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第一章緒論1、什么是Scaling-down,它對集成電路的進展有什么重要作用?在器件按比例縮小過程中需要遵守哪些規(guī)章,,,這些規(guī)章的具體實現(xiàn)方式Scaling-down使集成Scaling-down是推動集成電路進展的重要理論。CE規(guī)章中,全部幾何尺寸,包括橫向和縱向尺寸,都縮小k倍;襯底摻雜濃度增大k倍;電源電壓下降k倍。CV規(guī)章中,全部幾何尺寸都縮小k倍;電源電壓保持不變;襯底摻雜濃度增k2倍。在E規(guī)章中,器件尺寸kαk倍〕變化,襯底摻雜濃度增大αk倍218個月增加一倍。3幅員設(shè)計就是依據(jù)線路的要求和確定的工藝參數(shù),設(shè)計出元件的圖形并進展排列IC確定功能的電路構(gòu)造;確定的工藝規(guī)章4、集成電路全定制和半定制設(shè)計的過程,及區(qū)分自動化技術(shù):半定制,標(biāo)準(zhǔn)單元技術(shù)手工技術(shù):全定制,一般用于高性能數(shù)字電路或者模擬電路其次章電路根底學(xué)問1、管子的串并聯(lián),電阻模型分析。串聯(lián):兩個寬長比為W/L的管子串聯(lián),假設(shè)等價為一個管子,其寬長比為多少?并聯(lián):兩個寬長比為W/L的管子并聯(lián),假設(shè)等價為一個管子,其寬長比為多少?2、管子的尺寸標(biāo)注3、簡潔規(guī)律門的功能分析〔寫出規(guī)律表達(dá)式,或依據(jù)規(guī)律表達(dá)式,畫出S電路圖4傳輸門構(gòu)造,原理MOS管〔一個P溝道,一個N溝道〕組成。1時,兩個管子都夾斷,傳輸門截止,不能傳輸數(shù)據(jù)。0時,傳輸門導(dǎo)通。雙向傳輸門:數(shù)據(jù)可以從左邊傳輸?shù)接疫?,也可以從右邊傳輸?shù)阶筮叄虼耸且粋€雙向傳輸門。5、CMOS電路中,NMOS和PMOSCMOSNMOS和PMOS管子的寬長比一樣,則上升和下降時間之間有什么關(guān)系。第三章半導(dǎo)體制造工藝1、當(dāng)摻雜的雜質(zhì)濃度增高時,電阻率會隨著濃度增高快速降低嗎?著下降2圖形轉(zhuǎn)移工藝:包括光刻工藝和刻蝕工藝。摻雜工藝:包括集中工藝和離子注入工藝。3來再轉(zhuǎn)移到晶圓做預(yù)備,這就是制版4〔正膠或負(fù)膠5、多晶硅的刻蝕需要哪幾步?預(yù)刻蝕、主刻蝕、過刻蝕6、什么是光刻?什么是刻蝕?光刻:將圖形轉(zhuǎn)移到掩蓋在半導(dǎo)體硅片外表的光刻膠刻蝕:將圖形轉(zhuǎn)移到光刻膠下面組成器件的各層薄膜上7、哪一種刻蝕方法簡潔產(chǎn)生橫向鉆蝕?濕法刻蝕8、常用的摻雜工藝有哪兩種?二者相比,優(yōu)勢工藝表達(dá)在哪些方面?主要的摻雜工藝:集中和離子注入集中:依據(jù)集中的原理,使雜質(zhì)從高濃度處向低濃度處集中。兩個要素:高溫存濃度梯度,用于結(jié)較深,線條較粗的器件、摻雜種類廣泛等優(yōu)點,用于淺結(jié)與細(xì)線條圖形9、什么是方塊電阻?與電阻值的關(guān)系〔用公式表示〕?g用表示,稱為方塊電阻第四章幅員設(shè)計根底1、繪圖層和研磨層之間存在什么關(guān)系?n:12MOS管幅員〔四端〕和尺寸標(biāo)注3、接觸孔和通孔的區(qū)分接觸孔特指最低層金屬孔,用于將最低層金屬和多晶硅或者集中層連接起來。而通孔則是指允許更高層金屬進展相互連接的孔4、什么是幅員設(shè)計規(guī)章?制定的目的是什么?物理效應(yīng)的消滅帶來的問題,盡可能地提高電路制備的成品率5、幅員設(shè)計規(guī)章包括哪兩種?各自優(yōu)缺點?設(shè)計規(guī)章或規(guī)整格式設(shè)計規(guī)章優(yōu)點:幅員設(shè)計獨立于工藝和實際尺寸間的最大套準(zhǔn)偏差微米設(shè)計規(guī)章,又稱自由格式規(guī)章優(yōu)點:由于各尺寸可相對獨立地選擇,所以可把尺寸定得合理缺點:對于一個設(shè)計級別,就要有一整套數(shù)字,因而顯得煩瑣6、幅員設(shè)計規(guī)章,填表。7、分析芯片設(shè)計結(jié)果圖,分析是由于違反了哪種設(shè)計規(guī)章。8、識幅員:依據(jù)幅員,給出規(guī)律表達(dá)式〔管子的串并聯(lián)。9、幅員驗證包括哪些?各個概念。DRCERCLVS第五章數(shù)字電路幅員設(shè)計1、驅(qū)動力氣的設(shè)計原則在確保驅(qū)動的前提下,盡量選擇小的器件2、在標(biāo)準(zhǔn)單元技術(shù)中,如何兼顧局部優(yōu)化和全局優(yōu)化?全局優(yōu)化。3、標(biāo)準(zhǔn)單元庫需要哪三方面的內(nèi)容?分別在集成電路設(shè)計流程的哪一步使用?規(guī)律單元符號庫與功能單元庫;拓?fù)鋯卧獛?;幅員單元庫。4、幅員單元的特點有哪些?〔寬度,高度,電源、地線,輸入/輸出端〕各幅員單元可以有不同的寬度,但必需有一樣的高度。單元的電源線和地線通常安排在單元的上下端,從單元的左右兩側(cè)同時出線,電源、地線兩側(cè)的位置要一樣,線的寬度要全都,以便單元電源、地線的對接。單元的輸入/輸出端通常安排在電源和地線垂直的位置5、輸入單元主要考慮〔保護〕功能,輸出單元除了考慮其〔驅(qū)動〕力氣之外,還要具有確定的〔功能。6、什么是〔cS集成電路要考慮D保護問題?由于薄柵氧化層的擊穿電壓較低,必需參與有效的在片ESD保護電路以箝位加到內(nèi)部電路柵氧上的過沖電壓7、承受漏端開路構(gòu)造實現(xiàn)規(guī)律與。第六章模擬電路幅員設(shè)計1、與數(shù)字電路幅員設(shè)計相比,模擬電路幅員設(shè)計更留意〔性能。2、模擬電路幅員設(shè)計需要考慮的寄生效應(yīng)包括哪些?寄生電容、寄生電阻、寄生電感3、削減寄生電容的設(shè)計方法包括哪些?讓那一局部布線寄生參數(shù)小的導(dǎo)線盡量短,以削減重疊選擇遠(yuǎn)離襯底的金屬層走線在布線時最好繞過電路模塊,而不是僅僅簡潔的在它上面走線。應(yīng)當(dāng)讓敏感的信號遠(yuǎn)離4、在幅員設(shè)計中,可以利用寄生參數(shù)嗎?為什么
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