標(biāo)準(zhǔn)解讀

《GB/T 15871-1995 硬面光掩?；濉纷鳛橐豁?xiàng)關(guān)于硬面光掩模基板的技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)，規(guī)定了此類基板的性能要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則以及標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸和儲(chǔ)存要求。然而，您未提供與之對(duì)比的另一個(gè)具體標(biāo)準(zhǔn)或版本，因此直接比較其變更內(nèi)容是不可能完成的任務(wù)。但可以一般性地說明，當(dāng)一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)被更新或替代時(shí)，常見的變更可能涉及以下幾個(gè)方面：

  1. 技術(shù)指標(biāo)的調(diào)整：新標(biāo)準(zhǔn)可能會(huì)根據(jù)行業(yè)技術(shù)進(jìn)步和材料科學(xué)的發(fā)展，對(duì)基板的尺寸精度、平整度、清潔度、熱穩(wěn)定性、抗蝕性等關(guān)鍵性能指標(biāo)提出更嚴(yán)格或適應(yīng)新技術(shù)的要求。

  2. 測(cè)試方法的改進(jìn)：隨著檢測(cè)技術(shù)的演進(jìn)，新標(biāo)準(zhǔn)可能會(huì)引入更精確、更高效的測(cè)試手段來評(píng)估基板的各項(xiàng)性能，確保測(cè)試結(jié)果的準(zhǔn)確性和可重復(fù)性。

  3. 環(huán)保和安全要求的增加：考慮到環(huán)境保護(hù)和生產(chǎn)安全的全球趨勢(shì)，更新的標(biāo)準(zhǔn)可能會(huì)加入更多關(guān)于原材料使用、生產(chǎn)過程控制、廢棄物處理等方面的環(huán)保和安全規(guī)范。

  4. 術(shù)語和定義的統(tǒng)一：為了與國際標(biāo)準(zhǔn)接軌或國內(nèi)行業(yè)共識(shí)的變化，新標(biāo)準(zhǔn)可能會(huì)對(duì)一些專業(yè)術(shù)語進(jìn)行修訂或新增，以增強(qiáng)標(biāo)準(zhǔn)的通用性和理解性。

  5. 包裝、運(yùn)輸和儲(chǔ)存要求的細(xì)化：為減少運(yùn)輸過程中的損壞風(fēng)險(xiǎn)和確保基板的長(zhǎng)期存儲(chǔ)質(zhì)量，新標(biāo)準(zhǔn)可能會(huì)對(duì)包裝材料、包裝方式以及儲(chǔ)存條件提出更細(xì)致的要求。

  6. 信息化管理要求：隨著信息技術(shù)的應(yīng)用，新標(biāo)準(zhǔn)可能要求在產(chǎn)品標(biāo)識(shí)、追溯系統(tǒng)、數(shù)據(jù)交換等方面采用電子化、信息化手段，提高管理效率。


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  • 1995-12-22 頒布
  • 1996-08-01 實(shí)施
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ICs31.030L97中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)GB/T15871-1995硬面光掩?；錒ardsurfacephotomasksubstrates1995-12-22發(fā)布1996-08-01實(shí)施國家技術(shù)監(jiān)督局發(fā)布

GB/T15871-1995前本標(biāo)準(zhǔn)非等效采用SEMI標(biāo)準(zhǔn)SemiP1一92《硬面光掩模基板》。本標(biāo)準(zhǔn)基板技術(shù)要求全部按SemiP1-92中第4章至第8章制定。本標(biāo)準(zhǔn)附錄A是提示的附錄、本標(biāo)準(zhǔn)由中華人民共和國電子工業(yè)部提出。本標(biāo)準(zhǔn)由電子工業(yè)部標(biāo)準(zhǔn)化研究所歸口。本標(biāo)準(zhǔn)起草單位：長(zhǎng)沙韶光徽電子總公司、電子工業(yè)部標(biāo)準(zhǔn)化研究所。本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人：吳保華、王亦林、趙雨生、談仁良。

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)GB/T15871-1995光面一板Hardsurfacephotomasksubstrates1范圍本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了硬面光掩模用玻璃基板的要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則等內(nèi)容.本標(biāo)準(zhǔn)適用于硬面光搶模用玻璃基板(以下簡(jiǎn)稱基板)。2引用標(biāo)準(zhǔn)下列標(biāo)準(zhǔn)所包含的條文，通過在本標(biāo)準(zhǔn)中引用而構(gòu)成為本標(biāo)準(zhǔn)的條文。本標(biāo)準(zhǔn)出版時(shí)，所示版本均為有效。所有標(biāo)準(zhǔn)都會(huì)被修訂，使用本標(biāo)準(zhǔn)的各方應(yīng)探討使用下列標(biāo)準(zhǔn)最新版本的可能性。GB191—90包裝儲(chǔ)運(yùn)圖示標(biāo)志GB2828—87逐批檢查計(jì)數(shù)抽樣程序及抽樣表(適用于連續(xù)批的檢查)GB2829—87周期檢查計(jì)數(shù)抽樣程序及抽樣表(適用于生產(chǎn)過程穩(wěn)定性的檢查)GB3102.3-93力學(xué)的量和單位GB7238-87玻璃及鉻板表面平整度的測(cè)試方法GB9622.2-88電子玻璃平均線熱膨脹系數(shù)的測(cè)試方法SJ/T10584-94微電子學(xué)光掩蔽技術(shù)術(shù)語3定義本標(biāo)準(zhǔn)采用SJ/T10584規(guī)定的定義。4要求4.1外形尺寸“.1.1方形基板的外形尺寸應(yīng)符合表1和圖1的規(guī)定。表表1方形基板的外形尺寸mm邊長(zhǎng)（L）厚度(T)格垂直度mirminmax63.5X63.562.7063.500.05/25：401.401.600.05/25.4076.201.4076X7675.401.6088.9×88.988：1088.900.05/25.401.40.601.401.60100×100100.80101.600

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