電渦流位移傳感器地原理

1、電渦流位移傳感器的工作原理:電渦流傳感器能靜態(tài)和動態(tài)地非接觸、高線性度、高分辨力地測 量被測金屬導(dǎo)體距探頭表面距離。它是一種非接觸的線性化計量工 具。電渦流傳感器能準(zhǔn)確測量被測體（必須是金屬導(dǎo)體）與探頭端而之圖1-2電渦流作用原理圖間靜態(tài)和動態(tài)的相對位移變化。 在高速旋轉(zhuǎn)機械和往復(fù)式運動機 械狀態(tài)分析，振動研究、分析測 量中，對非接觸的高精度振動、 位移信號，能連續(xù)準(zhǔn)確地采集到 轉(zhuǎn)子振動狀態(tài)的多種參數(shù)。如軸 的徑向振動、振幅以及軸向位置。 電渦流傳感器以其長期工作可靠 性好、測量范圍寬、靈敏度高、分辨率高等優(yōu)點，在大型旋轉(zhuǎn)機械狀 態(tài)的在線監(jiān)測與故障診斷中得到廣泛應(yīng)用。從轉(zhuǎn)子動力學(xué)、軸承學(xué)的理論

2、上分析，大型旋轉(zhuǎn)機械的運動狀態(tài),主要取決于其核心一轉(zhuǎn)軸，而電渦流傳感器，能直接非接觸測量轉(zhuǎn)軸 的狀態(tài)，對諸如轉(zhuǎn)子的不平衡、不對中、軸承磨損、軸裂紋及發(fā)生摩 擦等機械問題的早期判定，可提供關(guān)鍵的信息。根據(jù)法拉第電磁感應(yīng)原理，塊狀金屬導(dǎo)體置于變化的磁場中或在磁場中作切割磁力線運動時，導(dǎo)體內(nèi)將產(chǎn)生呈渦旋狀的感應(yīng)電流，此電流叫電渦流，以上現(xiàn)彖稱為電渦流效應(yīng)。而根據(jù)電渦流效應(yīng) 制成的傳感器稱為電渦流式傳感器。前置器中高頻振蕩電流通過延伸電纜流入探頭線圈,圖1-4傳感器輸出特性曲線在探頭頭部的線圈中產(chǎn)生交變的磁場。當(dāng)被測金屬體靠近這一磁場，則在此金屬表面產(chǎn)生 感應(yīng)電流，與此同時該電渦流場也產(chǎn)生一個方向與頭

3、部線圈方向相反 的交變磁場，由于其反作用，使頭部線圈高頻電流的幅度和相位得到 改變（線圈的有效阻抗），這一變化與金屬體磁導(dǎo)率、電導(dǎo)率、線圈的 幾何形狀、幾何尺寸、電流頻率以及頭部線圈到金屬導(dǎo)體表面的距離 等參數(shù)有關(guān)。通常假定金屬導(dǎo)體材質(zhì)均勻且性能是線性和各項同性， 則線圈和金屬導(dǎo)體系統(tǒng)的物理性質(zhì)可由金屬導(dǎo)體的電導(dǎo)率6、磁導(dǎo) 率、尺寸因子丫、頭部體線圈與金屬導(dǎo)體表面的距離R電流強 度I和頻率3參數(shù)來描述。則線圈特征阻抗可用Z=F（T, c, 6,D,I, 3）函數(shù)來表示。通常我們能做到控制T , 6 ,1, O這幾個參數(shù)在一定范圍內(nèi)不變，則線圈的特征阻抗Z就成為距離D的單值函數(shù)，雖然它整個函數(shù)是

4、一非線性的，其函數(shù)特征為型曲線，但 可以選取它近似為線性的一段。于此，通過前置器電子線路的處理，將線圈阻抗Z的變化，即頭部體線圈與金屬導(dǎo)體的距離D的變化轉(zhuǎn)化 成電壓或電流的變化。輸出信號的大小隨探頭到被測體表面之間的間距而變化，電渦流傳感器就是根據(jù)這一原理實現(xiàn)對金屬物體的位移、 振動等參數(shù)的測量。其工作過程是：當(dāng)被測金屬與探線竹畑I圖1-3傳感器原理框圖頭之間的距離發(fā)生 變化時，探頭中線圈的Q值也發(fā)生變化，Q值的變化引起振蕩電壓幅度的變化，而這個隨距離變化的振蕩電壓經(jīng)過檢波、濾波、線性補償、放大歸一處理轉(zhuǎn)化成電壓（電流）變化，最終完成機械位移（間隙）轉(zhuǎn)換成電壓（電流）。由上所述，電渦流傳感器工

5、作系統(tǒng)中被測體可看作傳感器系統(tǒng)的一半，即一個電渦流位移傳感器的性能與被測體有關(guān)。按照電渦流在導(dǎo)體內(nèi)的貫穿情況，此傳感器可分為高頻反射式和低頻透射式兩類，但從基本工作原理上來說仍是相似的。電渦流式傳感器最大的特點是能對位移、厚度、表面溫度、速度、應(yīng)力、材料損傷等進行非接觸式連續(xù)測量，另外還具有體積小，靈敏度高，頻率響應(yīng)寬等特點，應(yīng)用極其廣泛。典型應(yīng)用：電渦流傳感器系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于電力、石油、化工、冶金等行業(yè)和一些科研單位。對汽輪機、水輪機、鼓風(fēng)機、壓縮機、空分機、齒輪 箱、大型冷卻泵等大型旋轉(zhuǎn)機械軸的徑向振動、軸向位移、鍵相器、軸轉(zhuǎn)速、脹差、偏心、以及轉(zhuǎn)子動力學(xué)研究和零件尺寸檢驗等進行在 線測量和

6、保護。軸向位移測量對于許多旋轉(zhuǎn)機械，包括蒸汽輪機、燃汽輪機、水輪機、離 心式和軸流式壓縮機、離心泵等，軸向位移是一個十分重要的信號， 過大的軸向位移將會引起過大的機構(gòu)損壞。軸向位移的測量，可以指 示旋轉(zhuǎn)部件與固定部件之間的軸向間隙或相對瞬時的位移變化，用以 防止機器的破壞。軸向位移是指機器內(nèi)部轉(zhuǎn)子沿軸心方向，相對于止 推軸承二者之間的間隙而言。有些機械故障，也可通過軸向位移的探 測，進行判別：止推軸承的磨損與失效平衡活塞的磨損與失效止推法蘭的松動聯(lián)軸節(jié)的鎖住等。軸向位移（軸向間隙）的測量，經(jīng)常與軸向振動弄混。軸向振 動是指傳感器探頭表面與被測體，沿軸向之間距離的快速變動，這是 一種軸的振動，用

7、峰峰值表示。它與平均間隙無關(guān)。有些故障可以導(dǎo) 致軸向振動。例如壓縮機的踹振和不對中即是。振動測量振動源測量徑向振動，可以由 它看到軸承的工作狀態(tài)，還可以 看到轉(zhuǎn)子的不平衡，不對中等機 械故障?？梢蕴峁τ谙铝嘘P(guān)鍵 或基礎(chǔ)機械進行機械狀態(tài)監(jiān)測 所需要的信息:工業(yè)透平，蒸汽/燃汽壓縮機，空氣/特殊用途氣體，徑向/軸向電動馬達發(fā)電機勵磁機齒輪箱泵風(fēng)扇鼓風(fēng)機往復(fù)式機械振動測量同樣可以用于對一般性的小型機械進行連續(xù)監(jiān)測。可為如下各種機械故障的早期判別提供了重要信息。脹差測量對于汽輪發(fā)電機組來說，在其啟動和停機時，由于金屬材料的不 同，熱膨脹系數(shù)的不同，以及散熱的不同，軸的熱膨脹可能超過殼體 膨脹；有可能

8、導(dǎo)致透平機的旋轉(zhuǎn)部件和靜止部件（如機殼、噴嘴、臺 座等）的相互接觸，導(dǎo)致機器的破壞。因此脹差的測量是非常重要的。脹差測量斜坡式脹差測量補償式脹差測重雙斜面脹差測量轉(zhuǎn)速測量 對于所有旋轉(zhuǎn)機械而言，都需要監(jiān)測旋轉(zhuǎn)機械軸的轉(zhuǎn)速，轉(zhuǎn)速是衡量機器正常運轉(zhuǎn)的一個重要指標(biāo)。而電渦流傳感器測量轉(zhuǎn)速的優(yōu)越性是其它任何傳感器測量沒法比的，它既能響應(yīng)零轉(zhuǎn)速，也能響應(yīng)高轉(zhuǎn)速，抗干擾性能也非常強。轉(zhuǎn)速測量對于所有旋轉(zhuǎn)機械而言，都需要監(jiān)測旋轉(zhuǎn)機械軸的轉(zhuǎn)速，轉(zhuǎn)速是衡量機器正常運轉(zhuǎn)的一個重要指標(biāo)。而電渦流傳感器測量轉(zhuǎn)速的優(yōu)越性是其它任何傳感器測量沒法比的，它既能響應(yīng)零轉(zhuǎn)速，也能響應(yīng)高 轉(zhuǎn)速，抗干擾性能也非常強。 電渦流傳感器

9、測轉(zhuǎn)速，通常選用d）3mm、（b4mm、（I）5mm、48mm （I）1 Omm 的探頭。轉(zhuǎn)速測量頻響為0lOKHZo電渦流傳感器測轉(zhuǎn)速，傳 感器輸出的信號幅值較高（在低速和高速整個范圍內(nèi)）抗干擾能力強。 無源磁電式傳感器是針對測齒輪而設(shè)計的發(fā)電型傳感器（無源），不適 合測零轉(zhuǎn)速和較低轉(zhuǎn)速，因低頻時，幅值信號小，抗干擾能力差，它 不需要供電。有源磁電式傳感器采用了+24V供電，輸出波形為矩 形波，具有負載驅(qū)動能力，適合測量0. 03HZ以上轉(zhuǎn)速信號。安裝要求：1、軸的徑向振動測量當(dāng)需要測量軸的徑向振動時，要求軸的直徑大于探頭直徑的 三倍以上。每個測點應(yīng)同時安裝兩個傳感器探頭，兩個探頭應(yīng)分 別安

10、裝在軸承兩邊的同一平面上相隔90o5oo由于軸承蓋一般 是水平分割的，因此通常將兩個探頭分別安裝在垂直中心線每一 側(cè)45o,從原動機端看，分別定義為X探頭（水平方向）和Y探 頭（垂直方向），X方向在垂直中心線的右側(cè)，Y方向在垂直中心 線的左側(cè)。軸的徑向振動測量時探頭的安裝位置應(yīng)該盡量靠近軸承，如 圖所示，否則由于軸的撓度，得到的值會有偏差。軸的徑向振動探頭安裝位置與軸承的最大距離。軸的徑向振 動測量時探頭的安裝：測量軸承直徑最大距離076mm25mm 76510mm76mm大于 520mml60mm探頭中心線應(yīng)與軸心線正交，探頭監(jiān)測的表面（正對探頭中 心線的兩邊15倍探頭直徑寬度的軸的整個圓周

11、面，如圖）應(yīng)無 裂痕或其它任何不連續(xù)的表面現(xiàn)彖（如鍵槽、凸凹不平、油孔等）， 且在這個范圍內(nèi)不能有噴鍍金屬或電鍍，其表面的粗糟度應(yīng)在0. 4um 至 0. 8um 之間。2、軸的軸向位移測量測量軸的軸向位移時，測量面應(yīng)該與軸是一個整體，這個測 量面是以探頭的中心線為中心，寬度為15倍的探頭圓環(huán)。探頭 安裝距離距止推法蘭盤不應(yīng)超過305mm,否則測量結(jié)果不僅包含 軸向位移的變化，而且包含脹差在內(nèi)的變化，這樣測量的不是軸 的真實位移值。3、鍵相測量 鍵相測量就是通過在被測軸上設(shè)置一個凹槽或凸鍵，稱鍵相標(biāo)記。當(dāng)這個凹槽或凸鍵轉(zhuǎn)到探頭位置時，相當(dāng)于探頭與被測而 間距突變，傳感器會產(chǎn)生一個脈沖信號，軸每

12、轉(zhuǎn)一圈，就會產(chǎn)生 一個脈沖信號，產(chǎn)生的時刻表明了軸在每轉(zhuǎn)周期中的位置。因此 通過對脈沖計數(shù)，可以測量軸的轉(zhuǎn)速；通過將脈沖與軸的振動信 號比較，可以確定振動的相位角，用于軸的動平衡分析以及設(shè)備 的故障分析與診斷等方面。凹槽或凸鍵要足夠大，以使產(chǎn)生的脈沖信號峰峰值不小于 5Vo 一般若采用5、8探頭，則這一凹槽或凸鍵寬度應(yīng)大于 7. 6mm、深度或高度應(yīng)大于1. 5mm （推薦采用2. 5mm以上）、長度 應(yīng)大于0.2mmo凹槽或凸鍵應(yīng)平行于軸中心線，其長度盡量長， 以防當(dāng)軸產(chǎn)生軸向竄動時，探頭還能對著凹槽或凸鍵。為了避免 由于軸相位移引起的探頭與被測面之間的間隙變化過大，應(yīng)將鍵 相探頭安裝在軸的

13、徑向，而不是軸向的位置。應(yīng)盡可能地將鍵相 探頭安裝在機組的驅(qū)動部分上，這樣即使機組的驅(qū)動部分與載荷 脫離，傳感器仍會有鍵相信號輸出。當(dāng)機組具有不同的轉(zhuǎn)速時通 常需要有多套鍵相傳感器探頭對其進行監(jiān)測，從而可以為機組的 各部分提供有效的鍵相信號。鍵相標(biāo)記可以是凹槽，也可以是凸鍵，如圖所示，標(biāo)準(zhǔn)要求用 凹槽的形式。當(dāng)標(biāo)記是凹槽時，安裝探頭要對著軸的完整部分調(diào) 整初始安裝間隙（安裝在傳感器的線性中點為宜），而不是對著凹 槽來調(diào)整初始安裝間隙。而當(dāng)標(biāo)記是凸鍵時探頭一定要對著凸起 的頂部表面調(diào)整初始安裝間隙（安裝在傳感器的線性中點為宜）， 不是對著軸的其它完整表面進行調(diào)整。否則當(dāng)軸轉(zhuǎn)動時，可能會 造成凸鍵

14、與探頭碰撞，剪斷探頭。安裝時不能把磁場包 住，要磁場外鉛穩(wěn)定的物理固定和恒 溫環(huán)境是最理想的安 裝方法消除傾斜，保證平行.用膨脹系數(shù)較低的村 料在多個傳感器近距離安裝時，要來用同步避免側(cè)負載方式被測體對電渦流傳感器特性的影響:1、被測體材料對傳感器的影響傳感器特性與被測體的電導(dǎo)率6、磁導(dǎo)率g有關(guān)，當(dāng)被測體為導(dǎo)磁材料（如普通鋼、結(jié)構(gòu)鋼等）時，由于渦流效應(yīng)和磁效 應(yīng)同時存在，磁效應(yīng)反作用于渦流效應(yīng)，使得渦流效應(yīng)減弱，即 傳感器的靈敏度降低。而當(dāng)被測體為弱導(dǎo)磁材料（如銅，鋁，合 金鋼等）時，由于磁效應(yīng)弱，相對來說渦流效應(yīng)要強，因此傳感 器感應(yīng)靈敏度要高。2、被測體表面平整度對傳感器的影響不規(guī)則的被測

15、體表面，會給實際的測量帶來附加誤差，因此 對被測體表面應(yīng)該平整光滑，不應(yīng)存在凸起、洞眼、刻痕、凹槽 等缺陷。一般要求，對于振動測量的被測表而粗糙度要求在0. 4um0. Sum之間；對于位移測量被測表面粗糙度要求在0. 4um 1. 6um 之間。3、被測體表面磁效應(yīng)對傳感器的影響電渦流效應(yīng)主要集中在被測體表面，如果由于加工過程中形 成殘磁效應(yīng)，以及淬火不均勻、硬度不均勻、金相組織不均勻、 結(jié)晶結(jié)構(gòu)不均勻等都會影響傳感器特性。在進行振動測量時，如 果被測體表面殘磁效應(yīng)過大，會出現(xiàn)測量波形發(fā)生畸變。4、被測體表面鍍層對傳感器的影響被測體表面的鍍層對傳感器的影響相當(dāng)于改變了被測體材料，視其鍍層的材質(zhì)、厚薄，傳感器的靈敏度會略有變化。5、被測體表面尺寸對傳感器的影響由于探頭線圈產(chǎn)生的磁場范圍是一定的，而被測體表面形 成的渦流場也是一定的。這樣就對被測體表面大小有一定要求。通常，當(dāng)被測體表面為平面時，以正對探頭中心線的點為中心， 被測面直徑應(yīng)大于探頭頭部直徑的1. 5倍以上；當(dāng)被測體為圓軸 且探頭中心線與軸心線正交時，一般要求被測軸直徑為探頭頭部 直徑的3倍以上，否則傳感器的靈敏度會下降，被測體表而越小， 靈敏度下降越多。實驗測試，當(dāng)被測體表面大小與探頭頭部直徑 相同，其靈敏度會下降到72%左右。被測體的厚度也會影響測量 結(jié)果。被測體中電渦流場作用的深度由頻率、材料導(dǎo)電率