單靶鍍膜工藝操作規(guī)程

1、單靶鍍膜工藝操作規(guī)程編 號(hào) ZHKJ-1第 A 版 第 0 次修改山東中恒科技有限公司第 1 頁 共 4 頁適用范圍本規(guī)程規(guī)定了單靶鍍膜操作的技術(shù)要求和操作步驟。技術(shù)要求2.1鋁靶的直徑60mm；2.2壓縮空氣的壓強(qiáng)應(yīng)達(dá)到0.40.6Mpa；2.3鍍膜操作室的室溫小于35，相對(duì)濕度小于70%RH；2.4鍍室內(nèi)清潔，無灰塵、異物。操作步驟3.1工作準(zhǔn)備打開壓縮空氣閥門，檢查空氣壓強(qiáng)是否達(dá)到0.40.6Mpa。打開冷卻循環(huán)水閥門，同時(shí)檢查通水狀況是否良好，各水管的接頭和閥門有無泄漏。檢查氬氣、氮?dú)鈨煞N氣體的聯(lián)接狀況，看接頭是否有泄漏,分別打開氬氣、氮?dú)獾目傞y。3.2開機(jī)開啟本機(jī)電源。將機(jī)箱控制面板

2、上的電源開關(guān)置于“開”的位置，手動(dòng)狀態(tài)下，打開“機(jī)械泵”，延時(shí)1分鐘后，壓差閥自動(dòng)打開，按下“前級(jí)閥”按鈕，當(dāng)電離計(jì)顯示數(shù)值低于8Pa時(shí)，開“機(jī)械泵擴(kuò)散泵”，擴(kuò)散泵加熱。擴(kuò)散泵加熱溫度超過160后，方可進(jìn)行正常的操作。緩慢調(diào)節(jié)氬氣、氮?dú)鉁p壓閥，得氬氣、氮?dú)獾牡蛪罕碜x數(shù)控制在0.1-0.2MPa之間。集熱管單靶鍍膜工藝操作規(guī)程編 號(hào) ZHKJ-1第 A 版 第 0 次修改山東中恒科技有限公司第 2 頁 共 4 頁打開質(zhì)量流量計(jì)顯示器電源開關(guān)。打開計(jì)算機(jī)電源，輸入工藝卡片中規(guī)定的工藝參數(shù)。打至 “放氣”按鈕，放完氣后打到“?！?，然后打開鍍室門。3.3裝管打開轉(zhuǎn)架電源開關(guān)，將合格內(nèi)管插入轉(zhuǎn)架插桿。裝

3、管時(shí)，預(yù)先戴好一次性手套，外層再戴上干凈的細(xì)紗手套，戴好之后不許觸摸其他物品，如門、車把、桌椅等。玻璃管全部插滿插桿后，觀察每支管子的自轉(zhuǎn)狀態(tài)，確定玻璃管間無碰撞后，關(guān)閉轉(zhuǎn)架電源開關(guān)，關(guān)閉鍍室門。3.4粗抽真空將“前級(jí)”撥到“?！睋艿健按殖椤毕到y(tǒng)進(jìn)入“粗抽”，復(fù)合計(jì)開始顯示讀數(shù)。3.5精抽真空當(dāng)復(fù)合計(jì)顯示值小于8Pa時(shí)，將按鈕由“粗抽”撥到 “停”然后到“前級(jí)”再到“高閥”。3.6濺射鍍膜當(dāng)高真空達(dá)到工藝設(shè)定（復(fù)合計(jì)顯示值）后，將按鈕達(dá)到“光欄”按下“氬氣”開關(guān)將質(zhì)量流量計(jì)達(dá)到“自動(dòng)”“閥控”。開始進(jìn)氬氣。打開轉(zhuǎn)架旋轉(zhuǎn)電源開關(guān)、慢慢調(diào)至8010V。當(dāng)電離計(jì)顯示到工藝壓強(qiáng)時(shí)，打開靶電源，調(diào)節(jié)電流

4、旋鈕至規(guī)定電流值。直到電壓達(dá)到400V，按下“運(yùn)行”開始鍍膜。當(dāng)鍍膜機(jī)處于濺射工作狀態(tài)時(shí)，操作工隨時(shí)觀察設(shè)備的運(yùn)行狀態(tài)，注意各儀器儀表顯示的數(shù)值變化，嚴(yán)格按要求填寫鍍膜操作記錄。集熱管單靶鍍膜工藝操作規(guī)程編 號(hào) ZHKJ-1第 A 版 第 0 次修改山東中恒科技有限公司第 3 頁 共 4 頁3.7裝配支架裝填支架前，檢查支架清洗是否干凈，焊接是否牢固。支架裝填到外管的圓頭部，裝填時(shí)應(yīng)避免劃傷外管的內(nèi)壁。裝填支架必需使用專用工具并配戴一次性手套，不得用手直接接觸支架以免造成污染。3.8終止濺射鍍膜 計(jì)算機(jī)程序運(yùn)行到1秒后，執(zhí)行如下操作：當(dāng)鍍室內(nèi)真空度達(dá)到9.010-2Pa以上后，將“高閥”關(guān)閉，

5、達(dá)到“前級(jí)”狀態(tài)，將按鈕達(dá)到“放氣”放完氣后達(dá)到“?！?.9出管取管：手握已鍍膜管下部垂直往上提，使管口脫離轉(zhuǎn)架軸，將鍍膜管移出鍍室。內(nèi)外管裝配：手握已鍍膜內(nèi)管，管口向上，管身豎直放入外管中；放入時(shí)應(yīng)注意避免內(nèi)管的圓頭劃傷外管內(nèi)壁，使其輕緩下落，直至接觸到支架。內(nèi)管裝入外管后，按住內(nèi)管端口往下輕壓，使支架包住圓頭。3.10連續(xù)工作時(shí)重復(fù)3.33.9的操作步驟。3.11產(chǎn)品經(jīng)自檢合格后，由操作工在內(nèi)管管口部位印上工號(hào)，轉(zhuǎn)下工序。3.12 關(guān)機(jī)當(dāng)鍍膜機(jī)要停止工作時(shí)，執(zhí)行如下機(jī)程序：在鍍膜機(jī)停止工作前，先關(guān)鍍室門，打開 “粗抽”按鈕，將鍍室真空度抽到8Pa以下。然后將“粗抽”撥到“?！睋艿健扒凹?jí)”，

6、將按鈕“機(jī)械泵擴(kuò)散泵”撥到“機(jī)械泵”，冷卻（60之后）關(guān)掉“前級(jí)”關(guān)掉“機(jī)械泵”。集熱管單靶鍍膜工藝操作規(guī)程編 號(hào) ZHKJ-1第 A 版 第 0 次修改山東中恒科技有限公司第 4 頁 共 4 頁關(guān)兩氣總閥（高壓、低壓）。3.12.4關(guān)循環(huán)水，關(guān)電源總開關(guān)。3.12.5若設(shè)備關(guān)機(jī)后長(zhǎng)期停放，則需放凈水套及盤管內(nèi)的循環(huán)水，并用高壓空氣吹干。4. 質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)整體膜色均勻，管口無明顯變淺區(qū)，膜層無劃傷、無脫落；內(nèi)外管及卡子裝配到位。5. 檢查方法 目測(cè)編制： 審核： 批準(zhǔn)：日期： 日期： 日期：1. 在組織間主任的指導(dǎo)下，安排本班組的日常生產(chǎn)，并處理生產(chǎn)過程中的各種問題。 2. 做好本班組員工之間的工作協(xié)調(diào)。 3. 按照工藝規(guī)程指導(dǎo)本班組人員生產(chǎn)。 4. 編寫崗位操作規(guī)程，經(jīng)批準(zhǔn)后貫徹執(zhí)行，并經(jīng)常檢查和指導(dǎo)各崗位正確執(zhí)行。 5. 負(fù)責(zé)車間工藝指標(biāo)執(zhí)行情況的日常檢查，保證生產(chǎn)穩(wěn)定運(yùn)行。 6. 組織本班組員工嚴(yán)格按照工藝規(guī)程和操作規(guī)程執(zhí)行。 7. 負(fù)責(zé)組織、檢查本班組各種原始記錄、工藝記錄。 8. 負(fù)責(zé)班組生產(chǎn)報(bào)表的制定。 8. 協(xié)助車間主任對(duì)發(fā)生的技術(shù)質(zhì)量事故進(jìn)行調(diào)查、分析、處理。 9. 做好班組安全生產(chǎn)檢查工作，及時(shí)記錄，對(duì)