真空技術(shù) 真空計(jì) 磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)的規(guī)范、校準(zhǔn)和測量不確定度 征求意見稿

GB/TXXXXX—XXXX1真空技術(shù)真空計(jì)磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)的技術(shù)規(guī)范、校準(zhǔn)和測量不確定度這些真空計(jì)時(shí)的校準(zhǔn)步驟和所需不確定度分量。本文件適用的壓力上ISO3529-1真空技術(shù)術(shù)語第1部分：基礎(chǔ)術(shù)語(VacuumISO3529-3真空技術(shù)術(shù)語第3部分：全壓和分壓真空計(jì)Part3:Totalandpartialpressurevacuumgauges)ISO3567真空技術(shù)真空計(jì)與標(biāo)準(zhǔn)真空計(jì)—Calibrationbydirectcomparisonwithareferencegauge)ISO27893真空技術(shù)真空計(jì)與標(biāo)準(zhǔn)真空計(jì)直接比較校準(zhǔn)結(jié)果的不確定度評(píng)定(Vacuumtechnology—Vacuumgauges—Evaluationoftheuncertaintiesofresultsofcalibrationsbydirectcomparisonwithareferencegauge)ofmeasurement—Part3:Guidetotheexpressionofuncertaintyinmeasurement(GUM:1995)]metrology—Basicandgeneralconceptsandassociatedterms(VIIEC60050(300-311)國際電工詞匯電工電子測量和儀器儀表第311部分：測量的通用術(shù)語（InternationalElectrotechnicalVocabulary—Electricalandelectronicmeasurementsandmeasuringinstruments—Part311:GeneraltermsrelatingtomeasGB/TXXXXX—XXXX2IEC60050(300-312)國際電工詞匯電工電子測量和儀器儀表第312部分：電測量的通用術(shù)語（InternationalElectrotechnicalVocabulary—Electricalandelectronicmeasurementsandmeasuriinstruments—Part312:Generaltermsrelatingtoelectricalmeas注：GB/T2900.89-2012電工術(shù)語電工電子測量和儀器儀表第2部分：電測量的通用術(shù)語[IEC（InternationalElectrotechnicalVocabulary—Electricalandelectronicmeasurementsandmeasuriinstruments—Part313:Typesofelectricalmeasuringinstruments）注：GB/T2900.79-2008電工術(shù)語電工電子測量和儀器儀表第3部分：電測量儀器儀表的類型[IECIEC60050(300-314)國際電工詞匯電工電子測量和儀器儀表第314部分：各類儀表的特殊術(shù)語（InternationalElectrotechnicalVocabulary—Electricalandelectronicmeasurementsandmeasuriinstruments—Part314:Specifictermsaccordingtothetypeofinstrument）注：GB/T2900.79-2008電工術(shù)語電工電子測量和儀器儀表第4部分：各類儀表的特殊術(shù)語[IEC注：任何磁性元件都能用于制作轉(zhuǎn)子。然而，考慮到現(xiàn)實(shí)原因，本文件只以球體作為旋轉(zhuǎn)部件。球形轉(zhuǎn)子可能顯3傳遞系數(shù)accommodationfσ在分子流條件下，與撞擊轉(zhuǎn)子表面的氣體分子的切向動(dòng)量傳遞系數(shù)成比例的參注1：如果轉(zhuǎn)子是一個(gè)理想球體，表面完全光滑，且轉(zhuǎn)子的直徑和密度值精確可知，假設(shè)氣注2：在一些文獻(xiàn)中，傳遞因子（accommodat有效傳遞系數(shù)effectiveaccommodationeff僅有轉(zhuǎn)子直徑和密度的標(biāo)稱值時(shí)，對(duì)每個(gè)轉(zhuǎn)子（3.1.1）校準(zhǔn)所得的“RD4是單獨(dú)計(jì)算。如果轉(zhuǎn)子的熱膨脹系數(shù)和轉(zhuǎn)子的溫度漂移(ΔT/Δt）已知，能有益于此。該效應(yīng)通常不為人所知，因此poffs在一定時(shí)間間隔內(nèi)，轉(zhuǎn)子頻率變化量的絕對(duì)值除以該間隔內(nèi)轉(zhuǎn)子平均從轉(zhuǎn)子懸浮和加速的瞬間，到磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)顯示出具有指定測量不確定度的壓力值的瞬間，GB/TXXXXX—XXXX5套管（3.1.2）一直到連接端口的密封面所在明確指定周期的情況下，表征磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)的傳遞系數(shù)（3.2.14符號(hào)和縮略語dmfpPaPaTKtsρσ1σeff11ωms-1GB/TXXXXX—XXXX6磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)是一種用氣體分子降低在真空中磁力懸浮的轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)角速度(ω)的設(shè)備（見GB/TXXXXX—XXXX7應(yīng)給出采樣時(shí)間。如果更改了時(shí)間，則應(yīng)給應(yīng)給出與計(jì)算機(jī)的通訊協(xié)議。應(yīng)給出接口類型和插腳連接（引出線）的應(yīng)規(guī)定懸浮頭和控制單元能夠工作的溫度和相對(duì)濕度GB/TXXXXX—XXXX8長期不穩(wěn)定性宜使用應(yīng)用一定周期內(nèi)（如一年）傳遞系數(shù)的百分比來表征（見ISO20146:2019，a)與壓力無關(guān)的傳遞系數(shù)(σeff,0或b)讀數(shù)誤差。建議校準(zhǔn)傳遞系數(shù)(σeff,0）。9校準(zhǔn)前，應(yīng)測定RD。在校準(zhǔn)時(shí)應(yīng)從信號(hào)中減去該值，其與壓力或即（4）通過外推法至零點(diǎn)壓力計(jì)算與壓力無關(guān)的σeff,（5）GB/TXXXXX—XXXX（6）p=(1+f·)（8）9使用時(shí)的測量不確定度GB/TXXXXX—XXXX1]ISO20146:2019,tuncertaintiesforcapacitancediaphragmgauges.[2]FremereyJ.K.,Spi[4]FedchakJ.A.,AraiK.,JoustenK.,SetinaJ.,YoshidaH.,Recrotorgaugesininter-laborato[5]LindenauB.E.,FremereyJ.K.,Witt[6]JoustenK.,Temperaturecorre[8]JoustenK.,(Ed.):Handboo