標準解讀

《GB/T 16527-1996 硬面感光板中光致抗蝕劑和電子束抗蝕劑規(guī)范》這一標準詳細規(guī)定了硬面感光板所使用的光致抗蝕劑與電子束抗蝕劑的技術要求、試驗方法、檢驗規(guī)則以及標志、包裝、運輸和儲存要求。然而，您提供的信息中用于比較的另一標準或版本未明確給出，因此直接對比變更內容較為困難。但可以一般性地討論此類標準更新時可能涉及的常見變更方向：

  1. 技術指標調整：新標準可能會根據材料科學的進步和應用需求的變化，對光致抗蝕劑和電子束抗蝕劑的性能指標如靈敏度、分辨率、耐蝕性、附著力等進行修訂，以適應更精細的加工要求。

  2. 測試方法優(yōu)化：隨著檢測技術的發(fā)展，新標準可能會引入更精確、更高效的測試方法來評估抗蝕劑的各項性能，確保測試結果的準確性和可重復性。

  3. 環(huán)境保護要求：考慮到環(huán)境保護和可持續(xù)發(fā)展的需要，新標準可能會增加對抗蝕劑中揮發(fā)性有機化合物(VOCs)含量的限制，或是要求使用更加環(huán)保的原材料和生產工藝。

  4. 安全規(guī)范加強：為了保障操作人員健康和生產安全，新標準可能會加強對抗蝕劑在使用、儲存、運輸過程中的安全要求，包括但不限于增加警示標識、改善包裝密封性等。

  5. 國際標準接軌：為促進國際貿易和技術交流，新標準可能會參考國際標準化組織(ISO)的相關標準，對部分內容進行協(xié)調或直接采用國際標準，以提高國內外市場的兼容性。

  6. 術語和定義更新：隨著技術進步，相關專業(yè)術語可能會有新的理解和分類，新標準會對此類術語進行更新或補充，確保概念清晰無誤。

由于具體對比的標準未明，上述僅為一般性推測，實際變更內容需參照具體的新舊標準文本進行詳細比對分析。


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  • 現(xiàn)行
  • 正在執(zhí)行有效
  • 1996-09-09 頒布
  • 1997-05-01 實施
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GB/T 16527-1996硬面感光板中光致抗蝕劑和電子束抗蝕劑規(guī)范_第1頁
GB/T 16527-1996硬面感光板中光致抗蝕劑和電子束抗蝕劑規(guī)范_第2頁
GB/T 16527-1996硬面感光板中光致抗蝕劑和電子束抗蝕劑規(guī)范_第3頁
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文檔簡介

Tc9.31200中華人民共和國國家標準GB/T16527-1996硬面感光板中光致抗蝕劑和電子束抗蝕劑規(guī)范Specificationforphotoresist/E-beamresistforhardsurfacephotoplates1996-09-09發(fā)布1997-05-01實施國家技術監(jiān)督局發(fā)布

GB/T16527-1996前三本標準等效采用SEMI標準SEMIP3—90《硬面感光板中光致抗蝕劑和電子束抗蝕劑規(guī)范》.本標準第5章要求中5.2條和5.3條均按SEMIP3-90制定，且根據產品使用方的需要，增加了5.1條抗蝕劑涂層性能。SEMI標準是半導體設備和材料國際標準,具有較高的科學性和先進性，內容全面，標準配套。本標準與已經轉化為我國標準的SEMIP1-92《硬面光掩模基板》（GB/T15871一1995）、SEMIP2一86《硬面光掩模用鉻薄膜》（GB/T15870—1995)、SEMIP4-92圓形石英玻璃光拖?；逡?guī)范》(GB/T16523-1996)、SEMIP6-88《光推模對準標記規(guī)范》GB/T16524-1996)及準備轉化為我國標準的SEMIP21-92《拖模瞬光系統(tǒng)準確度表示準則》、SEMIP19—92《用于集成電路制造技術的檢測圖形單元規(guī)范》等項標準形成一個微型構圖標準系列。本標準附錄A是提示的附錄。本標準由中華人民共和國電子工業(yè)部提出。本標準由電子工業(yè)部標準化研究所歸口，本標準起草單位：長沙韶光微電子總公司、電子工業(yè)部標準化研究所.本標準主要起草人：談仁良、吳保華、王亦林、韓艷芬、

中華人民共和國國家標準硬面感光板中光致抗蝕劑和GB/T16527-1996電子束抗蝕劑規(guī)范Specificationforphotoresist/E-beamresistforhardsurfacephotoplates1范圍本標準規(guī)定了硬面感光板中光致抗蝕劑和電子束抗蝕劑涂層的要求、試驗方法等內容本標準適用于硬面感光板中光致抗蝕劑和電子束抗蝕劑的涂層檢驗引用標準下列標準所包含的條文，通過在本標準中引用而構成為本標準的條文。本標淮出版時，所示版本均為有效。所有標準都會被修訂，使用本標準的各方應探討使用下列標準最新版本的可能性。GB191一90包裝儲運圖示標志GB2828—87逐批檢查計數抽樣程序及抽樣表(適用于連續(xù)批的檢查)GB2829—87周期檢查計數抽樣程序及抽樣表(適用于生產過程穩(wěn)定性的檢查)GB7238—87玻璃及鉻版表面平整度的測試方法GB7239—87鉻版鉻膜和膠膜厚度的測試方法GB/T15871一1995硬面光搶?；錑B/T15870—1995硬面光掩模用鉻薄膜SJ/T10584—94微電子學光拖蔽技術術語3定義本標準采用SJ/T10584中的定義。4分類與命名抗蝕劑涂層符合本標準的硬面感光板基板應滿足GB/T15871和GB/T15870規(guī)定的要求。抗蝕劑的分類與型號命名按附錄A(提示的附錄)規(guī)定，主要依據如下(訂貨文件中應子注明)：a）抗蝕劑材料；b）在質量區(qū)內抗蝕劑的厚度及其公差；c）整個質量區(qū)抗蝕劑的均勾性;d）板與板之間抗蝕

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