模塊化學習-真空系統(tǒng)

1、設(shè)備模塊化培訓資料設(shè)備模塊化培訓資料 真空系統(tǒng)真空系統(tǒng)培訓基本內(nèi)容1.學習各生產(chǎn)工序真空（負壓）系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)及各組成部分的功能學習各生產(chǎn)工序真空（負壓）系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)及各組成部分的功能 2.了解真空系統(tǒng)主要部件的工作原理，技術(shù)參數(shù)要求（溫度，流量，了解真空系統(tǒng)主要部件的工作原理，技術(shù)參數(shù)要求（溫度，流量，壓力）壓力）3.學習電氣部分是如何自動控制以保證要求的真空學習電氣部分是如何自動控制以保證要求的真空4.總結(jié)各真空（負壓）系統(tǒng)的共同點及其差異總結(jié)各真空（負壓）系統(tǒng)的共同點及其差異目錄制絨（單晶多晶）工序真空（負壓）系統(tǒng)制絨（單晶多晶）工序真空（負壓）系統(tǒng)擴散工序真空（負壓）系統(tǒng)擴散工序真空（負壓）

2、系統(tǒng)工序真空系統(tǒng)工序真空系統(tǒng)絲網(wǎng)印刷工序負壓系統(tǒng)絲網(wǎng)印刷工序負壓系統(tǒng)4真空定義與分類真空定義與分類真空的定義1標準大氣壓：在標準重力加速度g為980.665厘米/秒2，溫度T為273K時，760毫米高的汞柱所施加的壓強。真空是指壓強低于1標準大氣壓的氣態(tài)空間。1atm=760Torr=1.013105Pa1Torr7.5103Pa1Pa1N/m2=133.3Torrbar=0.1MPa1個標準大氣壓1atm的氣態(tài)空間，氣體分子的濃度為：2.691019個/cm3，隨著壓強的下降，空間氣體分子的濃度不斷下降，氣態(tài)分子呈現(xiàn)出不同的物理現(xiàn)象，通常把壓強小于1大氣壓的真空空間稱為真空。真空按如右區(qū)域劃

3、分： 1標準大氣壓103帕 (76010托)粗真空 103101帕 (10103托)低真空 101106帕 (13108托)高真空 1061012帕 (1081014托)超真空 1012帕 (10-14托) 極高真空5真空定義與分類真空定義與分類 壓強值（托）物理現(xiàn)象 獲得設(shè)備的特性 10 氣體放電開始出現(xiàn) 水抽氣機的極限 10-3 分子平均自由程（）為厘米級 轉(zhuǎn)動泵的極限 10-8 布滿清潔表面一單分子層的時間（t）為分級 擴散泵的極限 10-14 每立方厘米氣體分子數(shù)（n）為100級 必須使用低溫泵真空泵所能達到的壓強一制程一制程工序工序系統(tǒng)結(jié)構(gòu)：系統(tǒng)結(jié)構(gòu)：抽風主管抽風主管抽風副管抽風副管

4、調(diào)節(jié)閥調(diào)節(jié)閥負壓壓力表負壓壓力表濕制程設(shè)備抽風系統(tǒng)濕制程設(shè)備抽風系統(tǒng)7濕制程設(shè)備抽風系統(tǒng)濕制程設(shè)備抽風系統(tǒng)8濕制程設(shè)備抽風系統(tǒng)濕制程設(shè)備抽風系統(tǒng)9濕制程設(shè)備抽風系統(tǒng)濕制程設(shè)備抽風系統(tǒng)10濕制程設(shè)備抽風系統(tǒng)濕制程設(shè)備抽風系統(tǒng)抽風系統(tǒng)常見故障（）主管連接處松動-原因多為螺絲松動或變形-重新更換或上進螺絲即可（）副管連接處裂開-原因多為管子接口處焊接老化-重新焊接11濕制程設(shè)備抽風系統(tǒng)濕制程設(shè)備抽風系統(tǒng)抽風軟管接口松動或老化裂開（上緊固定環(huán)螺絲或更換新管即可）二擴散二擴散工序工序設(shè)施抽風設(shè)施抽風13排 風氣源柜爐體柜計算機控制柜 推舟機構(gòu)排廢口凈化操作臺 電源總進線進氣14151617故障分析及解決

5、方法1.負壓管道接口松動，需定期檢查2.抽風不足加大調(diào)節(jié)閥開度三三.PECVD.PECVD工序工序 PC機機 PLC 羅茨泵羅茨泵 干式泵干式泵 角閥角閥 儲能罐儲能罐 設(shè)施抽風設(shè)施抽風 19電氣控制框圖電氣控制框圖20真空氣路流向圖真空氣路流向圖21222324儲能罐儲能罐25電氣電路電氣電路真空泵真空泵26電氣電路電氣電路角閥角閥27電氣電路真空儀表電氣電路真空儀表28電氣電路真空儀表電氣電路真空儀表29設(shè)施抽風設(shè)施抽風30常見故障處理常見故障處理32333435上料吸片真空管路旋轉(zhuǎn)臺面真空管路破真空36翻轉(zhuǎn)機構(gòu)真空管路電磁閥真空管路破真空3738故障報警信息Insufficient main vacuum檢查真空總管的壓力是否足夠和穩(wěn)定，有異常聯(lián)系設(shè)施第一第二第三檢查設(shè)備下方主真空管附近的壓力表數(shù)值 ，正常工作需要 -700 mbar 的壓力檢查真空壓力傳感器，顯示0時表示真空壓力不足 ，否則應(yīng)為139旋轉(zhuǎn)臺面真空異常檢查真空總管的壓力是否足夠和穩(wěn)定，有異常聯(lián)系設(shè)施檢查管路/臺面是否有破損，有則更換，沒有則更換電磁閥將片子放于臺面上，手動控制電磁閥通斷，看片子是否牢固吸附于臺面檢查槳料、刮刀深度、絲網(wǎng)間距、印刷壓力等真空壓力過大調(diào)節(jié)控制閥，降低到正常范圍調(diào)節(jié)臺面破真空氣壓吸片不牢釋