《釩及釩合金靶材》

1YS/TXXXX-XXXX釩及釩合金靶材本文件規(guī)定了釩及釩合金靶材的術(shù)語和定義、分類、技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則、標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存及隨行文件和訂貨單內(nèi)容。本文件適用于電子薄膜用釩及釩合金靶材。2規(guī)范性引用文件下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文件，僅該日期對(duì)應(yīng)的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本文件。GB/T1031產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范（GPS)表面結(jié)構(gòu)輪廓法表面粗糙度參數(shù)及其數(shù)值GB/T3850致密燒結(jié)金屬材料與硬質(zhì)合金密度測(cè)定方法GB/T6394金屬平均晶粒度測(cè)定方法GB/T8651金屬板材超聲板波探傷方法GB/T25915.1-2021潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第1部分：按粒子濃度劃分空氣潔凈度等級(jí)YB/T4908.2釩鋁合金硅、鐵、磷、硼、鉻、鎳、鎢、銅、錳、鉬含量的測(cè)定電感耦合等離子體原子發(fā)射光譜法YB/T4908.4釩鋁合金氫含量的測(cè)定惰性氣體熔融紅外吸收法或熱導(dǎo)法YB/T4908.5釩鋁合金碳、硫含量的測(cè)定高頻感應(yīng)燃燒-紅外吸收法YB/T4908.6釩鋁合金氧、氮含量的測(cè)定惰性氣體熔融紅外吸收法和熱導(dǎo)法YS/T540.1釩化學(xué)分析方法第1部分：釩量的測(cè)定高錳酸鉀-硫酸亞鐵銨滴定法YS/T540.5釩化學(xué)分析方法第5部分：雜質(zhì)元素測(cè)定電感耦合等離子體原子發(fā)射光譜法YS/T837濺射靶材-背板結(jié)合質(zhì)量超聲波檢驗(yàn)方法YS/T1075.10釩鋁、鉬鋁中間合金化學(xué)分析方法第10部分：鈉含量的測(cè)定火焰原子吸收光譜法3術(shù)語和定義下列術(shù)語和定義適用于本文件。3.1靶坯targetblank陰極上用于濺射材料的部分。3.2背板backingplate用來支撐或固定靶坯的材料。2YS/TXXXX-XXXX4分類4.1產(chǎn)品外形通常分為圓形和方形，或由需方提供圖紙；按照結(jié)構(gòu)形式分為復(fù)合體靶材和單體靶材，結(jié)構(gòu)示意圖如圖1所示。圖1靶材結(jié)構(gòu)示意圖4.2產(chǎn)品按照化學(xué)成分分為釩靶材和釩合金靶材，產(chǎn)品牌號(hào)應(yīng)符合表1的規(guī)定。表1產(chǎn)品牌號(hào)V--5技術(shù)要求5.1化學(xué)成分釩靶材的化學(xué)成分要求應(yīng)符合表2的規(guī)定，釩合金靶材的化學(xué)成分要求應(yīng)符合表3的規(guī)定。表2釩靶材化學(xué)成分V%，WKCNOHS3YS/TXXXX-XXXX表3釩合金靶材化學(xué)成分%，KCNOHS5.2晶粒尺寸產(chǎn)品的晶粒尺寸平均值應(yīng)不大于100μm，最大值應(yīng)不大于150μm。需方如有特殊要求時(shí)，由供需雙方協(xié)商確定。5.3相對(duì)密度產(chǎn)品的相對(duì)密度應(yīng)不小于98%。5.4內(nèi)部質(zhì)量產(chǎn)品內(nèi)部不應(yīng)有分層、夾雜、疏松和氣孔等缺陷。5.5焊接質(zhì)量復(fù)合體靶材的焊接方法通常為釬焊，焊接結(jié)合率應(yīng)不小于95%，單個(gè)未焊合間隙面積應(yīng)不大于總面積的2.5%。5.6外形尺寸產(chǎn)品通常為圓形，尺寸規(guī)格及結(jié)構(gòu)方式應(yīng)符合需方圖紙要求。產(chǎn)品濺射面的平面度應(yīng)小于0.1mm。5.7表面粗糙度產(chǎn)品表面粗糙度應(yīng)符合圖紙要求，圖紙無要求時(shí)Ra值應(yīng)小于1.6μm。5.8外觀質(zhì)量4YS/TXXXX-XXXX產(chǎn)品表面應(yīng)清潔光滑，無指痕、油污和銹蝕，無顆粒附加物和其他沾污，無凹坑、劃傷、裂紋、凸起等缺陷。6試驗(yàn)方法6.1釩合金靶材V含量的測(cè)定按照YS/T540.1的規(guī)定進(jìn)行；C和S含量的測(cè)定按照YB/T4908.5的規(guī)定進(jìn)行；O和N含量的測(cè)定按照YB/T4908.6的規(guī)定進(jìn)行；H含量的測(cè)定按照YB/T4908.4的規(guī)定進(jìn)行；Fe、Cr、Al、Cu和Si含量的測(cè)定按照YS/T540.5的規(guī)定進(jìn)行；Na含量的測(cè)定按照YS/T1075.10的規(guī)定進(jìn)行；Ni含量按照YB/T4908.2的規(guī)定進(jìn)行，其他元素的測(cè)定按照供需雙方協(xié)商確定的方法進(jìn)行。6.2晶粒尺寸檢驗(yàn)按照GB/T6394的規(guī)定進(jìn)行。6.3相對(duì)密度檢驗(yàn)按照GB/T3850的規(guī)定進(jìn)行。6.4內(nèi)部質(zhì)量檢驗(yàn)按照GB/T8651的規(guī)定進(jìn)行。6.5焊接質(zhì)量檢驗(yàn)按照YS/T837的規(guī)定進(jìn)行。6.6外形尺寸通過三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x，按照加工圖紙標(biāo)識(shí)尺寸進(jìn)行測(cè)量，或按照供需雙方協(xié)商確定的方法測(cè)量。6.7表面粗糙度通過粗糙度測(cè)量?jī)x按照GB/T1031的規(guī)定進(jìn)行，或按照供需雙方協(xié)商確定的方法測(cè)量。6.8外觀質(zhì)量用目視方法檢驗(yàn)，必要時(shí)用放大鏡或顯微鏡進(jìn)行鑒別。7檢驗(yàn)規(guī)則7.1檢查和驗(yàn)收7.1.1產(chǎn)品應(yīng)由供方或第三方進(jìn)行檢驗(yàn)，產(chǎn)品質(zhì)量應(yīng)符合本文件及訂貨單的規(guī)定。7.1.2需方可對(duì)收到的產(chǎn)品按本文件的規(guī)定進(jìn)行檢驗(yàn)，如檢驗(yàn)結(jié)果與本文件或訂貨單的規(guī)定不符時(shí)，應(yīng)以書面形式向供方提出，由供需雙方協(xié)商解決。屬于外觀質(zhì)量及外形尺寸的異議，應(yīng)在收到產(chǎn)品之日起一個(gè)月內(nèi)提出，屬于其他性能的異議，應(yīng)在收到產(chǎn)品之日起三個(gè)月內(nèi)提出。如需仲裁，應(yīng)由供需雙方協(xié)商確定。7.2組批產(chǎn)品應(yīng)成批提交驗(yàn)收。每批應(yīng)由同一生產(chǎn)周期、同一牌號(hào)和同一規(guī)格的產(chǎn)品組成。7.3檢驗(yàn)項(xiàng)目每批產(chǎn)品均應(yīng)進(jìn)行化學(xué)成分、晶粒尺寸、相對(duì)密度、內(nèi)部質(zhì)量、焊接質(zhì)量、外形尺寸、表面粗糙度、外觀質(zhì)量的檢驗(yàn)。7.4取樣7.4.1產(chǎn)品的取樣應(yīng)符合表4規(guī)定。表4檢驗(yàn)項(xiàng)目、取樣位置及數(shù)量5YS/TXXXX-XXXX表4檢測(cè)項(xiàng)目、取樣位置及數(shù)量（續(xù)）7.4.2化學(xué)成分、晶粒尺寸檢驗(yàn)在半成品（半成品指產(chǎn)品未進(jìn)行機(jī)械加工）的邊緣位置進(jìn)行取樣，圓形半成品的樣品間隔1/4圓弧長(zhǎng)，如圖2所示。圖2取樣位置示意圖7.5檢驗(yàn)結(jié)果的判定7.5.1化學(xué)成分建議結(jié)果不合格時(shí)，判該批產(chǎn)品不合格。7.5.2晶粒尺寸、相對(duì)密度、內(nèi)部質(zhì)量檢驗(yàn)結(jié)果不合格時(shí)，取雙倍數(shù)量的試樣重復(fù)試驗(yàn)。若重復(fù)試驗(yàn)結(jié)果中仍有試樣不合格，則判定該批產(chǎn)品不合格。7.5.3焊接質(zhì)量、外形尺寸、表面粗糙度、外觀質(zhì)量檢驗(yàn)不合格時(shí)，判該件產(chǎn)品不合格。8標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存及隨行文件8.1標(biāo)志8.1.1應(yīng)在檢驗(yàn)合格的產(chǎn)品上，將公司標(biāo)志、牌號(hào)及生產(chǎn)批號(hào)刻在產(chǎn)品指定位置。8.1.2在每個(gè)外包裝上貼紙質(zhì)標(biāo)貼，內(nèi)容包括：a)供方標(biāo)志；b)產(chǎn)品名稱；YS/TXXXX-XXXXc)牌號(hào)；d)生產(chǎn)批號(hào)；e)出廠日期；8.2包裝8.2.1產(chǎn)品的清洗、干燥及內(nèi)包裝應(yīng)在GB/T25915.1-2021中ISO5級(jí)的潔凈室內(nèi)進(jìn)行。產(chǎn)品經(jīng)過全面清洗，真空干燥后每片單獨(dú)真空包裝，真空袋封口應(yīng)平整，無泄露。8.2.2外包裝采用紙盒或中空盒包裝。包裝盒內(nèi)應(yīng)有防碰撞措施。將隨行文件用塑封袋裝好后粘貼于包裝盒上。8.2.3包裝產(chǎn)品應(yīng)保存于清潔的環(huán)境中。8.3運(yùn)輸與貯存運(yùn)輸及貯存過程中，應(yīng)防震、防潮、防壓、防止二次污染。8.4隨行文件每批產(chǎn)品應(yīng)附有隨行文件，其中除應(yīng)包括供方信息、產(chǎn)品信息、出廠日期或包裝日期外，還宜包括下列內(nèi)容。a)質(zhì)量證明書，內(nèi)容如下：l產(chǎn)品名稱、牌號(hào)、規(guī)格