激光器和激光相關(guān)設(shè)備 角分辨散射的試驗(yàn)方法 征求意見稿

1激光器和激光相關(guān)設(shè)備角分辨散射的測試方法本文件適用于光學(xué)元件（如鍍膜或未鍍膜的光學(xué)元件ΔΩsARS(θ(θ,φs)P方向的輻射功率ΔPΔΩsΔΩs:注：用ARS除以cosθs可將ARS變換為雙向反射、透射或散射分布函數(shù)，BRDF、BTDF或BSDF（fr2漫反射標(biāo)準(zhǔn)板（diffusereflectancestand4符號(hào)和縮略語f%ΔΩsPiφθiθrθs散射輻射功率—在某些應(yīng)用中，將原點(diǎn)放置在其他位置可能是有用的，例如在樣品中。31——待測樣品θi——入2——入射光束θs——極散射角3——鏡面反射光束注：鏡面反射角(θr）等于入射角(θi）。外，應(yīng)定義并記錄樣品的方位角。入射方向和表面法線定ARS測量儀器的基本工作原理(見圖2)是基于測量樣品散射的輻射功率來描述。在即將修訂的版本中，這將改為符號(hào)σTS。）或內(nèi)的一個(gè)確定的軌跡進(jìn)行掃描。最簡單的測量4背反射，并放置在空間濾波器之前，以及適當(dāng)?shù)臋z測器，最好與實(shí)際的散射探測器相極管、窄帶或?qū)拵Ч庠炊伎捎米鬏椛湓础?yīng)記錄所輻射源的輻射功率隨時(shí)間的變化應(yīng)予以測量和記錄，包括長期漂移和短期波動(dòng)。小于5%使用一種基于中性密度濾波器或其他方法組合的衰減器來調(diào)整入射輻提是儀器特征，特別是在接近鏡面方向的散射角處，5位時(shí)，鏡面反射或正常透射的光束應(yīng)聚焦在探測器孔如果使用球面反射鏡，入射角應(yīng)盡可能小，以減少可能嚴(yán)重影響近鏡面區(qū)域儀器本單自由度的儀器允許在一個(gè)平面（通常是入射平面）內(nèi)進(jìn)行掃描。這些測量被稱為“平面內(nèi)ARS散射角的范圍應(yīng)予以記錄。通過說明最小和最大散射角以及步長可保持恒定的步長。ARS測量”或“平面外ARS測量”。散射角的步長應(yīng)足夠小，使得在兩個(gè)連續(xù)的測量位置由探測器孔徑覆蓋的立6鏡)，使探測器前方的入射輻射均勻化，或抑制通過不需要的路徑到達(dá)探測器的雜散輻散射的輻射并將其傳輸?shù)酵獠刻綔y器。光譜靈敏度和時(shí)間特性應(yīng)與輻射源的特性相匹配。如果使用多元件探測器而不使用成像系統(tǒng)（物鏡則定義探測器立體角的孔徑對(duì)應(yīng)于每個(gè)元件的將定義探測的立體角。通常這將是空間點(diǎn)擴(kuò)散b)應(yīng)優(yōu)化處理和測量程序，使樣品暴露在試驗(yàn)環(huán)境中的時(shí)間最短；c)相對(duì)濕度應(yīng)高于40%，低于%7σTS可以通過3.3中的公式得到。一個(gè)具有小但有限孔徑的探測器對(duì)樣品進(jìn)行掃描，對(duì)準(zhǔn)對(duì)于測量的準(zhǔn)確性至關(guān)重要，包括儀器本身以及樣品在內(nèi)的實(shí)驗(yàn)裝置的對(duì)必須確保軸對(duì)準(zhǔn)（見7.2.2）保持準(zhǔn)確。應(yīng)調(diào)整樣品的位置，使入射根據(jù)定義，只要知道散射輻射功率與入射輻射功率的比值和探測器的立體角，就可以測量A8當(dāng)探測器孔徑直徑遠(yuǎn)小于探測器與樣品之間的距離時(shí)，r為探測器孔徑與樣品之間的距離。如果測得的探測器信號(hào)為電壓，則記錄散射輻射對(duì)應(yīng)的探測器,φs)=cVs(θs,φs)應(yīng)記錄探測器的立體角，包括如何確定及其相關(guān)測量不確定度9可以通過儀器本征估算，通常是指ARS最低區(qū)域的儀器本征的平均值。動(dòng)態(tài)在分析樣本的ARS數(shù)據(jù)時(shí)，應(yīng)將測量儀器本征記錄下來并加以考慮。樣品相對(duì)于照明光束或坐標(biāo)原點(diǎn)的橫向位置應(yīng)根據(jù)規(guī)格和表征任務(wù)進(jìn)行選—最大ARSf，即TS值最大的ARS曲線;—平均ARSf由公式（9）計(jì)算得到：入射角和偏振條件應(yīng)根據(jù)說明書及要求進(jìn)行調(diào)整并φ達(dá)率的不確定性和電子發(fā)射概率引起的暗電流的散粒噪聲。這些可擬或兩種方法的結(jié)合，可以對(duì)測量不確定度進(jìn)行更詳細(xì)的—θs(?1)：作為所選入射角和散射角函數(shù)的ARS測量[2]ISO128-34,Technicaldrawings-Generalprinciplesof[3]ISO128-40,Tec[4]ISO128-44,Technicaldrawingsmechanicalengineeringdrawings[6]ISO10241,Internationalt[7]ISO12005,Lasersandlaser-r[8]ISO13694,Opticsandphotonicpower（energy）densitydistribution[10]ISO80000（allp[11]ISO/IEC/TR10000-1,Informationtechnology-FrameworkandStandardizedProfiles-Part1:Generalprin[12]ISO/IECGuide98-3,Uncertaintyofmeasurement-Part3:Guidetotheexpressionofuncertainty[13]IEC60027（allparts）,Lettersymbolstobeusedinelectric[14]VONFINCKA.etalmeasurement,"Appl.Opt.