立式爐安全操作規(guī)程

1、操作規(guī)程示范文本 | Excellent Model Text 資料編碼：CYKJ-FW-714編號(hào)：_立式爐安全操作規(guī)程審核：_時(shí)間：_單位：_立式爐安全操作規(guī)程用戶指南：該操作規(guī)程資料適用于指明操作步驟和程序，安全技術(shù)知識(shí)和注意事項(xiàng)，指導(dǎo)正確使用個(gè)人安全防護(hù)用品，生產(chǎn)設(shè)備和安全設(shè)施的維修保養(yǎng)，預(yù)防事故的緊急措施，安全檢查的制度和要求等?？赏ㄟ^修改使用，也可以直接沿用本模板進(jìn)行快速編輯。1. 目的為DJ-802V型LPCVD立式爐的開關(guān)機(jī)安全操作以及設(shè)備緊急避險(xiǎn)提供指導(dǎo)。2. 范圍：本規(guī)程適用于DJ-802V型LPCVD立式爐安全技術(shù)操作。3. 參考設(shè)備安全使用管理制度4. 職責(zé)4.1. 設(shè)

2、備工程師負(fù)責(zé)設(shè)備的正常開、關(guān)機(jī)操作的培訓(xùn)和指導(dǎo)；4.2. 擴(kuò)散操作者以及設(shè)備工程師等相關(guān)人員可執(zhí)行設(shè)備的緊急避險(xiǎn)程序。5. 開機(jī)前確認(rèn)5.1. 開機(jī)前確認(rèn)住控制器開關(guān)、傳片單元開關(guān)、顯示器開關(guān)、爐體加熱開關(guān)、控制器電源開關(guān)、DN-130P極限溫度控制器電源開關(guān)、FFU電源開關(guān)、照明燈電源開關(guān)都在“OFF”位置；若不在，則將開關(guān)調(diào)整至“OFF”位置。圖片5.2. 開機(jī)前動(dòng)力條件確認(rèn)：打開閥門后觀察氮?dú)鈮毫Α⒐柰閴毫?、二氯二氫硅壓力、笑氣壓力、氨氣壓力、壓縮空氣壓力、冷卻水壓力均在壓力表綠色區(qū)間內(nèi)。氣體壓力，SiH4：21kg/cm2，SiH2CL2：0.70.1 kg/cm2，N20：21 kg

3、/cm2，氨氣：21 kg/cm2，N2：21 kg/cm2，壓空：51 kg/cm2。冷卻水流量，正常值為50010cc/min。圖片5.3. LPCVD的真空泵氮?dú)鈮毫屠鋮s水壓力都在額定值范圍內(nèi)。（能通過真空泵控制面板的自檢）6. 操作順序6.1. 打開120V、280V電源開關(guān)6.2. 依次打開控制器電源開關(guān)、DN-130P極限溫度控制器電源開關(guān)、FFU電源開關(guān)、照明燈電源開關(guān)、主控制器開關(guān)、傳送單元開關(guān)、顯示器開關(guān)、爐體加熱開關(guān)。6.3. 顯示器上提示“BACKUP MEMORY INITIALIZE OK？”按F1鍵確認(rèn)。6.4. 真空系統(tǒng)建立6.4.1. 確認(rèn)各閥門動(dòng)作正常且大閥

4、處于關(guān)閉狀態(tài)（閥控制面板上V71閥LED燈不亮，即大閥關(guān)閉）；6.4.2. 按真空泵控制面板上的“START”鍵；6.4.3. 檢查真空壓力表讀數(shù)是否在紅色箭頭指定的0.2Pa位置；6.4.4. 撿漏時(shí)先開慢抽（V72閥），當(dāng)真空計(jì)讀數(shù)為100Pa以下時(shí)再打開快抽（V71閥）；6.4.5. 當(dāng)真空閥路控制器轉(zhuǎn)換到MANUAL狀態(tài)，打開V5，V8 閥，按“SET”鍵確認(rèn)，當(dāng)容壓計(jì)和真空計(jì)的讀數(shù)均為零的時(shí)候，關(guān)閉V71閥，計(jì)時(shí)3分鐘，漏率不超過2Pa/min。6.4.6. 通過漏率測(cè)試，慢回填氮?dú)猓?.5slm）10分鐘，再快回填氮?dú)猓?slm）15分鐘。6.4.7. 將爐門落下，待機(jī)做片。7.

5、關(guān)機(jī)程序7.1. 程序結(jié)束后依次關(guān)閉加熱開關(guān)，觀察DN-130P極限溫度控制器顯示溫度降至50攝氏度以下，關(guān)閉主控制器開關(guān)、傳送單元開關(guān)、顯示器開關(guān)；7.2. 關(guān)閉照明燈電源、關(guān)閉FFU電源開關(guān)、關(guān)閉DN=130P極限溫度控制器電源開關(guān)、關(guān)閉控制器電源；7.3. 關(guān)閉120Vhe208V電源開關(guān)7.4. 關(guān)閉真空泵：控制面板上的STOP鍵，關(guān)閉真空泵泵冷卻水，關(guān)閉真空泵吹掃氮?dú)猓P(guān)閉真空泵本電源開關(guān)7.5. 關(guān)閉冷卻水，氮?dú)猓瑝嚎s空氣閥門。8. 注意事項(xiàng)：本LPCVD立式爐是集高溫、高壓、特氣于一體的工藝設(shè)備，為了保證人身和設(shè)備安全，所有人員必須嚴(yán)格遵守下列條款：8.1. 電器安全8.1.1.

6、 不能去掉所有連鎖；8.1.2. 爐體電源打開后，嚴(yán)禁打開爐體腔門，需要處理爐體端子時(shí)，必須先把高壓斷開，進(jìn)行這些操作時(shí)，必須兩人在場(chǎng)；8.2. 特氣安全8.2.1. 本設(shè)備使用硅烷作為工藝氣體，該氣體遇空氣極易燃且有毒，燃燒后產(chǎn)生白色粉末，對(duì)凈化環(huán)境產(chǎn)生影響。8.2.2. 未經(jīng)允許，不準(zhǔn)打開或者關(guān)閉硅烷閥門，停送氣需要提前申請(qǐng)；8.2.3. 硅烷氣體管路系統(tǒng)必須氣密性良好，一旦發(fā)現(xiàn)氣體泄漏，立即執(zhí)行硅烷泄露緊急避險(xiǎn)，進(jìn)行相關(guān)處理。8.2.4. 氨氣，二氯二氫硅具有腐蝕性的特氣，操作者按照日常點(diǎn)檢要求進(jìn)行檢查。8.3. 高溫安全8.3.1. 出入舟時(shí)禁止打開傳送腔室前后門，防止?fàn)t門打開時(shí)受到熱輻射。8.3.2. 必須待降至室溫且切斷加熱器斷路器的條件下進(jìn)行爐體加熱器部分的保養(yǎng)，維修。8.4. 其它