擴(kuò)散爐操作培訓(xùn)

1、擴(kuò)散爐操作培訓(xùn)第1頁(yè)，共29頁(yè)，2022年，5月20日，0點(diǎn)17分，星期四培訓(xùn)內(nèi)容開機(jī)操作生產(chǎn)操作關(guān)機(jī)操作維護(hù)保養(yǎng) 生產(chǎn)提示第2頁(yè)，共29頁(yè)，2022年，5月20日，0點(diǎn)17分，星期四開機(jī)操作（一）1、打開氣柜壓縮空氣的手動(dòng)閥并調(diào)節(jié)調(diào)壓閥使其壓力在6Bar左右。2、打開氣柜氮?dú)夂脱鯕馐謩?dòng)閥，并調(diào)節(jié)調(diào)壓閥使其壓力在2Bar左右。 第3頁(yè)，共29頁(yè)，2022年，5月20日，0點(diǎn)17分，星期四開機(jī)操作（二）3、打開電氣柜上的“Main Switch”在“ON”位置，設(shè)備上電；CMI電腦自動(dòng)啟動(dòng)。 4、打開設(shè)備冷卻水，先開出水閥，再開進(jìn)水閥。檢查水壓在3-6kg /cm2 范圍內(nèi)。 第4頁(yè)，共29頁(yè)，

2、2022年，5月20日，0點(diǎn)17分，星期四開機(jī)操作（三）5、輸入XP操作系統(tǒng)用戶“Operator”密碼“6065”，進(jìn)入CMI計(jì)算機(jī)的XP系統(tǒng)，自動(dòng)啟動(dòng)CMI軟件。6、檢查并打開氣柜上1-4管“CESAR”的開關(guān)，啟動(dòng)“CESAR”系統(tǒng)。 第5頁(yè)，共29頁(yè)，2022年，5月20日，0點(diǎn)17分，星期四開機(jī)操作（四）7、 設(shè)定各管“Paddle”溫度為默認(rèn)值，按下：“Manual/T_Paddle/All/Setpoint/Default” 。 8、設(shè)定升溫速度為5/min，按下：“Manual/T_Paddle/All/RampPos”，輸入“5”，并按確認(rèn)鍵“ENTER”。第6頁(yè)，共29頁(yè)，

3、2022年，5月20日，0點(diǎn)17分，星期四開機(jī)操作（五）9、當(dāng)溫度到達(dá)500時(shí)，用手推動(dòng)爐門的氣缸，使?fàn)t門關(guān)閉。 10、順時(shí)針打開TGA上部調(diào)壓閥，使壓縮空氣壓力恢復(fù)到4Bar左右。 第7頁(yè)，共29頁(yè)，2022年，5月20日，0點(diǎn)17分，星期四開機(jī)操作（六）11、打開恒溫箱控制器的黑色電源開關(guān)，檢查并確認(rèn)設(shè)定溫度20；按下“RUN”按鈕，啟動(dòng)恒溫箱。當(dāng)實(shí)際溫度達(dá)到設(shè)定溫度后，才可生產(chǎn)。12、當(dāng)源瓶的磷源用盡需要更換時(shí)，恒溫控制器會(huì)有液位報(bào)警提示，需更換新的磷源。第8頁(yè)，共29頁(yè)，2022年，5月20日，0點(diǎn)17分，星期四開機(jī)操作（七）13、在CMI觸摸屏上按下各管的“Standby”，確認(rèn)CM

4、I上顯示各管“CESAR”正常；當(dāng)“T_Paddle”達(dá)到設(shè)定溫度，準(zhǔn)備生產(chǎn)。 爐體加熱部分共分5個(gè)溫區(qū)，每個(gè)溫區(qū)在600-1200范圍內(nèi)的精度0.5。第9頁(yè)，共29頁(yè)，2022年，5月20日，0點(diǎn)17分，星期四開機(jī)操作（八）Start：運(yùn)行一個(gè)準(zhǔn)備好的工藝或啟動(dòng)正在暫停的工藝。Stop：停止正在運(yùn)行工藝，在任一時(shí)間按下“Start”按鈕，被終止的工藝將被繼續(xù)運(yùn)行。Standby：如果沒(méi)有運(yùn)行工藝，按下Standby，所有設(shè)備參數(shù)恢復(fù)默認(rèn)值和Standby狀態(tài)下設(shè)定值。如果正在運(yùn)行工藝，按下Standby，使工藝一直保持在正在運(yùn)行的這一步；在按下“Stop”按鈕之后，按下Standby，將自動(dòng)

5、終止工藝。第10頁(yè)，共29頁(yè)，2022年，5月20日，0點(diǎn)17分，星期四生產(chǎn)操作（一）1、檢查“Slider”是否在上料位置，若不在，手動(dòng)狀態(tài)下移到上料處：“Manual/Slider/to port”。2、把插好硅片的舟放到“slider”上。盡量使舟在“slider”中間位置 。第11頁(yè)，共29頁(yè)，2022年，5月20日，0點(diǎn)17分，星期四生產(chǎn)操作（二）3、在“Setup”界面選擇“Boat”項(xiàng)，選擇一個(gè)舟號(hào)，進(jìn)行工藝信息編輯。 4、選擇確定后，進(jìn)入“boat activation”界面，點(diǎn)選“Set boat active for handling”、 “Set boat to Read

6、y for processing和Boat will be removed for unload”復(fù)選框,再點(diǎn)擊“Next”按鈕。 第12頁(yè)，共29頁(yè)，2022年，5月20日，0點(diǎn)17分，星期四生產(chǎn)操作（三）5、進(jìn)入“Handling information”界面，把舟上的編號(hào)輸入到“Boat ID”一欄，同時(shí)選擇Load position為“Slider”，再點(diǎn)擊“Next”按鈕。 6、進(jìn)入“Process tube selection”界面，選擇需運(yùn)行工藝的管號(hào)，在正常情況下1-4管全部選中，再點(diǎn)擊“Next”按鈕。 第13頁(yè)，共29頁(yè)，2022年，5月20日，0點(diǎn)17分，星期四生產(chǎn)操作（

7、四）7、進(jìn)入“Boat information”界面， 在Actual boat location位置選擇“Slider”，在Boat state位置選擇“Wait for tube”，再點(diǎn)擊“Next”按鈕。 8、進(jìn)入“Process information”界面，選擇相應(yīng)的運(yùn)行工藝名，在“Lots in boat”中輸入相關(guān)舟的信息，再點(diǎn)擊“Finish”按鈕。 第14頁(yè)，共29頁(yè)，2022年，5月20日，0點(diǎn)17分，星期四生產(chǎn)操作（五）9、進(jìn)入“Summary”界面，顯示3-8步輸入的信息，核對(duì)無(wú)誤后，點(diǎn)擊“OK”，信息輸入完成。10、在“Job”頁(yè)面點(diǎn)擊然 “Run” 按鈕，回到自動(dòng)運(yùn)

8、行狀態(tài)。機(jī)械手自動(dòng)送舟到SiC槳上，開始運(yùn)行工藝。 第15頁(yè)，共29頁(yè)，2022年，5月20日，0點(diǎn)17分，星期四生產(chǎn)操作（六）11、當(dāng)某一管的“Tube state” 顯示藍(lán)色時(shí)，需要人工輸入信息，打開相應(yīng)管的CESAR界面。12、在紅色的對(duì)話框“Adjust temperature?”中輸入需要修改的溫度或默認(rèn)值，再在鍵盤上點(diǎn)擊“Enter”鍵。 第16頁(yè)，共29頁(yè)，2022年，5月20日，0點(diǎn)17分，星期四生產(chǎn)操作（七）13、在彈出的紅色對(duì)話框“Adjust diffusion time?”中輸入需要修改的時(shí)間或默認(rèn)值，再在鍵盤上點(diǎn)擊“Enter”鍵。 14、在彈出的紅色對(duì)話框“Adju

9、st drive in time?” 中輸入需要修改的時(shí)間或默認(rèn)值，再在鍵盤上點(diǎn)擊“Enter”鍵,信息輸入完畢，槳自動(dòng)送舟到石英管，開始擴(kuò)散工藝。 第17頁(yè)，共29頁(yè)，2022年，5月20日，0點(diǎn)17分，星期四生產(chǎn)操作（八）15、當(dāng)工藝運(yùn)行完，自動(dòng)取舟到“Storage”位置冷卻；冷卻后“Slider”自動(dòng)取舟到下料位置并伴有蜂鳴提示，進(jìn)行取舟卸片和測(cè)試方塊電阻；再放上需要擴(kuò)散的舟。 16、同時(shí)CMI電腦彈出“Boat Info”界面，點(diǎn)擊“Unload done”按鈕，在軟件中完成卸舟信息。17、進(jìn)入“Boat Info Mode Select”界面，選擇“Wafer（Production

10、 wafer with host validation）”項(xiàng)，點(diǎn)擊“OK”按鈕。 第18頁(yè)，共29頁(yè)，2022年，5月20日，0點(diǎn)17分，星期四關(guān)機(jī)操作（一）1、檢查并確定各管工藝已運(yùn)行完畢，設(shè)定“Paddle”溫度為500：按下“Manual/T_Paddle/All/Setpoint”,輸入“500”并按 “ENTER” 確認(rèn)。2、逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)TGA頂部調(diào)壓閥，關(guān)閉爐門的壓縮空氣，使壓力為零。 第19頁(yè)，共29頁(yè)，2022年，5月20日，0點(diǎn)17分，星期四關(guān)機(jī)操作（二）3、當(dāng)各管爐溫降到500，用手推開爐門5mm左右，防止冷凝后偏磷酸粘住爐門。 4、設(shè)定“Spike”溫度到20。按下“Man

11、ual/T_Spike/All/Setpoint”,輸入“20” 并按確認(rèn)“ENTER”。5、在CMI觸摸屏上分別關(guān)閉1-4管的CESAR系統(tǒng)，按下“Service/Shutdown/Yes”；并且關(guān)閉氣柜上1-4管“CESAR”的開關(guān)。 第20頁(yè)，共29頁(yè)，2022年，5月20日，0點(diǎn)17分，星期四關(guān)機(jī)操作（三）6、按下恒溫箱控制面板的“RUN”按鈕，使恒溫箱停止工作，再關(guān)閉黑色的電源開關(guān)。 7、退出CMI軟件，關(guān)閉CMI電腦。 第21頁(yè)，共29頁(yè)，2022年，5月20日，0點(diǎn)17分，星期四關(guān)機(jī)操作（四）8、關(guān)閉設(shè)備冷卻水：先關(guān)進(jìn)水閥，再關(guān)出水閥。 9、關(guān)閉電器柜總斷路器，使設(shè)備斷電。 第2

12、2頁(yè)，共29頁(yè)，2022年，5月20日，0點(diǎn)17分，星期四關(guān)機(jī)操作（五）10、關(guān)閉氣柜的氮?dú)?、氧氣和壓縮空氣的手動(dòng)閥。第23頁(yè)，共29頁(yè)，2022年，5月20日，0點(diǎn)17分，星期四維護(hù)保養(yǎng)（一）1、清理冷卻瓶和過(guò)濾瓶的偏磷酸。2、檢查并更換聚四氟密封圈。第24頁(yè)，共29頁(yè)，2022年，5月20日，0點(diǎn)17分，星期四維護(hù)保養(yǎng)（二）3、檢查并清理氣柜抽風(fēng)管道下部的偏磷酸。4、清理冷阱內(nèi)部和盛放冷凝瓶的接液盤。第25頁(yè)，共29頁(yè)，2022年，5月20日，0點(diǎn)17分，星期四維護(hù)保養(yǎng)（三）5、檢查石英管內(nèi)的碎片并清理。6、清理石英管口冷凝的偏磷酸。第26頁(yè)，共29頁(yè)，2022年，5月20日，0點(diǎn)17分，星期四維護(hù)保養(yǎng)（四）7、檢查冷卻水管道和SSR冷卻部分是否漏水。8、檢查觸摸屏使用是否正常，矯正。第27頁(yè)，共29頁(yè)，2022年，5月20日，0點(diǎn)17分，星期四生產(chǎn)提示-信號(hào)指示燈1、黃色燈：手動(dòng)狀態(tài)；警告或在設(shè)定模式時(shí)警告，沒(méi)有蜂鳴報(bào)警。2、綠色燈：自動(dòng)