YS-T1635-2023《鎳鉻合金靶材》

YS/TXXXX-20XX

前??言

本文件按照GB/T1.1-2020《標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第1部分：標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則》的規(guī)定

起草。

請注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利。本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識別專利的責(zé)任。

本文件由全國有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(SAC/TC243)提出并歸口。

本文件起草單位：南京達(dá)邁科技實(shí)業(yè)股份有限公司、江蘇海泰新材料科技有限公司、南京歐美達(dá)

應(yīng)用材料科技有限公司、寧波江豐電子材料股份有限公司、有研億金新材料有限公司。

本文件主要起草人：吳宇寧、鐘成銘、王雷、周其剛、徐海斌、卿海標(biāo)、姚力軍、曹歡歡、廖培

君、邊逸軍、陳玉蓉、徐國進(jìn)、高巖、張博厚。

1

YS/TXXXX-20XX

鎳鉻合金靶材

1范圍

本文件規(guī)定了鍍膜用鎳鉻合金靶材的分類和標(biāo)記、技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則及標(biāo)志、包裝、

運(yùn)輸、貯存、隨行文件和訂貨單內(nèi)容。

本文件適用于純度大于99.5%的低輻射玻璃（low-e玻璃）及薄膜電阻鍍膜用鎳鉻合金靶材（以下

簡稱“靶材”）。

2規(guī)范性引用文件

下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文

件，僅該日期對應(yīng)的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適

用于本文件。

GB/T1031產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范（GPS）表面結(jié)構(gòu)輪廓法表面粗糙度參數(shù)及其數(shù)值

GB/T1804一般公差未注公差的線性和角度尺寸的公差

GB/T1958產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范(GPS)幾何公差檢測與驗(yàn)證

GB/T3505產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范（GPS）表面結(jié)構(gòu)輪廓法術(shù)語、定義及表面結(jié)構(gòu)參數(shù)

GB/T4162鍛軋鋼棒超聲檢測方法

GB/T6394金屬平均晶粒度測定方法

GB/T8170數(shù)值修約規(guī)則與極限數(shù)值的表示和判定

GB/T8647（所有部分）鎳化學(xué)分析方法

GB/T10610產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范（GPS）表面結(jié)構(gòu)輪廓法評定表面結(jié)構(gòu)的規(guī)則和方法

GB/T14265金屬材料中氫、氧、氮、碳和硫分析方法通則

3術(shù)語和定義

下列術(shù)語和定義適用于本文件。

3.1

靶材target

在濺射沉積技術(shù)中的陰極部分材料，不包括背板材料。

注：該陰極材料在帶正電荷的陽離子撞擊下以分子、原子或離子的形式脫離陰極而在陽極表面沉積。

4分類和標(biāo)記

4.1分類

4.1.1靶材按濺射面的形狀，可分為平面靶和管靶（又稱旋轉(zhuǎn)靶）。其中，常用的平面靶包括矩形平

面靶和圓形平面靶，形狀示意圖見圖1。

2

YS/TXXXX-20XX

矩形平面靶圓形平面靶管靶

說明：

L——矩形平面靶的長度尺寸（圓形平面靶的直徑尺寸）；

D——管靶的外徑尺寸。

圖1靶材形狀示意圖

4.1.2靶材按照成分分為7個牌號：Ni93Cr7，Ni90Cr10，Ni80Cr20，Ni70Cr30，Ni60Cr40，Ni56Cr44，

Ni50Cr50。

4.2標(biāo)記

靶材產(chǎn)品標(biāo)記按產(chǎn)品名稱、本文件編號、牌號、形狀的順序表示。標(biāo)記示例如下：

示例:

以牌號為Ni93Cr7制造的,形狀為管靶管靶的鎳鉻合金靶材,其標(biāo)記為:

靶材YS/TXXXX-Ni93Cr7-G

5技術(shù)要求

5.1化學(xué)成分

靶材各牌號的化學(xué)成分應(yīng)符合表1的規(guī)定。

表1化學(xué)成分

化學(xué)成分（質(zhì)量分?jǐn)?shù)）

%

牌號

雜質(zhì)元素，不大于

CrNi

FeCuAlSiCSNO

Ni93Cr76.5～7.50.050.0050.010.050.010.0050.0150.05

Ni90Cr109.0～11.00.050.0050.010.050.010.0050.0150.05

Ni80Cr2018.5～21.50.120.0150.020.080.010.0050.0250.08

Ni70Cr3028.5～31.50.120.0150.030.080.010.0050.0250.08

余量a

Ni60Cr4038.0～42.00.150.0150.030.100.020.0050.0250.08

Ni56Cr4442.0～46.00.150.0150.030.100.020.0050.0250.08

Ni50Cr5048.0～52.00.150.0150.030.100.020.0050.0250.08

注：需方如有特殊要求時，由供需雙方商定，并在訂貨單中注明。

a鎳含量為100%減去表中所列其他元素總和所得。

3

YS/TXXXX-20XX

5.2平均晶粒尺寸

靶材晶粒組織應(yīng)均勻、一致，平均晶粒尺不大于150μm。

5.3外形尺寸及允許偏差

靶材的外形尺寸及其允許偏差由需方提供圖紙。靶材的其他尺寸及允許偏差應(yīng)符合表2規(guī)定。需方

如有特殊要求時，由供需雙方共同商定，并在訂貨單中注明。

表2外形尺寸及允許偏差要求

形狀平面靶材管靶

規(guī)格

L≤400400＜L≤800L＞800D≤300300＜D＜800

mm

平行度

≤0.1≤0.3≤0.3--

mm/m

垂直度

≤0.15≤0.25≤0.3--

mm

直度

---≤1.0

mm/m

圓度

---≤0.6≤1.0

mm

其他尺寸按照圖紙規(guī)定

注1：平行度是指線元素、面、中心平面、相切平面或者軸線相對基準(zhǔn)在基本角度0°（平行）方向上的變動程

度。

注2：垂直度是指方向公差中控制被測要素與基準(zhǔn)要素夾角為90°的公差要求，分為給定平面、給定方向、任

意方向的垂直度要求。

5.4表面粗糙度

靶材的表面粗糙度應(yīng)符合表3的規(guī)定。

表3表面粗糙度

部位濺鍍面焊接面?zhèn)让婕捌渌砻?/p>

Ra

≤1.6≤3.23.2~6.4

μm

5.5內(nèi)部質(zhì)量

靶材內(nèi)部不應(yīng)有夾渣、孔洞和裂痕等影響使用的缺陷。靶材非濺鍍區(qū)允許存在直徑不大于1.0mm，

數(shù)量不大于2個的孔洞。

5.6外觀質(zhì)量

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靶材表面應(yīng)清潔光滑，無指痕、油污和銹蝕，無顆粒附加物和其他沾污，無凹坑、劃傷、裂紋、

凸起等缺陷。

6試驗(yàn)方法

6.1化學(xué)成分

6.1.1靶材雜質(zhì)元素Fe、Cu、Al、Si的分析方法按照GB/T8647（所有部分）的規(guī)定進(jìn)行，鉻含量的

測定方法由供需雙方協(xié)商確定并在訂貨單中注明。

6.1.2靶材中元素C、S、N、O的分析方法按照GB/T14265的規(guī)定進(jìn)行。

6.2平均晶粒尺寸

靶材的平均晶粒尺寸的檢測按照GB/T6394的規(guī)定進(jìn)行。

6.3外形尺寸及其允許偏差

靶材的平行度、垂直度、直度和圓度的測定按照GB/T1804、GB/T1958、GB/T3505、GB/T10610

的規(guī)定進(jìn)行。

6.4表面粗糙度

靶材的表面粗糙度檢測按照GB/T1031的規(guī)定進(jìn)行。

6.5內(nèi)部質(zhì)量

靶材的內(nèi)部質(zhì)量檢測按照GB/T4162的規(guī)定進(jìn)行。

6.6外觀質(zhì)量

靶材的外觀質(zhì)量用目視檢查，若發(fā)現(xiàn)異常現(xiàn)象，用放大鏡或手持顯微放大鏡進(jìn)行檢查，必要時可

使用其他方法檢測。

7檢驗(yàn)規(guī)則

7.1檢查和驗(yàn)收

7.1.1產(chǎn)品應(yīng)由供方或第三方進(jìn)行檢驗(yàn)，保證產(chǎn)品質(zhì)量符合本文件及訂貨單的要求。

7.1.2需方應(yīng)對收到的產(chǎn)品按本文件的規(guī)定進(jìn)行檢驗(yàn)，檢驗(yàn)結(jié)果與本文件或訂貨單內(nèi)容不符時，應(yīng)在

收到產(chǎn)品之日起30日內(nèi)向供方提出，由供需雙方協(xié)商解決。如需仲裁時，仲裁取樣應(yīng)在需方由供需雙

方共同進(jìn)行，但需方應(yīng)提供原裝樣塊。

7.2組批

產(chǎn)品應(yīng)成批提交檢驗(yàn)，每批應(yīng)由同一生產(chǎn)周期、同一牌號、同一形狀的產(chǎn)品組成。

7.3檢驗(yàn)項(xiàng)目及取樣

每批產(chǎn)品出廠前應(yīng)進(jìn)行化學(xué)成分、平均晶粒尺寸、外形尺寸及允許偏差、表面粗糙度、內(nèi)部質(zhì)量

和外觀質(zhì)量的檢驗(yàn)，檢驗(yàn)項(xiàng)目及取樣應(yīng)符合表5規(guī)定。

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YS/TXXXX-20XX

表4檢驗(yàn)項(xiàng)目及取樣規(guī)定

檢驗(yàn)項(xiàng)目取樣規(guī)定要求的章條號實(shí)驗(yàn)方法的章條號

供方每爐取2個試樣

化學(xué)成分5.16.1

需方每批取1個試樣

平均晶粒尺寸每批任取2個靶材，每個靶材各取1個試樣5.26.2

外形尺寸及允許偏差逐件5.36.3

表面粗糙度逐件5.46.4

內(nèi)部質(zhì)量逐件5.56.5

外觀質(zhì)量逐件5.66.6

7.4檢驗(yàn)結(jié)果的判定

7.4.1檢驗(yàn)結(jié)果的數(shù)值按GB/T8170中的規(guī)定進(jìn)行修約，并采用修約值比較法進(jìn)行判定。

7.4.2化學(xué)成分的檢驗(yàn)結(jié)果不合格時，判該批靶材不合格。

7.4.3平均晶粒尺寸檢驗(yàn)結(jié)果不合格時，應(yīng)從該批靶材中取雙倍數(shù)量的試樣（其中一個試樣應(yīng)取自原

檢驗(yàn)不合格的那件靶材）進(jìn)行重復(fù)試驗(yàn)，重復(fù)試驗(yàn)結(jié)果全部合格，則判整批靶材合格。若重復(fù)試驗(yàn)結(jié)

果仍有試樣不合格，則判整批靶材不合格。

7.4.4外形尺寸及允許偏差、表面粗糙度、內(nèi)部質(zhì)量及外觀質(zhì)量檢驗(yàn)結(jié)果不合格時，判該件靶材不合

格。

8標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存及隨行文件

8.1標(biāo)志

靶材的外包裝上應(yīng)標(biāo)注企業(yè)名稱、產(chǎn)品名稱、批號、牌號。

8.2包裝

靶材用塑料包裝袋真空封裝，用減震材料加以保護(hù)。

8.3運(yùn)輸和貯存

運(yùn)輸及儲存過程中應(yīng)注意防震、防潮、防壓、防止二次污染。

8.4隨行文件

每批產(chǎn)品應(yīng)附有隨行文件，其中除應(yīng)包括供方信息、產(chǎn)品信息、本文件編號、出廠日期或包裝日

期外，還宜包括：

a）產(chǎn)品質(zhì)量保證書，內(nèi)容如下：

·產(chǎn)品的主要性能及技術(shù)參數(shù)；

·對產(chǎn)品質(zhì)量所負(fù)的責(zé)任；

·產(chǎn)品獲得的質(zhì)量認(rèn)證及帶供方技術(shù)監(jiān)督部門檢印的各項(xiàng)分析檢驗(yàn)結(jié)果。

b）產(chǎn)品合格證，內(nèi)容如下：

6

YS/TXXXX-20XX

·檢驗(yàn)項(xiàng)目及其結(jié)果或檢驗(yàn)結(jié)論；

·批量或批號；

·檢驗(yàn)日期；

·檢驗(yàn)員簽名或蓋章。

c）產(chǎn)品質(zhì)量控制過程中的檢驗(yàn)報(bào)告及成品檢驗(yàn)報(bào)告；

d）產(chǎn)品使用說明：正確搬運(yùn)、使用、貯存方法等；

e）其他。

9訂貨單內(nèi)容

需方可根據(jù)自身的需要，在訂購本文件所列產(chǎn)品的訂貨單內(nèi)，列出如下內(nèi)容：

a）產(chǎn)品名稱；

b）牌號；

c）形狀；

d）規(guī)格；

e）檢測方法的特殊要求；

f）本文件編號；

g）其他。

7

ICS77.150.40

CCSH62

中華人民共和國有色金屬行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)

YS/TXXXX—202X

鎳鉻合金靶材

Nichrometarget

（報(bào)批稿）

20××-××-××發(fā)布20××-××-××實(shí)施

中華人民共和國工業(yè)和信息化部發(fā)布

YS/TXXXX-20XX

鎳鉻合金靶材

1范圍

本文件規(guī)定了鍍膜用鎳鉻合金靶材的分類和標(biāo)記、技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則及標(biāo)志、包裝、

運(yùn)輸、貯存、隨行文件和訂貨單內(nèi)容。

本文件適用于純度大于99.5%的低輻射玻璃（low-e玻璃）及薄膜電阻鍍膜用鎳鉻合金靶材（以下

簡稱“靶材”）。

2規(guī)范性引用文件

下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文

件，僅該日期對應(yīng)的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適

用于本文件。

GB/T1031產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范（GPS）表面結(jié)構(gòu)輪廓法表面粗糙度參數(shù)及其數(shù)值

GB/T1804一般公差未注公差的線性和角度尺寸的公差

GB/T1958產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范(GPS)幾何公差檢測與驗(yàn)證

GB/T3505產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范（GPS）表面結(jié)構(gòu)輪廓法術(shù)語、定義及表面結(jié)構(gòu)參數(shù)

GB/T4162鍛軋鋼棒超聲檢測方法

GB/T6394金屬平均晶粒度測定方法

GB/T8170數(shù)值修約規(guī)則與極限數(shù)值的表示和判定

GB/T8647（所有部分）鎳化學(xué)分析方法

GB/T10610產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范（GPS）表面結(jié)構(gòu)輪廓法評定表面結(jié)構(gòu)的規(guī)則和方法

GB/T14265金屬材料中氫、氧、氮、碳和硫分析方法通則

3術(shù)語和定義

下列術(shù)語和定義適用于本文件。

3.1

靶材target

在濺射沉積技術(shù)中的陰極部分材料，不包括背板材料。

注：該陰極材料在帶正電荷的陽離子撞擊下以分子、原子或離子的形式脫離陰極而在陽極表面沉積。

4分類和標(biāo)記

4.1分類

4.1.1靶材按濺射面的形狀，可分為平面靶和管靶（又稱旋轉(zhuǎn)靶）。其中，常用的平面靶包括矩形平

面靶和圓形平面靶，形狀示意圖見圖1。

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YS/TXXXX-20XX

矩形平面靶圓形平面靶管靶

說明：

L——矩形平面靶的長度尺寸（圓形平面靶的直徑尺寸）；

D——管靶的外徑尺寸。

圖1靶材形狀示意圖

4.1.2靶材按照成分分為7個牌號：Ni93Cr7，Ni90Cr10，Ni80Cr20，Ni70Cr30，Ni60Cr40，Ni56Cr44，

Ni50Cr50。

4.2標(biāo)記

靶材產(chǎn)品標(biāo)記按產(chǎn)品名稱、本文件編號、牌號、形狀的順序表示。標(biāo)記示例如下：

示例:

以牌號為Ni93Cr7制造的,形狀為管靶管靶的鎳鉻合金靶材,其標(biāo)記為:

靶材YS/TXXXX-Ni93Cr7-G

5技術(shù)要求

5.1化學(xué)成分

靶材各牌號的化學(xué)成分應(yīng)符合表1的規(guī)定。

表1化學(xué)成分

化學(xué)成分（質(zhì)量分?jǐn)?shù)）

%

牌號

雜質(zhì)元素，不大于

CrNi

FeCuAlSiCSNO

Ni93Cr76.5～7.50.050.0050.010.050.010.0050.0150.05

Ni90Cr109.0～11.00.050.0050.010.050.010.0050.0150.05

Ni80Cr2018.5～21.50.120.0150.020.080.010.0050.0250.08

Ni70Cr3028.5～31.50.120.0150.030.080.010.0050.0250.08

余量a

Ni60Cr4038.0～42.00.150.0150.030.100.020.0050.0250.08

Ni56Cr4442.0～46.00.150.0150.030.100.020.0050.0250.08

Ni50Cr5048.0～52.00.150.0150.030.100.020.0050.0250.08

注：需方如有特殊要求時，由供需雙方商定，并在訂貨單中注明。

a鎳含量為100%減去表中所列其他元素總和所得。

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5.2平均晶粒尺寸

靶材晶粒組織應(yīng)均勻、一致，平均晶粒尺不大于150μm。

5.3外形尺寸及允許偏差

靶材的外形尺寸及其允許偏差由需方提供圖紙。靶材的其他尺寸及允許偏差應(yīng)符合表2規(guī)定。需方

如有特殊要求時，由供需雙方共同商定，并在訂貨單中注明。

表2外形尺寸及允許偏差要求

形狀平面靶材管靶

規(guī)格

L≤400400＜L≤800L＞800D≤300300＜D＜800

mm

平行度

≤0.1≤0.3≤0.3--

mm/m

垂直度

≤0.15≤0.25≤0.3--

mm

直度

---≤1.0

mm/m

圓度

---≤0.6≤1.0

mm

其他尺寸按照圖紙規(guī)定

注1：平行度是指線元素、面、中心平面、相切平面或者軸線相對基準(zhǔn)在基本角度0°（平行）方向上的變動程

度。

注2：垂直度是指方向公差中控制被測要素與基準(zhǔn)要素夾角為90°的公差要求，分為給定平面、給定方向、任

意方向的垂直度要求。

5.4表面粗糙度

靶材的表面粗糙度應(yīng)符合表3的規(guī)定。

表3表面粗糙度

部位濺鍍面焊接面?zhèn)让婕捌渌砻?/p>

Ra

≤1.6≤3.23.2~6.4

μm

5.5內(nèi)部質(zhì)量

靶材內(nèi)部不應(yīng)有夾渣、孔洞和裂痕等影響使用的缺陷。靶材非濺鍍區(qū)允許存在直徑不大于1.0mm，

數(shù)量不大于2個的孔洞。

5.6外觀質(zhì)量

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YS/TXXXX-20XX

靶材表面應(yīng)清潔光滑，無指痕、油污和銹蝕，無顆粒附加物和其他沾污，無凹坑、劃傷、裂紋、

凸起等缺陷。

6試驗(yàn)方法

6.1化學(xué)成分

6.1.1靶材雜質(zhì)元素Fe、Cu、Al、Si的分析方法按照GB/T8647（所有部分）的規(guī)定進(jìn)行，鉻含量的

測定方法由供需雙方協(xié)商確定并在訂貨單中注明。

6.1.2靶材中元素C、S、N、O的分析方法按照GB/T14265的規(guī)定進(jìn)行。

6.2平均晶粒尺寸

靶材的平均晶粒尺寸的檢測按照GB/T6394的規(guī)定進(jìn)行。

6.3外形尺寸及其允許偏差

靶材的平行度、垂直度、直度和圓度的測定按照GB/T1804、GB/T1958、GB/T3505、GB/T10610

的規(guī)定進(jìn)行。

6.4表面粗糙度

靶材的表面粗糙度檢測按照GB/T1031的規(guī)定進(jìn)行。

6.5內(nèi)部質(zhì)量

靶材的內(nèi)部質(zhì)量檢測按照GB/T4162的規(guī)定進(jìn)行。

6.6外觀質(zhì)量

靶材的外觀質(zhì)量用目視檢查，若發(fā)現(xiàn)異常現(xiàn)象，用放大鏡或手持顯微放大鏡進(jìn)行檢查，必要時可

使用其他方法檢測。

7檢驗(yàn)規(guī)則

7.1檢查和驗(yàn)收

7.1.1產(chǎn)品應(yīng)由供方或第三方進(jìn)行檢驗(yàn)，保證產(chǎn)品質(zhì)量符合本文件及訂貨單的要求。

7.1.2需方應(yīng)對收到的產(chǎn)品按本文件的規(guī)定進(jìn)行檢驗(yàn)，檢驗(yàn)結(jié)果與本文件或訂貨單內(nèi)容不符時，應(yīng)在

收到產(chǎn)品之日起30日內(nèi)向供方提出，由供需雙方協(xié)商解決。如需仲裁時，仲裁取樣應(yīng)在需方由供需雙

方共同進(jìn)行，但需方應(yīng)提供原裝樣塊。

7.2組批

產(chǎn)品應(yīng)成批提交檢驗(yàn)，每批應(yīng)由同一生產(chǎn)周期、同一牌號、同一形狀的產(chǎn)品組成。

7.3檢驗(yàn)項(xiàng)目及取樣

每批產(chǎn)品出廠前應(yīng)進(jìn)行化學(xué)成分、平均晶粒尺寸、外形尺寸及允許偏差、表面粗糙度、內(nèi)部質(zhì)量

和外觀質(zhì)量的檢驗(yàn)，檢驗(yàn)項(xiàng)目及取樣應(yīng)符合表5規(guī)定。

5

YS/TXXXX-20XX

表4檢驗(yàn)項(xiàng)目及取樣規(guī)定

檢驗(yàn)項(xiàng)目取樣規(guī)定要求的章條號實(shí)驗(yàn)方法