裝和杜瓦罐裝氦產(chǎn)品并規(guī)定檢驗(yàn)方法(見4.1.1);
———增加管道輸送的氦產(chǎn)品并規(guī)定檢驗(yàn)方法(見4.1.2);
———增加氦的采樣安全要求(見4.1.3);
———增加新的分析方法:增加用氦放電離子化氣相色譜法測(cè)定氦中的氧、一氧化碳和二氧化碳組
分;增加其他方法測(cè)定總烴含量;當(dāng)出現(xiàn)多種分析方法時(shí),增加規(guī)定仲裁方法(見4.3);
———修改水分的測(cè)定方法(GB/T16945—1997的4.5,本版的4.5);
———修改標(biāo)志、包裝、貯運(yùn)及安全(GB/T16943—1997的第5章,本版的第5章);
———增加安全要求(見5.6);
———增加規(guī)范性附錄A,并把采用氦離子化氣相色譜法測(cè)定氦中的氧、氮、一氧化碳和二氧化碳組
分的方法寫入該附錄(見附錄A)。
本標(biāo)準(zhǔn)的附錄A為規(guī)范性附錄。
本標(biāo)準(zhǔn)由全國半導(dǎo)體材料和設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出。
本標(biāo)準(zhǔn)由全國半導(dǎo)體材料和設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)氣體分會(huì)歸口。
本標(biāo)準(zhǔn)起草單位:西南油氣田分公司成都天然氣化工總廠、北京氦普北分氣體工業(yè)有限公司、西南
化工研究設(shè)計(jì)院。
本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人:劉澤軍、付永成、趙俊秀、周鵬云。
本標(biāo)準(zhǔn)所代替標(biāo)準(zhǔn)的歷次版本發(fā)布情況為:
———GB/T16943—1997。
Ⅰ
書
犌犅/犜16943—2009
電子工業(yè)用氣體氦
1范圍
本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了氦的技術(shù)要求,試驗(yàn)方法以及包裝、標(biāo)志、貯運(yùn)及安全。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于以深冷法從天然氣、空氣和工廠弛放氣中提取的氣態(tài)和液態(tài)氦,以及經(jīng)純化方法得到
的氦。它們?cè)诎雽?dǎo)體制造中用作清洗氣、加壓氣,也用作載氣和保護(hù)氣等。
分子式:He。
相對(duì)分子質(zhì)量:4.003(按2005年國際相對(duì)原子質(zhì)量)。
2規(guī)范性引用文件
下列文件中的條款通過本標(biāo)準(zhǔn)的引用而成為本標(biāo)準(zhǔn)的條款。凡是注日期的引用文件,其隨后所有
的修改單(不包括勘誤的內(nèi)容)或修訂版均不適用于本標(biāo)準(zhǔn),然而,鼓勵(lì)根據(jù)本標(biāo)準(zhǔn)達(dá)成協(xié)議的各方研究
是否可使用這些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件,其最新版本適用于本標(biāo)準(zhǔn)。
GB190—2009危險(xiǎn)貨物包裝標(biāo)志
GB/T3723工業(yè)用化學(xué)產(chǎn)品采樣安全通則
GB5099鋼質(zhì)無縫氣瓶
GB/T5832.1氣體中濕度的測(cè)定電解法
GB/T6285氣體中微量氧的測(cè)定電化學(xué)法
GB7144氣瓶顏色標(biāo)志
GB/T8984氣體中一氧化碳、二氧化碳和碳?xì)浠衔锏臏y(cè)定氣相色譜法
GB14194永久氣體氣瓶充裝規(guī)定
GB16912深度冷凍法生產(chǎn)氧氣及相關(guān)氣體安全技術(shù)規(guī)程
氣瓶安全監(jiān)察規(guī)程
壓力容器安全監(jiān)察規(guī)程
壓力管道安全管理與監(jiān)察規(guī)定
3技術(shù)要求
3.1氦的質(zhì)量應(yīng)符合表1的要求。
表1技術(shù)指標(biāo)
項(xiàng)目指標(biāo)
氦氣(He)純度(體積分?jǐn)?shù))/10-2≥99.999999.9995
一氧化碳:0.1
-6
一氧化碳(CO)和二氧化碳(CO2)總含量(體積分?jǐn)?shù))/10<1
二氧化碳:0.1
-6
氮(N2)含量(體積分?jǐn)?shù))/10<0.52
-6
氧(O2)含量(體積分?jǐn)?shù))/10<0.20.5
總烴(以甲烷計(jì))含量(體積分?jǐn)?shù))/10-6<0.10.5
-6
水分(H2O)含量(體積分?jǐn)?shù))/10<0.2
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