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1、實驗報告(四)一、實驗目的:掌握靜力學分析;驗證理論分析結果;對 不同形狀膜的分析結果進行對比。二、實驗器材:能夠安裝 ANSYS軟件,內(nèi)存在512MHz以 上,碩盤有5G空間的計算機。三、實驗說明1、基本思路:建模與網(wǎng)格化;靜力學分析;對結果進行分 析和比較。2、問題描述:許多壓力傳感器的工作原理是將受壓力作用 而變形的薄膜硅片中的應變轉(zhuǎn)換成所需形式的電輸出信號, 比較的膜形狀有圓形.正方形.長方形。四、實驗內(nèi)容及步驟(一)、圓形薄膜(自由式網(wǎng)格劃分)1、先建立一個圓形薄膜:Main Menu >Preprocessor>Modeling >Create >Volum
2、es >Solid Cylinder.彈出 一個對話框,輸入 WPX=0 , WPY=0 , Radius=300e-6,Depth=13.887e-6 ,單擊OK。設置單元類 型:Main Menu >Preprocessor >Element Type >Add/Edit/Delete,彈出一個對話框,點擊Add,在 Library Of Element Type 下拉列表框中選擇 Structural Solide 項, 在其右側(cè)下選擇 Brick 8node 45選項,單擊OK。再點擊 Close.2、設置材料屬性: Main Menu >Preproce
3、ssor >Material Props > Material Models,彈出一個對話框,在 Material Models Available 下雙擊打開 Structural >Linear >Elastic >Isotropic,乂彈出一對話框,在 EX后面輸入 1.9E11,在PRXY后面輸入欄中輸入 0.3,在雙擊 Density, 在DENS后面輸入2.33e3,單擊OK。關閉對話框。設置單 元尺寸: Main Menu >Preprocessor >Meshing >Mesh Tool,彈出一個對話框,單擊 Global中的Se
4、t按鈕,彈出 Global Element Sizes對話框,輸入 size=5e-006,然后單擊OK1VOLUMESTYPE NUMANMAR 20 201214:30:2709060242-44-sunguoliang3、采用自由式網(wǎng)格化生成單元:MainMenu>Preprocessor>meshing>meshtool彈出一個對話框,選擇Shape后面的Tet,Free,.然后單擊 Mesh ,在單擊OK施加約束:Main Menu >Solution >Define Loads >Apply >Structural >Displace
5、ment >On Areas.拾取 圓的周圍面,然后單擊 OK,選擇ALL DOF,單擊OK。4、施加載荷: Main Menu >Solution >Define Loads >Apply >Structural >Pressure >On Areas 拾取薄膜 上表面,然后單擊OK,出現(xiàn)一個對話框,在Value Load PresValues后面輸入100000,單擊OK1ELEMENTSANMAR 20 201214:37:1309060242-44-sunguoliang5、求解:Main Menu >Solution >Solve
6、 >Curentls LS 彈出一信 息框和一對話框,單擊 File >Close,單擊OK,出現(xiàn)一個SolutionIs Done的信息提示框時,單擊 Close按鈕。Utilitymenu >File >Save As.輸入 Plate-Resu,.單擊OK。1ELEMENTSUNFORRFORPRES 100000ANMAR 20 2012 15:21:3409060242-44-sunguoliang6、顯示節(jié)點位移云圖: Main Menu >General Postproc >Plot Results >Contour Plot >N
7、odal Solu,出現(xiàn)對話框:在 Contour Nodal Solution Data 對話框中選擇 Item To Be Contoured >Nodal Solution >Dof Solution >Displacement Vector Sum.然后單擊 OK7、顯示節(jié)點應力云圖: Main Menu >General Postproc >PlotResults >Contour Plot >Nodal Solu ,出現(xiàn)對話框:在 ContourNodal Solution Data 對話框中選擇 Item To Be Contoured > NodalSolution >Stress >Von Mises Stress,然后單擊OK。NODAL SOLUTIONANSTEP=
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