真空氦檢相關(guān)說明

1、檢漏工藝過程真空箱檢漏過程0Pt(S)工件檢測過程0MPat(S)大氣壓充氦停止工件抽空下限關(guān)門工件抽空充氦HE檢漏充 氣開門平衡抽 空等待真空氦檢抽空下限回收充氮停止充氮保壓檢大漏 放氣真空箱壓力變化曲線0漏率t(S)9.0E-9 Pa.M3/S真空箱-壓力變化曲線0Pt(S)2.5E-9 Pa.M3/SSP 2SP 1NGOKEvac failure充氣故障檢漏壓力檢漏壓力關(guān)門關(guān)門時間時間抽空時間抽空時間檢漏時間檢漏時間充氣時間充氣時間開門時間開門時間清氦點報警點真空氦檢手動操作介紹檢漏儀狀態(tài)以及檢漏儀及時漏率顯示1.MU01(前級泵1)：打開或關(guān)閉箱體抽空前級泵1(粗抽空泵1) 2.MU

2、02(前級泵2)：打開或關(guān)閉箱體抽空前級泵2(粗抽空泵2) 3.MU03(羅茨泵)：打開或關(guān)閉箱體抽空羅茨泵(羅茨泵)4.MV01(清掃閥) ：打開或關(guān)閉檢漏儀入口的清掃閥(注：檢漏閥關(guān)閉時才能打開) 5.MV02(檢漏閥)：打開檢漏閥與真空箱連通對箱體進(jìn)行漏率檢測(注：真空箱真空度低于抽空下限是才能打開；高于時自動關(guān)閉)。6 充氣：打開或關(guān)閉真空箱充氣閥，破壞箱內(nèi)真空度方便箱門打開。7 開門：打開真空箱門8 關(guān)門：關(guān)閉真空箱門方便抽空9 抽空：把真空箱抽成高真空 為檢漏創(chuàng)造一個好的真空環(huán)境 10 清氦：打開真空箱上的清氦閥往箱內(nèi)充入氮氣清掃泄漏的氦氣 真空氦自動畫面介紹緩沖條碼內(nèi)容，點擊可以

3、查看已經(jīng)緩沖的條碼內(nèi)容操作流程：掃描條碼 放入對應(yīng)條碼數(shù)量的工件到真空箱內(nèi) 關(guān)閉真空箱門自動檢測 檢測OK打印機(jī)打印條碼 把條碼貼在工件真空箱動作流程：關(guān)門到位 真空箱抽空 抽空下限壓力到 把氦質(zhì)譜儀(檢漏儀)與箱體連通檢測泄漏率 時間到或泄漏 箱體回填大氣 真空箱自動開門真空氦參數(shù)介紹1 充氣：真空箱打開充氣閥回填大氣時間；時間到并且箱內(nèi)壓力高于A抽空上限 ，此時進(jìn)入開門狀態(tài)。2.開門：開門的最長時間在此時間內(nèi)箱門還沒有開門到位則報警。3.關(guān)門：關(guān)門的最長時間在此時間內(nèi)箱門還沒有關(guān)門到位則報警。4.清掃 ：上次有泄漏后本次抽空打開清氦閥清掃的時間。5.A抽空保持：箱內(nèi)真空度達(dá)到“A抽空下限”

4、后繼續(xù)抽空的時間。6 動作延時：各個工序切換的時間（1-3秒）7 抽空時限：真空箱抽空的最長時間；在此時間內(nèi)箱內(nèi)真空度沒有達(dá)到“A抽空下限”則報警。8 閥門報警：檢漏閥的報警時間（3-5秒）9 A檢漏時間：真空箱檢漏的時間。10 A抽空上限：真空箱回填大氣時的最低真空度。11 A抽空下限：真空箱檢漏的最高檢漏壓力。12 A應(yīng)急抽空：當(dāng)真空計損壞后；應(yīng)急使用抽空的抽空時間。設(shè)置每次最多掃描的條碼個數(shù)真空氦檢報警原因以及解除報警類型原 因處 理充 氣在規(guī)定時間，真空箱內(nèi)未恢復(fù)至常壓；抽空上限設(shè)置不當(dāng)。檢查充氣閥；檢查充氣氣壓；檢查氣動元件氣源壓力；檢查“充氣”時間、“充氣間隔”時間的設(shè)定值；開 門

5、氣壓不足引起開門時間過長；氣路部份漏氣；氣缸上的磁感應(yīng)開關(guān)位置變動；真空箱內(nèi)真空度過高，使門不能推開。檢查氣源壓力；檢查磁感應(yīng)開關(guān)位置，恢復(fù)正常；調(diào)整“充氣”時間、關(guān) 門氣壓不足引起關(guān)門時間過長；氣路部份漏氣；氣缸上的磁感應(yīng)開關(guān)位置變動。檢查磁感應(yīng)開關(guān)；檢查氣源壓力。抽 空抽空閥已壞；氣動壓力不足；抽空閥的驅(qū)動閥無動作或卡死；設(shè)定值高，在規(guī)定時間內(nèi)真空度不能達(dá)到設(shè)定值；真空箱的密封圈脫落、破損或卡死。檢修真空閥；檢查氣源壓力；檢查抽空閥驅(qū)動閥；將真空計設(shè)定值降低；更換密封圈。水 壓冷卻水缺水；流量不足；水壓開關(guān)調(diào)節(jié)不當(dāng)。檢查是否供水；調(diào)高水流量；調(diào)節(jié)水壓開關(guān)。氣 壓氣源壓力低于設(shè)定值；壓力開關(guān)

6、調(diào)節(jié)不當(dāng)。提高氣壓壓力；調(diào)節(jié)壓力開關(guān)。急 停有急停開關(guān)按下旋出急停開關(guān)閥門報警閥門在“閥門報警”時間內(nèi)沒有開或關(guān)到位信號給出。檢查“閥門報警”時間設(shè)置是否合理；檢查磁性傳感器位置調(diào)節(jié)是否恰當(dāng)；檢查氣源壓力。檢漏儀報警檢漏儀有錯誤信號給出參見檢漏儀說明書真空氦檢的校對1.每天開機(jī)后把標(biāo)準(zhǔn)漏孔調(diào)節(jié)到2g/y對應(yīng)的泄漏率下放入真空箱關(guān)門檢測，檢測完后亮紅燈(NG)2.漏孔檢測完后空箱檢測一次此時檢測完后綠燈亮。真空氦檢提高檢漏的方法(僅供參考)1.在相同的泄漏標(biāo)準(zhǔn)下加長檢漏時間；2.在相同的檢漏時間提高NG判定點（報警點）；3.在相同的泄漏標(biāo)準(zhǔn)下提高充氦壓力； 真空報警點設(shè)置方法將漏孔值調(diào)到0.2M

7、pa（校檢值2.4X10-6pa.M3/S）接入到檢漏儀端口上進(jìn)行測試1、關(guān)閉測試終了，顯示測試待機(jī)狀態(tài)2、點擊設(shè)置變更3、輸入密碼“0”并點擊輸入完成4、密碼確認(rèn)5、再按設(shè)置變更即設(shè)定點顯示：a、清氦點：2.5X10-9pa.M3/Sb、報警點： 9.0X10-9pa.M3/Sc、設(shè)定點可為報警點： 9.0X10-9pa.M3/S備注：DEL（刪除單個） CLR(全部刪除） ENT(輸入確認(rèn)） 測試模式(中漏模式）附表：附表：空調(diào)、冰箱零部件的泄漏基準(zhǔn)值，以氟里昂氣體考慮空調(diào)、冰箱零部件的泄漏基準(zhǔn)值，以氟里昂氣體考慮 注意：注意：氣體的擴(kuò)大倍率為氣體的擴(kuò)大倍率為ULVAC內(nèi)部的基準(zhǔn)（內(nèi)部的基

8、準(zhǔn)（參考值）。根據(jù)條件，計算方法有所差參考值）。根據(jù)條件，計算方法有所差異。異。容許泄露量（泄露品判定值）由貴公司容許泄露量（泄露品判定值）由貴公司討論后決定。因決定的泄漏量（泄露判討論后決定。因決定的泄漏量（泄露判定值）難以保證，請諒解！定值）難以保證，請諒解！ P不同時的泄露量換算方法He泄漏量=冷媒泄漏量*A/BA:測試時的氣體充填壓力相對應(yīng)的氣體擴(kuò)大倍率B:冷媒壓力相對應(yīng)的氣體擴(kuò)大倍率附表-1：氣體擴(kuò)大倍率P（MPa）0.7MPa0.8MPa0.9MPa1.5MPa1.6MPa3MPa氣體放大倍率1823287075230根據(jù)上記的換算公式，在以下的幾個不同的條件下計算工件的泄漏量附表

9、-2： 單位：Pa.m3/s冷媒種類年間泄漏量 冷媒P=1.5MPa時的冷媒泄漏量，氣體擴(kuò)大倍率=70充氦壓力0.6MPa時的泄漏量p=0.7MPa氣體放大率=18充氦壓力0.7MPa時的泄漏量p=0.8MPa氣體放大率=23充氦壓力0.8MPa時的泄漏量p=0.9MPa氣體放大率=28充氦壓力1.5MPa時的泄漏量p=1.6MPa氣體放大率=75充氦壓力3.0MPa時的泄漏量p=3.1MPa氣體放大率=230R221g/年8.3210-72.1410-72.7310-74.5210-78.9110-72.7310-62g/年1.6610-64.2810-75.4610-79.0410-71.7810-65.4610-65g/年4.1610-61.0710-61.3610-62.2610-64.4510-61.3610-5R134a1g/年7.0310-71.8110-72.3110-73.8210-77.5310-72.3110-62g/年1.4110-63.6210-74.6210-77.6310-71.5110-64.6210-65g/年3.5110-69.0410-61.1610-61.9110-63.7710-61.1510-5R410a1g