微電子生產(chǎn)設(shè)備外延爐-氧化擴(kuò)散退火設(shè)備-腐蝕清洗機(jī)（槽式）單機(jī)試運(yùn)轉(zhuǎn)及驗(yàn)收范例

1、微電子生產(chǎn)設(shè)備外延爐、氧化/擴(kuò)散/退火設(shè)備、腐蝕清洗機(jī)(槽式)單機(jī)試運(yùn)轉(zhuǎn)及驗(yàn)收范例試運(yùn)轉(zhuǎn)前應(yīng)檢查以下工程，并應(yīng)在符合要求后進(jìn)行單機(jī)試運(yùn)轉(zhuǎn)：1環(huán)境潔凈度等級(jí)應(yīng)為5級(jí)，環(huán)境溫度應(yīng)為22c 0.5,相對(duì)濕度應(yīng)為45%5%；2三相交流電源：AC380V10%,頻率50lHz。UPS電源開(kāi)啟正常；3設(shè)備本體接地良好，接地電阻W1Q；4設(shè)備控制系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)、硅片傳輸系統(tǒng)、反響腔室、水冷/風(fēng)冷系統(tǒng)、 電源柜、排氣系統(tǒng)等均可正常運(yùn)行；5二次配管系統(tǒng)的連接、標(biāo)識(shí)、壓力、閥門狀態(tài)等檢查正常；6驅(qū)動(dòng)氮?dú)鈮毫?yīng)為0.50.7MPa；7普通氮?dú)鈮毫?yīng)為0.61.2 MPa；8工藝?yán)鋮s水進(jìn)回水壓差應(yīng)大于0.3Mpa,單

2、腔合計(jì)水流量應(yīng)大于83LPM。Bubbler水流量正常，溫度1820C,控溫精度0.1C。干泵水流量2.53.0SLM；9所有平安互鎖功能正常開(kāi)啟；10正常上電開(kāi)機(jī)后無(wú)故障報(bào)警。驗(yàn)收工程應(yīng)符合以下要求：1 氣柜氫檢漏率1E-8mbarL/s,正壓漏率0.1%/h(12h,20psi)；2工藝腔、傳輸腔均保壓合格，氫檢合格；3額定風(fēng)速時(shí)，上風(fēng)壓和下風(fēng)壓都應(yīng)大于lOOPa；4反響腔室工藝溫度控制精度滿足設(shè)計(jì)要求；5傳輸系統(tǒng)穩(wěn)定可靠，連續(xù)500片傳送無(wú)故障，晶圓外表無(wú)劃傷；6整機(jī)系統(tǒng)控制正常，平安防護(hù)功能正常。腐蝕清洗機(jī)（槽式）試運(yùn)轉(zhuǎn)前應(yīng)檢查以下工程，并應(yīng)在符合要求后進(jìn)行單機(jī)試運(yùn)轉(zhuǎn)：1環(huán)境潔凈度等級(jí)

3、應(yīng)為5級(jí)，環(huán)境溫度應(yīng)為22c0.5；2三相交流電源：AC380V10%,頻率50lHz；3設(shè)備本體接地良好，接地電阻W1Q；4系統(tǒng)控制柜、化學(xué)藥液供給系統(tǒng)、傳輸移載系統(tǒng)、加熱控制系統(tǒng)、氣路系 統(tǒng)、快速排氣系統(tǒng)、排風(fēng)裝置等均可正常運(yùn)行。5去離子水管路應(yīng)采用PFA管，去離子水壓力范圍0.250.4Mpa,流量不小于 35L/min；6化學(xué)藥液管路應(yīng)采用PFA管，手閥開(kāi)關(guān)位置檢查正常；7排水管路應(yīng)采用PFA管，管徑不小于50mm；8氮?dú)夤苈窇?yīng)采用PFA管或316Ap管，接口形式為卡套，氮?dú)鈮毫Ψ秶?.250.7Mpa；9去離子水自動(dòng)注入功能正常；10漏液檢測(cè)功能正常；11廢液排放功能正常；12排風(fēng)裝

4、置運(yùn)行正常；13所有平安互鎖功能正常開(kāi)啟；14正常上電開(kāi)機(jī)后無(wú)故障報(bào)警。驗(yàn)收工程應(yīng)符合以下要求：1排風(fēng)口直徑應(yīng)為50200mm,每個(gè)排風(fēng)口排風(fēng)量不應(yīng)小于8500l_/min；2傳送移載系統(tǒng)工作正常，機(jī)械手抖動(dòng)頻率應(yīng)為3060次/min,可設(shè)定，抖動(dòng)行程宜為10mm；3去離子水快速注入，注入完成時(shí)間不應(yīng)大于150s；4去離子水快速排放，排放完成時(shí)間不應(yīng)大于6s；5清洗槽加熱控制系統(tǒng)滿足設(shè)計(jì)要求；6氮?dú)飧稍锵到y(tǒng)性能滿足設(shè)計(jì)要求；7整機(jī)系統(tǒng)控制正常，平安防護(hù)功能正常。氧化/擴(kuò)散/退火設(shè)備試運(yùn)轉(zhuǎn)前應(yīng)檢查以下工程，并應(yīng)在符合要求后進(jìn)行單機(jī)試運(yùn)轉(zhuǎn)：1環(huán)境潔凈度等級(jí)應(yīng)為5級(jí)，環(huán)境溫度應(yīng)為22c 0.5,相對(duì)

5、濕度應(yīng)為45%5%；2三相交流電源：AC380V10%,頻率50lHz；3設(shè)備本體接地良好，接地電阻不應(yīng)大于1Q；4系統(tǒng)控制柜、氣路柜、硅片移載系統(tǒng)、功率控制系統(tǒng)、水冷系統(tǒng)、凈化工 作臺(tái)、排毒箱、排氣系統(tǒng)等均可正常運(yùn)行；5二次配管系統(tǒng)的連接、標(biāo)識(shí)、壓力、閥門狀態(tài)等檢查正常；6濕度傳感器、室內(nèi)溫度傳感器、風(fēng)壓傳感器、空氣質(zhì)量傳感器應(yīng)設(shè)置合理， 工作正常；7工藝?yán)鋮s水壓力應(yīng)為0.5MPa,流量應(yīng)為510L/min；8壓縮空氣壓力應(yīng)為0.40.7MPa,流量應(yīng)為1020L/min；9設(shè)備氣路柜風(fēng)量應(yīng)為1015iT|3/min,排毒箱排風(fēng)量應(yīng)為8121Tl/min；10所有平安互鎖功能正常開(kāi)啟；11正常上電開(kāi)機(jī)后無(wú)故障報(bào)警。驗(yàn)收工程應(yīng)符合以下要求：1設(shè)備的溫度傳感器、壓力傳感器、水流開(kāi)關(guān)、水流