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文檔簡介

1、會(huì)計(jì)學(xué)12第1頁/共53頁3第2頁/共53頁4第3頁/共53頁5第4頁/共53頁6l按含量含量來分： 高鋁瓷： 85%剛玉瓷： 99%白色紫色黑色99瓷：99%95瓷：95%90瓷：90%l按顏色顏色來分： 第5頁/共53頁7第6頁/共53頁8Buyer法法鋁礬土鋁礬土 鋁酸蘇鋁酸蘇打溶液打溶液 成核劑水鋁礦水鋁礦 過濾、煅燒、脫水a(chǎn) a-Al2O3 1100-1200 CAl2O3 3H2ONaOH aq.第7頁/共53頁9第8頁/共53頁10第9頁/共53頁11難熔金屬法厚膜法薄膜法共燒法第10頁/共53頁12第11頁/共53頁13MnO -Al2O3系相圖第12頁/共53頁14中間層（M

2、nO Al2O3）Mo-Mn焊料Ni電鍍層Al2O3基板經(jīng)Mo-Mn法處理的Al2O3基板焊接截面結(jié)構(gòu)第13頁/共53頁15第14頁/共53頁16Al2O3%抗彎強(qiáng)度/10M熱導(dǎo)率/(W/mK)絕緣耐壓/(kV/mm)r莫氏硬度表觀密度/(103kg/m3)彈性模量/105MPa比熱容/(10-1kcal/kgC)tan/10-4第15頁/共53頁17第16頁/共53頁18第17頁/共53頁19IBM308X, TCM， 基板：90mm 90mm,布線：共燒Mo； L：120 m第18頁/共53頁20NEC, 100 mm 100mm, PI布線; PI介電常數(shù)低，提高信號傳輸速度。第19頁/

3、共53頁21第20頁/共53頁22日立公司開發(fā)莫來石用于多層電路板；導(dǎo)體層：W，44層第21頁/共53頁23第22頁/共53頁24第23頁/共53頁25第24頁/共53頁26第25頁/共53頁27第26頁/共53頁28第27頁/共53頁29第28頁/共53頁30第29頁/共53頁31第30頁/共53頁32第31頁/共53頁33第32頁/共53頁34第33頁/共53頁35lAlN自擴(kuò)散系數(shù)小l常壓下2440升華常規(guī)燒結(jié)常規(guī)燒結(jié)第34頁/共53頁36第35頁/共53頁37第36頁/共53頁38第37頁/共53頁39第38頁/共53頁40第39頁/共53頁41第40頁/共53頁42第41頁/共53頁43第42頁/共53頁44散熱基板結(jié)構(gòu)剖面第43頁/共53頁45第44頁/共53頁46硅石硅石(SiO2) 升華暗綠色多晶SiCa a-SiC 2000C焦炭焦炭食鹽食鹽第45頁/共53頁47真空熱壓法燒成（2100C）SiC不適合制作多層電子基板！第46頁/共53頁48多用于耐壓性不成問題的低電壓電路及高散熱封裝的基板高速、高集成度邏輯LSI帶散熱結(jié)構(gòu)封裝實(shí)例第47頁/共5

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