無塵室基礎(chǔ)知識

1、無塵室基礎(chǔ)知識Cleaning room training共二十頁 1.污染(wrn)定義 1.污染(wrn)定義 a).所有存在于產(chǎn)品上，會對產(chǎn)品產(chǎn)生直接或 間接危害的物質(zhì)； b).所有存在于產(chǎn)品上，超出產(chǎn)品要求之外的 物質(zhì)； c).任何客戶不允許存在于產(chǎn)品上的物質(zhì)。 2.污染危害 a).打印白點，白線； b).電路短路：導(dǎo)電物質(zhì)在IC線路間；共二十頁 c).ESD：不導(dǎo)電物在IC線路間，靜電積聚 Charge ESD； d).粘結(jié)力不夠：加膠； e).腐蝕，溫度積聚。 3.污染來源 人是無塵室中污染的最大來源。無塵室空氣(kngq) 中檢測到的污物中，80%來源于人，15%來源 于工具和設(shè)

2、備，5%來源于環(huán)境。共二十頁 4.污染的去除 污染控制的一個最大突破是無塵室的使用。 擦洗(c x)：用無塵抹布蘸溶劑水擦除灰塵、污漬。 共二十頁 5.污染(wrn)的逐級清潔控制 即從外圍環(huán)境到工作區(qū)域進(jìn)行臺階式漸進(jìn) 控制，直至達(dá)到工作環(huán)境要求。如下圖1：無塵室 Clean RoomClass100/1K/10K/100K辦公室 + 普通工場 Class300K 廠區(qū) Class 500-800K 共二十頁無塵室定義無塵室分類無塵室組成無塵室控制瀚誠無塵室主要控制指標(biāo)無塵室知識共二十頁 1、無塵室(Cleaning Room,C/R)定義 使室內(nèi)(廠房)空氣的塵粒、溫度、濕度壓力 等技術(shù)指標(biāo)

3、成為一穩(wěn)定受控的區(qū)域，用來保 証某一生產(chǎn)或試驗過程所必需的環(huán)境要求， 該區(qū)域即被稱為無塵室。2、無塵室一般(ybn)的分類： Class-100/1K/10K（ISL C/R)/100K四種級別的無塵室。共二十頁 3、無塵室的基本(jbn)組成： 更衣室、風(fēng)浴室、無塵室(工作區(qū)域)。 更衣室：相對普通工場及辦公室而言，是一個更 潔淨(jìng)的區(qū)域，主要用來穿脫無塵衣， 時也能保証無塵衣貯存在一個 相對清潔的區(qū)域內(nèi)。 共二十頁 風(fēng)浴室：兩側(cè)牆壁上密排空氣噴咀，它能噴出 1624M/S的高速(o s)潔淨(jìng)的空氣，其目的是用強(qiáng)的 潔淨(jìng)空氣流吹去無塵工衣表面的懸浮塵埃,從 而達(dá)到清潔無塵工衣表面的目的。同時,

4、地板 上鋪有地板膠，其目的是將無塵鞋套底部處 的臟東西粘下來，從而達(dá)到清潔鞋底部的功效。 共二十頁 無塵室：從無塵室天花板高效清潔過濾器吹 出的空氣非常清潔，Hepa Filter能將99.97% 的大于等于(dngy)0.3um的塵粒過濾掉，過濾后 的空氣每立方尺中大于等于0.3um的塵粒 一般不超過1粒，從Hepa Filter吹下的潔淨(jìng) 空氣吹過無塵室工 作區(qū)域的所有空間，源 源不斷地用干淨(jìng)的空氣替換已污臟的空氣，最 共二十頁 經(jīng)回風(fēng)口帶出無塵室，同時，通過調(diào)整進(jìn)風(fēng) 量與回風(fēng)量從而使得工作區(qū)域靜壓力高于外 界氣壓(約高5-10pa)，從而使外界空氣不致 灌進(jìn)無塵室。另外，所有用來建造無塵

5、室 的牆壁材料(cilio)均為表面低發(fā)塵性的專用材料(cilio), 應(yīng)注意其牆壁的保護(hù)，不可刻畫及張貼而 損壞牆壁表面。 共二十頁 人機(jī)料法環(huán)4、無塵室 的控制共二十頁 無塵室控制思想： a).少進(jìn)多出 一要做到“多出”，也就是盡可能快及盡可能多地 將無塵室的塵粒排出無塵室之外； 二要做到“少進(jìn)”，試想，如果進(jìn)入無塵室的塵粒 數(shù)量大于無塵室所能排出的數(shù)，結(jié)果可想而知， 所以“少進(jìn)”也是一個非常重要的因素(yn s)，為了達(dá) 到“少進(jìn)”的目的，需從人、機(jī)、料、法幾個方 面尋找問題根源，盡量減少這幾個方面產(chǎn)生塵 粒的可能性。共二十頁 b).防止交叉污染 物體與物體、物體與環(huán)境等之間的相互污染。

6、 主要(zhyo)有以下途徑： 干淨(jìng)物體 相對污臟的環(huán)境或物體 污臟物體 相對干淨(jìng)的環(huán)境或物體共二十頁 5、無塵室控制注意事項人：在所有(suyu)影響到無塵室清潔度的因素中，人是最主 要因素，發(fā)塵量占85%左右，實驗証明在人員走 動頻繁的時間內(nèi)(上下班時間)，無塵室塵粒數(shù)量 明顯高于穩(wěn)定的工作時間的塵粒數(shù)量。為什么人 會對塵?？刂飘a(chǎn)生如此大的影響呢？因為人是活 躍的，人的新陳代謝會產(chǎn)生大量的頭屑、皮屑等， 呼出的氣體中也帶有大量的塵粒人到處走動尤其共二十頁 有劇烈動作時會將自身這個最大的污染源到處 傳播，因而使得無塵室因人的出現(xiàn)而難以控制。 所有(suyu)這些都要求我們必須正確穿著無塵衣及

7、嚴(yán) 格遵守?zé)o塵室紀(jì)律，同時需講究良好的個人衛(wèi) 生，如勤洗澡、勤換衣等。即要做到以下幾點： a).避免劇烈動作； b).講究個人衛(wèi)生； c).嚴(yán)禁在無塵室中解開無塵衣及其它無塵室違 紀(jì)行為。 共二十頁 機(jī)：包括所有用在無塵室內(nèi)的儀器、設(shè)備，如生產(chǎn) 的一系列儀器、設(shè)備等，再如平常(pngchng)無塵室內(nèi)用 的桌椅等，需滿足以下要求，就是： a).清潔合格，保証不將塵粒帶進(jìn)無塵室內(nèi)； b).產(chǎn)生塵粒的能力低 杜絕塵粒污染源； c).定期清潔，保持機(jī)器隨時處于干淨(jìng)狀態(tài)。共二十頁瀚誠無塵室主要(zhyo)控制指標(biāo)共二十頁The EndThanks!共二十頁內(nèi)容摘要無塵室基礎(chǔ)知識。Class100/1K/10K/100K。使室內(nèi)(廠房)空氣的塵粒、溫度、濕度壓力。Class-100/1K/10K（ISL C/R)/100K四種級別的無塵室。更衣室、風(fēng)浴室、無塵室(工作區(qū)域)。的臟東西粘下來，從而達(dá)到清潔鞋底部的功效。的大于等于0.3um的塵粒過濾掉，過濾后。的牆壁材料均為表面(biomin)低發(fā)塵性的專用材料,。到“少進(jìn)”的目的，需從人、機(jī)、料、法幾個方。