顯影蝕刻退膜工序工藝規(guī)程

1、顯影蝕刻退膜工序工藝規(guī)程修訂日期修訂單號(hào)修訂內(nèi)容摘要頁(yè)次版次修訂審核批準(zhǔn)2011/03/30/系統(tǒng)文件新制定4A/0/更多免費(fèi)資料下載請(qǐng)進(jìn)： HYPERLINK 好好學(xué)習(xí)社區(qū)批準(zhǔn)：審核：編制：顯影蝕刻退膜工序工藝規(guī)程1目的為規(guī)范顯影、蝕刻、退膜操作，確保產(chǎn)品生產(chǎn)品質(zhì)2范圍單面、雙面及多層板均適應(yīng)3職責(zé)操作執(zhí)行：生產(chǎn)部操作監(jiān)督：工程、品管部藥水化驗(yàn)：品管部藥水添加：工程部、生產(chǎn)部、品管部設(shè)備維護(hù)保養(yǎng)：生產(chǎn)部設(shè)備維修：工程部、設(shè)備供應(yīng)商4材料、設(shè)備和工具4.1材料碳酸鉀、鹽酸、蝕刻添加劑、硫酸、氫氧化鈉4.2設(shè)備、工具顯影、蝕刻、退膜自動(dòng)線5相關(guān)文件無(wú)6工藝規(guī)程6.1工藝流程放板顯影沖污水加壓水洗

2、（1）加壓水洗（2）清水洗檢查蝕刻酸洗溢流水洗（1）溢流水洗（2）清水洗檢查退膜沖污水加壓水洗（3）加壓水洗（4）加壓水洗（5）清水洗烘干收板6.2流程說(shuō)明6.2.1放板放板時(shí)雙手需戴干凈的白紗手套或膠指套。放板時(shí)將板平整的一角朝前，并傾斜呈45度,且板與板之間相隔5-10cm,以防疊板及卡板。6.2.2顯影：用弱堿液碳酸鉀將末曝光的干膜去掉，露出需要的線路圖形。6.2.3蝕刻：將露出的非線路銅箔蝕刻掉，以形成所需的線路。6.2.4酸洗：清洗掉從蝕刻槽所帶出之殘液。6.2.5退膜：用強(qiáng)堿液氫氧化鈉將線路上的保護(hù)干膜去除干凈。6.2.6吸干：米用吸水輥將板面富于的水份吸走。6.2.7烘干：采用熱

3、風(fēng)將板面及孔內(nèi)的水份吹干，防止板面氧化.6.2.8收板：接板時(shí)戴干凈的白紗手套或膠指套。接板時(shí)拿板的對(duì)角，并輕拿輕放，小心防止刮傷。缸名開缸成份控制范圍操作條件補(bǔ)充換槽頻率溫度時(shí)間噴淋壓力方法顯影(500L)碳酸鉀：1.0%0.8-1.2%302C30-60秒23kg/cm2化驗(yàn)添加200m2/次蝕刻(500L)蝕刻母液：100%Cif:140-180g/LPH0.41.0比重：1.2-1.3酸度：1.5-2.5N502C視銅箔的厚度而定23kg/cm2化驗(yàn)添加2個(gè)月/清槽一次酸洗(95L)硫酸：4%HSQ:3-5%室溫30-60秒1.0-1.5kg/cm2化驗(yàn)添加每周/次退膜(500L)氫氧

4、化鈉：40g/L30-50g/L502C60-90秒23kg/cm化驗(yàn)添加200m/次7操作規(guī)程7.1開機(jī)前準(zhǔn)備7.1.1查看有無(wú)維護(hù)人員在維修設(shè)備。7.1.2檢查進(jìn)、出水閥是否處于正常狀態(tài)。7.1.3檢查所有槽液是否足夠，必須保證液位在加熱管安全線上。7.1.4將吸水輥上方的滴水管打開,沖洗2-3分鐘進(jìn)行潤(rùn)濕。7.1.5檢查外蓋是否蓋好，過(guò)濾器是否扭緊，以防腐蝕性藥液漏出。7.1.6化驗(yàn)槽液成份是否在控制范圍內(nèi).（以每班化驗(yàn)結(jié)果調(diào)整）。7.2開機(jī)程序總電源f控制電源f進(jìn)入觸摸顯示屏工作畫面f顯影f沖污水f加壓水洗（1）f加壓水洗（2）f清水洗f蝕刻f酸洗f溢流水洗（1）f溢流水洗（2）f清水

5、洗f退膜f沖污水f加壓水洗（3）f加壓水洗（4）f加壓水洗（5）f清水洗f烘干7.3操作參數(shù)7.3.1傳送速度：（1）顯影速度：依顯像點(diǎn)而定；（2）蝕刻速度：視銅箔厚度而定；（3）退膜速度：1.01.5米/分鐘。7.3.2熱風(fēng)溫度：9010C。7.3.3生產(chǎn)前需先試做2-3PNL,檢查銅面有無(wú)顯影不凈、蝕刻不凈及退膜不凈等情況，0K后方可批量生產(chǎn)。7.4關(guān)機(jī)程序：以開機(jī)的反順序進(jìn)行。8設(shè)備維護(hù)與保養(yǎng)序號(hào)保養(yǎng)項(xiàng)目保養(yǎng)方式要求保養(yǎng)頻率責(zé)任人1機(jī)身用絨布擦洗無(wú)灰塵、油污次/班生產(chǎn)作業(yè)員2水洗缸清潔、更換水質(zhì)清澈、液位達(dá)標(biāo)次/班生產(chǎn)作業(yè)員3噴管及噴清潔、調(diào)整、噴管垂直向下噴淋、噴次/班生產(chǎn)作業(yè)員嘴更換

6、嘴尢堵塞4吸水輥洗衣粉清洗、絨布擦洗無(wú)滑膩感、無(wú)污漬、保持潤(rùn)濕狀態(tài)次/班生產(chǎn)作業(yè)員5傳動(dòng)輪擦洗、緊固清潔無(wú)污垢、傳動(dòng)平穩(wěn)次/班生產(chǎn)作業(yè)員6過(guò)濾網(wǎng)沖洗清潔、無(wú)堵孔現(xiàn)象次/班生產(chǎn)作業(yè)員7風(fēng)刀干布擦拭、刀片清理清潔無(wú)堵塞次/班生產(chǎn)作業(yè)員備注：設(shè)備出現(xiàn)報(bào)警，應(yīng)立即停機(jī)檢查；機(jī)器如有零件松動(dòng)、損壞或異常噪聲等情況，應(yīng)立即停機(jī)維修。9相關(guān)記錄表格9.1槽液分析/調(diào)配通知單槽液分析/調(diào)配通知單試驗(yàn)項(xiàng)目：生產(chǎn)線：通知單號(hào)：日期:號(hào)槽r成份含量要求值;結(jié)論補(bǔ)充藥品數(shù)量單位調(diào)配者備注化驗(yàn)員：校對(duì)：工藝工程師：9.2藥水添加更換記錄表藥水添加更換記錄表日期藥水品名添加量添加人備注9.3設(shè)備日常維護(hù)記錄設(shè)備日常維護(hù)記錄部門：工序：序號(hào):設(shè)備名稱型號(hào)設(shè)備編號(hào)年月曰項(xiàng)目日期X安全裝置調(diào)節(jié)器油、水、氣通道過(guò)濾器傳動(dòng)部位滑動(dòng)部位防銹處理衛(wèi)生清理其它簽名i234567:89